专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]三氯氢硅尾气回收装置及方法-CN201110403720.9无效
  • 宋宝东;余剑军 - 天津大学
  • 2011-12-07 - 2012-06-13 - B01D53/18
  • 本发明涉及三氯氢硅尾气回收装置及方法。采用吸收塔和解吸塔流程,尾气进入吸收塔,通过吸收剂将尾气中的氯硅烷组分在吸收塔中吸收下来,进入吸收塔釜形成吸收液。回收后的气体中的氯硅烷组分用气相色谱法检不出,组成为氢气和氯化氢,直接返回氯化氢合成炉。由吸收剂和氯硅烷组成的吸收液,作为进料进入到解吸塔,塔釜得到纯净的吸收剂,经过换热后返回吸收剂原料罐,循环使用;塔顶得到氯硅烷,返回粗品贮罐,作为精馏塔的进料,进一步分离得到产品三氯氢硅和副产品四氯化硅。本发明工艺流程简单、设备投资小、能量消耗低,可实现氯硅烷完全分离,彻底解决了三氯氢硅生产过程中的尾气回收和再利用问题。
  • 三氯氢硅尾气回收装置方法

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