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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]测量光学表面从目标形状偏差的方法-CN200880024274.7有效
发明人：拉尔夫·阿诺德;斯蒂芬·舒尔特;伯恩德·多尔班德 -专利权人：卡尔蔡司SMT股份公司
申请日： 2008-07-08 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： B24B13/06 文献下载
摘要：提供对准至少两个波形整形元件的方法、测量光学表面从目标形状的偏差的方法、以及用于干涉测量光学表面从目标形状的偏差的测量设备。波形整形元件的每一个包括用于将入射光的波前的部分与目标形状的相应部分相适应的衍射测量结构，对准至少两个波形整形元件的方法包括如下步骤：向波形整形元件中的第一者提供衍射对准结构；将波形整形元件彼此相对布置，从而在测量设备的操作期间，入射光束的独立的光束子集穿过每一衍射测量结构；以及，通过对连续与衍射对准结构和第二波形整形元件相互作用的对准光进行评估，所述第一波形整形元件以及所述波形整形元件中的第二个关于彼此对准。
测量光学表面目标形状偏差方法

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