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[发明专利]图案测量装置以及测量方法-CN201811177849.0有效
发明人：孙伟;早田康成;二宫拓;后藤泰范 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2018-10-10 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种图案测量装置以及测量方法，不管深槽、深孔的形成精度如何，均能够高精度地测量深度以及测量立体形状。因此，在本发明的测量装置中，检测通过照射产生的来自图案的反射电子，将来自上述图案的上表面、底面和侧壁的反射电子信号强度进行比较，根据上述上表面和下表面的高度差，计算上述侧壁的立体形状(或高度信息)。将上述计算出的上述侧壁的立体形状与根据初级电子束的强度分布(开口角度)推定出的侧壁的立体形状进行比较，根据上述比较差，校正推定出的侧壁的立体形状，进行上述校正直到比较差达到允许值为止。
图案测量装置以及测量方法

[发明专利]图案的检查、测量装置及程序-CN201380052997.9在审
发明人：皆川刚;广井高志;吉田健之;二宫拓;山本琢磨;新藤博之;福永文彦;丰田康隆;筱田伸一 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2015-06-17 - 主分类号： G01B15/04 文献下载
摘要：本发明提供一种图案的检查、测量装置，对检查或测量对象图案进行拍摄，使用从所得到的图像数据提取的边缘位置来进行检查或测量，能够降低噪声等的影响，提高检查或测量结果的可靠性。为此，图案的检查、测量装置的特征在于，对检查或测量对象图案进行拍摄，从所得到的图像数据利用边缘提取参数来提取边缘位置，利用该边缘位置来进行检查或测量对象图案的检查或测量，使用表示作为检查或测量的基准的形状的基准图案和所述图像数据来生成所述边缘提取参数。
图案检查测量装置程序