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[发明专利]一种压电驱动的物镜调节装置-CN202310835205.0有效
发明人：张恬恬;王振华;张东;杨日升;龚威;刘如德 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H02N2/04 文献下载
摘要：本发明提供一种压电驱动的物镜调节装置，包括：定子组件、动子组件、压电陶瓷叠堆组件和测量组件，定子组件包括固定框架，固定框架内设有动子安装空间；动子组件包括动子本体和悬臂，动子本体位于动子安装空间内与固定框架弹性连接，悬臂设置于动子本体的下端部；压电陶瓷叠堆组件包括压电陶瓷叠堆，压电陶瓷叠堆安装于动子本体内部以驱动动子组件作垂向运动；测量组件包括光栅尺和读头。本发明中动子本体与固定框架弹性连接，能够抑制负载与压电陶瓷叠堆不同轴产生的偏摆，避免压电陶瓷叠堆受到侧向力的影响，提高负载能力。并且，压电陶瓷叠堆组件还包括解耦结构，进一步避免压电陶瓷叠堆受到侧向力，提高装置使用寿命，提高位移精度。
一种压电驱动物镜调节装置

[发明专利]调平调焦装置及运动装置-CN202211337910.X在审
发明人：龚威;王振华;许良;张晓东;刘如德 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种调平调焦装置及运动装置，调平调焦装置包括第一座体、第二座体、第三座体、M个第一驱动电机、机械导向部、N个第二驱动电机和N个柔性导向部，柔性导向部包括柔性簧片结构和柔性解耦结构，柔性簧片结构用于对第三座体沿Z向运动进行导向，柔性解耦结构用于解耦第二驱动电机与第三座体在RX、RY方向上的位姿。本方案通过下层实现垂向的较大的位置移动，通过上层实现精密的小范围位姿调节，从而既实现了垂向上的调平调焦的精密调节操作，又能提高装置整体的刚度，也就是抵抗水平向上的加速度力的能力，从而本方案提供的调平调焦装置进一步降低了抖动误差、进一步提高了重复定位精度。
平调装置运动

[发明专利]调平装置-CN202180035042.7在审
发明人：黄孝山;付栖勇;刘如德 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-04-16 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种调平装置。本发明中，调平装置包括：基座；罩壳，呈筒状并与基座相连，且罩壳和基座形成容置区；端盖，与基座相对设置，设置在罩壳背离基座的一侧；柔性铰链，设置在容置区内，且夹持在基座和端盖之间；柔性铰链设置成可在基座和端盖之间弹性变形；至少三个陶瓷叠堆，设置在容置区内，且夹持在基座和端盖之间；各陶瓷叠堆设置成可在通电后在端盖的轴向上形变；其中各陶瓷叠堆中的至少三个沿端盖的周向设置；罩壳用于限制端盖在其轴向上的预设范围内运动；还用于限制端盖在其径向上的预设范围内运动。与现有技术相比，使得该调平装置满足可承受高负载和大切向力的要求。
平装

[实用新型]致动器夹持装置-CN202222529644.2有效
发明人：张恬恬;许良;王振华;朱凯;刘如德 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种致动器夹持装置。该致动器夹持装置包括固定架、预紧件以及第一顶板，固定架上开设有安置槽，安置槽被构造为能够对致动器进行定位；预紧件沿第一预设方向可移动地设置在固定架上，预紧件用于给致动器施加预紧力；第一顶板设置在安置槽内，且位于安置槽的一端；第一顶板包括背板和柔性件，背板的相对两面分别为受力面和传力面，受力面能够与预紧件抵接；柔性件设置在传力面上，柔性件具有形变能力，以能够紧贴致动器的底座，使所述致动器承受的预紧力在其轴线方向。本实用新型的技术方案的致动器夹持装置能够解决现有夹持装置为了夹持长度较长的压电致动器，而出现预紧力无法保证同轴度的问题。
致动器夹持装置

[发明专利]大推力压电驱动装置-CN202211076380.8有效
发明人：龚威;王振华;彭仁强;刘如德 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种大推力压电驱动装置，包括：外壳体，具有第一容纳腔，第一容纳腔具有第一、第二腔壁；内壳体，可拆卸地设置在第一容纳腔内且具有第二容纳腔，内壳体包括第一、第二弹性部，第一腔壁与第一弹性部、第二腔壁与第二弹性部分别形成第一、第二安装空间；压电驱动部，设置在第二容纳腔内且包括第一、第二压电叠堆组及动子，第一、第二压电叠堆组分别与第一、第二弹性部连接；至少两个磁性预紧组件，至少一个磁性预紧组件设置在第一安装空间内，至少另一个磁性预紧组件设置在第二安装空间内，各磁性预紧组件通过磁力对第一或者第二弹性部施加朝向动子的预紧力。本发明解决了现有技术中压电驱动装置中的动子输出作动力难以提升的问题。
推力压电驱动装置

[发明专利]压电驱动装置-CN202211079913.8在审
发明人：龚威;许良;王振华;彭仁强;刘如德 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H02N2/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种压电驱动装置，包括：壳体部，壳体部的第一弹性结构的两端和外框结构连接，第二弹性结构的两端和外框结构连接；压电驱动部，压电驱动部包括第一压电叠堆组、第二压电叠堆组和动子，动子位于第一压电叠堆组和第二压电叠堆组之间，第一压电叠堆组和第一弹性结构朝向动子的一侧连接，第二压电叠堆组和第二弹性结构朝向动子的一侧连接；第一磁性预紧部，位于第一弹性结构背离动子的一侧，第一磁性预紧部通过磁力作用对第一弹性结构施加朝向动子的第一预紧力；第二磁性预紧部，位于第二弹性结构背离动子的一侧，第二磁性预紧部通过磁力作用对第二弹性结构施加朝向动子的第二预紧力。该方案大幅度提高了压电驱动装置的输出作动力。
压电驱动装置

[发明专利]一种压电惯性驱动模块-CN202110375223.6有效
发明人：朱凯;王振华;孙源;陈椿元;刘如德 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：本发明涉及驱动技术领域，公开一种压电惯性驱动模块，压电陶瓷叠堆、第一惯性质量块组均位于压电惯性驱动模块的中心轴上，第一摩擦头的设置位置、第二摩擦头的设置位置关于压电惯性驱动模块的中心轴对称，实现整个压电惯性驱动模块为对称结构，保证压电惯性驱动模块沿正反两个方向具有相同的运动状态，保证压电惯性驱动模块在正、反方向运动的过程中具有相同的驱动力、速度和振动，便于控制输出位移的速度和精度；能够降低压电惯性驱动模块的精度控制的难度，提高压电惯性驱动模块的负载能力；简化了压电惯性驱动模块的内部结构和驱动方式。
一种压电惯性驱动模块

[实用新型]解耦装置及运动系统-CN202122464838.4有效
发明人：王振华;龚威;朱凯;刘如德;许良 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种解耦装置及运动系统，包括基座、转动件、限位结构和至少三个配合件，转动件具有转动面，转动面为球面或球冠，配合件分布在基座上，且配合件的表面均和转动面相切；限位结构将转动件抵持于与至少三个配合件保持相切的位置；其中，转动件具有绕转动面的球心转动的自由度。采用该方案，转动件可在不同的方向发生大角度转动，从而能够实现大解耦角度；通过至少三个配合件的表面均和转动面相切，保证了转动件在转动时不会晃动，具备高精度。而且，在本方案中，仅通过限位结构、至少三个配合件和转动件配合，就能够满足大解耦角度和高精度的需求，这样设置使该解耦装置的制造和装配更加简单。
装置运动系统

[实用新型]位移检测装置和物镜驱动机构-CN202122012048.2有效
发明人：王振华;黄孝山;朱凯;许良;刘如德 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01B7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种位移检测装置和物镜驱动机构，位移检测装置包括：应变片安装机构、应变片和检测单元，应变片安装机构包括驱动件和两个弹性件，两个弹性件的一端沿水平方向分别固定至驱动件的两端，两个弹性件的另一端均相对待测件固定，驱动件连接至待测件，驱动件可沿垂直于弹性片表面方向移动并驱动弹性片弹性形变；两个应变片分别贴设于两个弹性件上，应变片构造成在通电且形变后产生电压变化；检测单元与应变片电连接，用于获取应变片的电压，并根据电压获取待测件的位移。采用本申请中的位移检测装置后，能够测量出物镜驱动机构的输出位移，保证物镜驱动机构的运行精度和控制精度，从而提高显微镜的实用性。
位移检测装置物镜驱动机构

[实用新型]长行程压电陶瓷致动器-CN202021730121.9有效
发明人：付栖勇;刘如德;黄孝山;胡兵 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种长行程压电陶瓷致动器，该长行程压电陶瓷致动器包括至少两个上下叠置的短行程压电陶瓷致动器，其中位于上部的短行程压电陶瓷致动器的下表面和/或位于下部的短行程压电陶瓷致动器的上表面设有下沉部，该下沉部至少沿该第一端面和第二端面延伸布置，以及位于上部的短行程压电陶瓷致动器的下表面和位于下部的短行程压电陶瓷致动器的上表面之间通过连接层连接。本实用新型可以解决压电致动器在工作时容易断裂的问题。
行程压电陶瓷致动器

[实用新型]调平装置-CN202021019360.3有效
发明人：黄孝山;付栖勇;刘如德 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种调平装置。本实用新型中，调平装置包括：基座；罩壳，呈筒状并与基座相连，且罩壳和基座形成容置区；端盖，与基座相对设置，设置在罩壳背离基座的一侧；柔性铰链，设置在容置区内，且夹持在基座和端盖之间；柔性铰链设置成可在基座和端盖之间弹性变形；至少三个陶瓷叠堆，设置在容置区内，且夹持在基座和端盖之间；各陶瓷叠堆设置成可在通电后在端盖的轴向上形变；其中各陶瓷叠堆中的至少三个沿端盖的周向设置；罩壳用于限制端盖在其轴向上的预设范围内运动；还用于限制端盖在其径向上的预设范围内运动。与现有技术相比，使得该调平装置满足可承受高负载和大切向力的要求。
平装

[发明专利]长行程压电陶瓷致动器及其加工方法-CN202010830894.2在审
发明人：付栖勇;刘如德;黄孝山;胡兵 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种长行程压电陶瓷致动器及其加工方法，该长行程压电陶瓷致动器包括至少两个上下叠置的短行程压电陶瓷致动器，其中位于上部的短行程压电陶瓷致动器的下表面和/或位于下部的短行程压电陶瓷致动器的上表面设有下沉部，该下沉部至少沿该第一端面和第二端面延伸布置，以及位于上部的短行程压电陶瓷致动器的下表面和位于下部的短行程压电陶瓷致动器的上表面之间通过连接层连接。本发明可以解决压电致动器在工作时容易断裂的问题。
行程压电陶瓷致动器及其加工方法

[实用新型]用于压电驱动装置的电源装置-CN202020555902.2有效
发明人：黄孝山;付栖勇;刘如德 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于压电驱动装置的电源装置。该电源装置包括：信号生成电路，其被配置为在FPGA中基于参考时钟信号生成DDS信号，该DDS信号是低电流值的模拟电流信号；以及功率放大电路，包括作为第一级放大器的反向电压跟随器和作为第二级放大器的反向放大器，该功率放大电路被配置为对该DDS信号进行多级放大，以产生可用于该压电驱动装置的高电压的电源信号。利用本文所述的用于压电驱动装置的电源装置，能够满足多种模式驱动要求，满足压电驱动装置的高响应输出，高电压下输出频率较高，容性负载影响较小。
用于压电驱动装置电源

[发明专利]调平装置-CN202010506662.1在审
发明人：黄孝山;付栖勇;刘如德 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种调平装置。本发明中，调平装置包括：基座；罩壳，呈筒状并与基座相连，且罩壳和基座形成容置区；端盖，与基座相对设置，设置在罩壳背离基座的一侧；柔性铰链，设置在容置区内，且夹持在基座和端盖之间；柔性铰链设置成可在基座和端盖之间弹性变形；至少三个陶瓷叠堆，设置在容置区内，且夹持在基座和端盖之间；各陶瓷叠堆设置成可在通电后在端盖的轴向上形变；其中各陶瓷叠堆中的至少三个沿端盖的周向设置；罩壳用于限制端盖在其轴向上的预设范围内运动；还用于限制端盖在其径向上的预设范围内运动。与现有技术相比，使得该调平装置满足可承受高负载和大切向力的要求。
平装

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