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[发明专利]传感芯片及其制备方法、检测系统、检测方法-CN201811639340.3有效
发明人：周一;吴翔;张树宇;费义艳;陈晨 -专利权人：复旦大学;厦门复光科技有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：一种传感芯片及其制备方法、检测系统、检测方法，传感芯片包括：低折射率基底层，所述基底层的折射率小于石英的折射率；周期性波导光栅结构，位于所述基底层上，所述周期性波导光栅结构包括光栅脊、以及保形覆盖所述光栅脊和基底层的高折射率膜，其中，所述高折射率膜的折射率大于或等于1.8。本发明通过低折射率基底层和周期性波导光栅结构，且周期性波导光栅结构包括保形覆盖光栅脊和基底层的高折射率膜，从而使传感芯片能够同时具备高灵敏度和高Q值的特性，进而提高了传感芯片的品质因数。
传感芯片及其制备方法检测系统

[发明专利]传感芯片及其制备方法、检测系统和检测方法-CN202010093669.5在审
发明人：周一;吴翔;熊青松;陈晨 -专利权人：复旦大学;厦门复光科技有限公司
申请日： 2020-02-14 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：一种传感芯片及其制备方法、检测系统和检测方法，传感芯片包括：基底层；波导层，位于基底层上；光栅，位于波导层上，光栅包括光栅脊和光栅槽，光栅脊和光栅槽用于接触待测介质，光栅满足预设条件中的一种或两种，所述预设条件包括：光栅构成等效平面结构，或者，光栅脊的折射率设置为与待测介质构成等效连接介质。本发明通过使光栅构成等效平面结构，能够减小光栅脊对波导层中传输的光的散射能力，这有利于提高Q值，而通过使光栅脊的折射率设置为与待测介质构成等效连接介质，也能够使光栅可视等效平面结构，从而提高Q值；综上，通过使光栅满足上述预设条件中的一种或两种，均能够提高传感芯片的Q值，相应使得传感芯片的检测性能得以提升。
传感芯片及其制备方法检测系统