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[发明专利]一种基于模态耦合频率自调整的模态局域化静电计-CN202310806821.3在审
发明人：王雪峰;陈俞至;代洪升;宦荣华;刘中华 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01R29/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于模态耦合频率自调整的模态局域化静电计，基于模态耦合机制，改变低频谐振梁的振动幅值，动态调控模态局域化谐振梁的共振频率，将高频谐振梁的振幅比限定在线性区间，解决谐振器灵敏度出现非线性的应用问题，并利用静电力实现谐振梁之间的耦合，实现灵活的耦合强度控制，进而实现幅值比线性工作带宽的灵活拓展；本发明具备不引入热噪声、实时性优异和调控精度高等优点，配合大幅度拓展的线性工作带宽，使得基于模态局域化原理的静电计的测量精度、量程等指标得到显著提升。
一种基于耦合频率调整局域静电

[发明专利]一种基于模态耦合带宽自拓展的同步加速度计-CN202310806661.2在审
发明人：王雪峰;代洪升;万海博;阳琪琪;宦荣华;韦学勇 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于模态耦合带宽自拓展的同步加速度计，敏感模块通过放大梁与敏感谐振梁相连，放大梁传递力于敏感谐振梁，动态改变敏感谐振梁的刚度，敏感模块将振荡信号以扰动信号的形式作用在高频同步模块中的高频谐振梁并形成同步；同步带宽拓展模块根据高频谐振梁振荡信息输出相位控制量作用在低频调控模块中的低频谐振梁以改变其振荡振幅，基于模态耦合机制，通过改变低频谐振梁的振荡幅值，动态调控高频谐振梁的共振频率，进而实现高频谐振梁同步带宽的大幅自主拓展，具备不引入热噪声、实时性优异和调控精度高的优点，从而实现MEMS同步加速度计性能的提升。
一种基于耦合带宽拓展同步加速度计

[发明专利]一种基于悬架并联式设计的准零刚度MEMS加速度计-CN202310681086.8在审
发明人：宦荣华;刘志强;肖尊浩;代洪升;黄志龙 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B60G17/019 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于悬架并联式设计的准零刚度MEMS加速度计，属于准零刚度加速度计技术领域。包括敏感质量块、驱动梳齿模块、悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块、检测梳齿模块；敏感质量块的上方和下方分别设有一个悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块，位于敏感质量块上侧和下侧中部的凸起结构与该侧的悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块连接，驱动梳齿模块位于敏感质量块的下侧左右两端，检测梳齿模块位于敏感质量块的左右两侧；悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块包括悬架组件、以及由双稳梁和直梁串联得到的梁结构。本发明将单个双稳梁与单个直梁串联，形成局部准零刚度区间，在器件工作平面内设计多重该结构并联机制，从而达到多区间的准零刚度。
一种基于悬架并联设计刚度 mems 加速度计