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- [发明专利]料盒系统-CN202080076565.1在审
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托尔斯滕·费格拉恩;于尔根·莱纳
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亚席斯自动化系统有限公司
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2020-10-28
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2022-06-17
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H01L21/673
- 本发明涉及一种用于平面基板、尤其是晶片、太阳能电池或印刷电路板的生产线的料盒系统(1)，包括至少一个基板料盒(2)，该基板料盒具有两个彼此相对布置且垂直定向的侧壁(3、4)以及在侧壁(3、4)之间构成一个或多个基板可插入的多个隔间(10)，每个隔间具有两个导轨(11)，这两个导轨间隔且相互平行地布置于侧部(3、4)上。所述料盒系统(1)针对每个侧壁(3、4)具有至少一个转接板(12、13)，相应的转接板(12、13)具有紧固机构，用于可脱离地紧固至所述侧壁(3、4)之一，转接板(12、13)各在一侧具有一个或多个承轨(18)，该承轨在紧固至侧壁(3、4)的状态下共同形成各用于基板堆叠的支撑件(20)。
- 系统
- [发明专利]用于装、卸装置的基板库-CN202110215286.5在审
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J·莱纳;K·曼格
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亚席斯自动化系统有限公司
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2021-02-25
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2021-09-10
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B65G1/04
- 本发明涉及一种用于生产线的装、卸装置的基板库系统(1)，具有至少一个基板库(2)，基板库具有两个彼此间隔开且彼此平行的侧壁(13,14)，在两个侧壁之间设有多个上下叠置的抽屉(15)，其中，抽屉用于分别存储一个或多个平坦的基板(18)，每个抽屉分别通过两个导轨(16,17)形成，两个导轨彼此间隔开且相对地设置在侧壁上，其中，至少一个侧壁(14)可移动地安装以使两个侧壁之间的净宽可变，以及具有至少一个基板处理装置(3)，至少一个基板库为处理基板而设置在基板处理装置上或其上方。在此，基板处理装置具有第一致动器(28)，其通过可操作的联接件(34)与可移动的侧壁(14)联接并使其在联接的状态下移动。
- 用于卸装基板库
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