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- [发明专利]三氯氢硅尾气回收装置及方法-CN201110403720.9无效
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宋宝东;余剑军
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天津大学
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2011-12-07
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2012-06-13
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B01D53/18
- 本发明涉及三氯氢硅尾气回收装置及方法。采用吸收塔和解吸塔流程,尾气进入吸收塔,通过吸收剂将尾气中的氯硅烷组分在吸收塔中吸收下来,进入吸收塔釜形成吸收液。回收后的气体中的氯硅烷组分用气相色谱法检不出,组成为氢气和氯化氢,直接返回氯化氢合成炉。由吸收剂和氯硅烷组成的吸收液,作为进料进入到解吸塔,塔釜得到纯净的吸收剂,经过换热后返回吸收剂原料罐,循环使用;塔顶得到氯硅烷,返回粗品贮罐,作为精馏塔的进料,进一步分离得到产品三氯氢硅和副产品四氯化硅。本发明工艺流程简单、设备投资小、能量消耗低,可实现氯硅烷完全分离,彻底解决了三氯氢硅生产过程中的尾气回收和再利用问题。
- 三氯氢硅尾气回收装置方法
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