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[发明专利]用于微装置的传送的系统和方法-CN202210839127.7在审
发明人：朱明伟;斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘;付博义;胡·T·额;奈格·B·帕蒂班德拉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L25/075 文献下载
摘要：一种用于在基板上定位微装置的设备包括：一个或更多个支撑件，所述一个或更多个支撑件用于保持供体基板和目标基板；粘合剂分配器，所述粘合剂分配器用于输送粘合剂于供体基板上的微装置上；传送装置，所述传送装置包括传送表面以从供体基板传送微装置至目标基板；和控制器。控制器被配置为操作粘合剂分配器，以基于目标基板上的选择的微装置的所需间隔，选择性地分配粘合剂至供体基板上的所选择的微装置上。控制器被配置为操作传送装置，使得传送表面在供体基板上接合粘合剂，造成所选择的微装置粘附至传送表面，且接着传送表面从供体基板传送所选择的微装置至目标基板。
用于装置传送系统方法

[发明专利]用于微装置的传送的系统和方法-CN201780037396.9有效
发明人：朱明伟;斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘;付博义;胡·T·额;奈格·B·帕蒂班德拉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01L25/075 文献下载
摘要：一种用于在基板上定位微装置的设备包括：一个或更多个支撑件，所述一个或更多个支撑件用于保持供体基板和目标基板；粘合剂分配器，所述粘合剂分配器用于输送粘合剂于供体基板上的微装置上；传送装置，所述传送装置包括传送表面以从供体基板传送微装置至目标基板；和控制器。控制器被配置为操作粘合剂分配器，以基于目标基板上的选择的微装置的所需间隔，选择性地分配粘合剂至供体基板上的所选择的微装置上。控制器被配置为操作传送装置，使得传送表面在供体基板上接合粘合剂，造成所选择的微装置粘附至传送表面，且接着传送表面从供体基板传送所选择的微装置至目标基板。
用于装置传送系统方法

[发明专利]先进抛光垫配方-CN201980058001.2在审
发明人：斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘;安基特·沃拉;付博义;文卡特·哈里哈兰;马尤·山村;马里奥·科内乔;伊戈尔·艾布拉姆森;杨莫;丹尼尔·雷德菲尔德;拉杰夫·巴贾;奈格·B·帕蒂班德拉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C08F265/06 文献下载
摘要：提供了制造在抛光工艺中使用的抛光制品的方法及配方。在一个实现方式中，提供一种UV可固化树脂前驱物组合物。UV可固化树脂前驱物包含前驱物配方。前驱物配方包含第一树脂前驱物成分，该第一树脂前驱物成分包含半结晶辐射可固化寡聚材料，其中半结晶辐射可固化寡聚材料选自半结晶脂肪族聚酯氨基甲酸酯丙烯酸酯、半结晶脂肪族聚碳酸酯氨基甲酸酯丙烯酸酯、半结晶脂肪族聚醚氨基甲酸酯丙烯酸酯、或上述的组合。前驱物配方进一步包含第二树脂前驱物成分，该第二树脂前驱物成分包含单官能或多官能丙烯酸酯单体。树脂前驱物配方进一步包含光引发剂，其中前驱物配方具有一黏度，该黏度赋能分配前驱物配方以通过增材制造工艺形成抛光制品的一部分。
先进抛光配方