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[发明专利]光学位移计-CN202010428535.4在审
发明人： 冬野明 -专利权人：株式会社基恩士
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：提供一种光学位移计，其容易调整相对于工件的位置而不会降低轮廓的测量精度。摄像头(100)包括激光投射器(110)、LED投射器(120)、光接收透镜(132)、光接收器(131)和处理器(200)。激光投射器(110)将测量光发射至工件(W)。LED投射器(120)将均匀观察光发射至工件(W)。光接收透镜(132)会聚从工件(W)反射回的测量光的反射光和观察光的反射光。光接收器(131)具有由二维布置的多个光接收元件组成的光接收面。激光投射器(110)、光接收器(131)和光接收透镜(132)被布置成包含光接收面的平面和包含光接收透镜(132)的主面的平面相对于激光投射器(110)的光投射轴满足Scheimpflug条件。这使得能生成示出光接收器(131)的焦点与测量期间测量光照射的测量位置附近的区域相对一致的观察图像的观察图像数据。
光学位移

[发明专利]光学位移计-CN202010329749.6在审
发明人： 冬野明;土田佳孝 -专利权人：株式会社基恩士
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及光学位移计。目的是在抑制U方向上的测量精度的下降的同时加速V方向上的读取。提供用于基于三角测量原理来测量沿Y方向输送的测量对象的X‑Z截面的轮廓的光切法的光学位移计。光源利用在X方向上具有宽度的狭缝光照射测量对象。图像传感器接收来自测量对象的反射光，具有沿与X方向相对应的U方向和与Z方向相对应的V方向二维排列的多个像素，并输出多个像素对反射光的光接收量。检测单元针对沿U方向排列的多个像素列各自将作为光接收量的峰的V方向上的像素的位置检测为峰位置。生成单元根据U方向上的多个像素列的各位置和V方向上的峰位置生成X‑Z截面的轮廓。图像传感器的V方向上的分辨率低于图像传感器的U方向上的分辨率。
光学位移