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[实用新型]一种多晶硅还原炉电极防护装置-CN202320981354.3有效
发明人：杨凡;曹得财;陈文凯;马维庆;张江涛;王杰;李星月;刘禹劭;乔亮;雷雨;邵开文;刘赵博 -专利权人：陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅还原炉电极防护装置，包括外护筒、内护筒和硅棒承接件；其中，所述的外护筒放置在多晶硅还原炉底盘上，所述的内护筒放置在多晶硅还原炉紧固电极的法兰上，且在所述内护筒上端设置有所述硅棒承接件。该实施方式能够解决多晶硅还原炉电极都处于裸露、无防护状态的技术问题。
一种多晶还原电极防护装置

[实用新型]一种多晶硅还原炉电极气密检测装置-CN202320534557.8有效
发明人：杨凡;曹得财;陈文凯;马维庆;王杰;李星月;刘禹劭;乔亮;何鹏;雷雨;邵开文;刘赵博 -专利权人：陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅还原炉电极气密检测装置，包括主体、底部机构和连接机构；其中，所述主体上端固定设置有所述连接机构，且所述主体下端固定设置有所述底部机构；并且，所述底部机构与外置的多晶硅还原炉底座接触，所述的主体将多晶硅还原炉电极罩在其内，同时所述的连接机构外接正压进气管线或负压抽真空管线。该实施方式能够通过对多晶硅还原炉电极进行单独隔离密封，实现对多晶硅还原炉电极单独进行气密检测的目的。
一种多晶还原电极气密检测装置

[实用新型]一种用于多晶硅反应器的矫正装置-CN202220395275.X有效
发明人：郭荣;徐岩;曹得财;陈文凯;田文敏;刘禹劭;乔亮;王杰;杨凡;马维庆;张艺钟 -专利权人：陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B01J19/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于多晶硅反应器的矫正装置，包括水平仪、连接杆以及电极连接头；其中，水平仪与连接杆的一端连接，且连接杆另一端与电极连接头连接；并且，电极连接头与多晶硅反应器的电极连接，电极连接头与多晶硅反应器电极的连接方式和多晶硅反应器电极与多晶硅反应器石墨卡瓣的连接方式相同。该实施方式能够解决现有多晶硅反应器电极垂直检测和矫正的效率低、成本高的问题。
一种用于多晶反应器矫正装置

[发明专利]一种多晶硅样芯的制备方法-CN202111637037.1在审
发明人：郭荣;刘建中;曹得财;陈文凯;刘强强;刘禹劭;乔亮 -专利权人：陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多晶硅样芯的制备方法，涉及半导体制造技术领域。该方法的一具体实施方式包括：取第一多晶硅样棒，对所述第一多晶硅样棒进行横向切割，得到高度为50‑100mm的第一柱体多晶硅棒；根据所述第一柱体多晶硅棒直径不同，对所述第一柱体多晶硅棒纵向切割一刀、两刀或者四刀，然后从纵向切割后的所述第一柱体多晶硅棒上钻取硅芯样芯；取第二多晶硅样棒，对所述第二多晶硅样棒进行横向切割，得到高度为70‑100mm的第二柱体多晶硅棒；根据所述第二柱体多晶硅棒直径不同，对所述第二柱体多晶硅棒纵向切割一刀或两刀，然后从纵向切割后的所述第二柱体多晶硅棒上钻取生长层样芯。该实施方式能够解决成品率低、能耗高和浪费多晶硅的技术问题。
一种多晶硅样芯制备方法