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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]粘接装置以及粘接方法-CN201910962016.3在审
发明人：河东和彦;仲里竜贵 -专利权人：倍科有限公司
申请日： 2019-10-11 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种粘接装置，其具有粘接工序所需的时间短且生产效率高的特点。本发明的粘接装置包括：基板保持台11，用于支撑基板Wb；传送装置20，被配置在基板保持台11的上侧，用于将在透明膜200的下端面上临时粘接有粘接构件Ws的临时粘接膜Wf传送至规定位置；摄像装置30，被配置在临时粘接膜Wf的上侧，用于对基板Wb上的粘接构件Ws的预定粘接位置以及粘接构件Ws进行拍摄；补正装置70，根据通过摄像装置30所拍摄的信息，对基板Wb或粘接构件Ws的位置以及姿态进行补正；以及压接装置，用于使临时粘接膜Wf或基板Wb朝上下方向移动从而将粘接构件Ws压接在基板Wb上。
装置以及方法

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