专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有零质量负载效应的BAW谐振器结构及制备方法-CN202310658296.5在审
  • 卢星;傅玉萍;陈梓敏;王钢 - 中山大学
  • 2023-06-05 - 2023-09-15 - H03H9/02
  • 本发明公开了具有零质量负载效应的BAW谐振器结构及制备方法,针对现有技术中质量负载效应带来工作频率负移动的问题提出本方案。包括设置在反射层上的压电层,以及设置在压电层表面的第一电极和第二电极;所述的第一电极和/或第二电极是通过对压电层表面进行等离子体处理注入离子后得到。其优点在于,通过等离子体对压电层进行表面导电性增强以形成电极层,引入的电极层厚度仅为数个原子大小,厚度量级在0.1nm左右,且与压电层同质,避免了额外金属材料的引入,实现了零质量负载效应,以及工艺相对简单。
  • 有零质量负载效应baw谐振器结构制备方法

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