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[发明专利]发光装置、发光装置的制造方法及发光系统-CN202010066794.7有效
发明人：高桥正树;丹博树;和气范明 -专利权人：日本先锋公司;日本东北先锋公司
申请日： 2016-02-18 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H05B33/26 文献下载
摘要：本申请涉及发光装置、发光装置的制造方法及发光系统。基板(100)具有透光性，发光部(140)在基板(100)上形成。发光部(140)具有第1电极(110)、有机层(120)、及第2电极(130)。有机层(120)位于第1电极(110)与第2电极(130)之间。第2电极(130)延伸至发光部(140)的外侧。并且，第2电极(130)之中的、位于发光部(140)的外侧的部分的至少端部被氧化。
发光装置制造方法系统

[发明专利]发光装置、发光装置的制造方法及发光系统-CN201680011995.9有效
发明人：高桥正树;丹博树;和气范明 -专利权人：日本先锋公司;日本东北先锋公司
申请日： 2016-02-18 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： H01L51/50 文献下载
摘要：基板(100)具有透光性，发光部(140)在基板(100)上形成。发光部(140)具有第1电极(110)、有机层(120)、及第2电极(130)。有机层(120)位于第1电极(110)与第2电极(130)之间。第2电极(130)延伸至发光部(140)的外侧。并且，第2电极(130)之中的、位于发光部(140)的外侧的部分的至少端部被氧化。
发光装置制造方法系统

[发明专利]成膜方法和成膜装置、自发光元件的制造方法和制造装置-CN200510097106.9无效
发明人： 丹博树;安喰隆美 -专利权人：日本东北先锋公司
申请日： 2005-12-30 - 公布日： 2006-09-06 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：在利用设有防止二次电子等到达被成膜面的磁场的电子束蒸镀而形成金属薄膜时，使所形成的金属薄膜的带电状态处于合适状态。一种通过电子束蒸镀在基板(1)的被成膜面(1a)上形成金属薄膜的成膜装置，利用电子束发生器(4)向收容在成膜源(2)内的金属材料(3)照射电子束EB并使其熔化，所产生的金属蒸气蒸镀在基板(1)的被成膜面(1a)上，形成金属薄膜。具有：磁场形成单元(5(磁铁5A、5B))，在被成膜面(1a)和成膜源(2)之间形成与被成膜面(1a)平行的磁场M，以防止由于向成膜源(2)照射电子束(5)而从成膜源(2)朝向被成膜面(1a)的负电荷ES；电荷监视单元(6)，监视被成膜面(1a)周边的正电荷；电荷调整单元(负电荷产生单元7或磁场调整单元8)，根据电荷监视单元(6)的监视结果，调整被成膜面上形成的金属薄膜的电荷状态。
方法装置发光元件制造

[发明专利]自发光元件的制造方法和制造装置-CN200610058388.6无效
发明人： 丹博树 -专利权人：日本东北先锋公司
申请日： 2006-03-03 - 公布日： 2006-09-06 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：在基板上直接或隔着其它层形成下部电极，在该下部电极上层叠成膜层之后形成上部电极的自发光元件的制造中，即使在下部电极上等的被成膜面上存在异物或凹凸的情况下，也不会形成成膜缺陷部。具备：成膜室(20)；基板保持单元(22)，把基板(1)保持在成膜室(20)内；压力调整气体流入路径(20A)，使压力调整气体(Gp)流入成膜室(20)内；以及原料气体产生部(21)，与压力调整气体流入路径(20A)分开地设置在成膜室(20)内，产生成膜材料的原料气体(Gm)，在使压力调整气体(Gp)流入成膜室(20)内的加压状态下，使下部或上部电极(2、4)、或者成膜层(3)的至少一层成膜。
发光元件制造方法装置

[发明专利]成膜方法和成膜装置、自发光元件的制造方法和制造装置-CN200510132966.1无效
发明人： 丹博树 -专利权人：日本东北先锋公司
申请日： 2005-12-29 - 公布日： 2006-08-30 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明的课题是，在通过电子束蒸镀来形成金属薄膜时，防止二次电子等到达被成膜面，并且防止阳离子到达被成膜面，从而避免金属薄膜处于带电状态。作为解决手段，一种成膜装置，通过电子束蒸镀而在基板(1)的被成膜面(1a)上形成Al等的金属薄膜，具有通过电子束发生器(电子枪)把电子束E_B照射到收容在成膜源(2)内的金属材料(3)上的电子束照射单元(4)，并且具有电荷轨迹变更单元(5)，其变更通过向成膜源(2)照射电子束而产生的电子E_s和阳离子Po的前进轨迹，使得不会到达被成膜面(1a)。
方法装置发光元件制造

[发明专利]有机EL元件的制造方法及制造装置-CN200510063508.7有效
发明人： 丹博树 -专利权人：日本东北先锋公司
申请日： 2005-04-08 - 公布日： 2005-10-12 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：一种有机EL元件的制造方法及制造装置，具有：成膜基板上的下部电极等的前处理工序(S1)；在该前处理工序(S1)之后，在下部电极上至少成膜具有有机发光功能层的有机层和上部电极的成膜工序(S2)；在成膜工序(S2)之后，密封有机层和上部电极的密封工序(S3)，在从前处理工序(S1)之后到上部电极形成之前进行检查工序(SS)。由此，消除有机EL元件因有机层的成膜不良造成的色度偏差，改善成品率。
有机 el 元件制造方法装置

[发明专利]成膜装置、成膜方法、有机EL元件及其制造方法-CN200410062408.8无效
发明人： 丹博树;梅津茂裕 -专利权人：日本东北先锋公司
申请日： 2004-07-02 - 公布日： 2005-02-09 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：一种成膜装置、成膜方法、有机EL元件及其制造方法。在对面积较大的基板进行成膜时，可以达到良好的图形形成精度及均匀的膜厚。具备相对成膜对象的基板(1)至少具有排列成直线状的多个成膜单元(20a)的线状排列成膜源(20)，在使线状排列成膜源(20)和基板(1)的一方或两方在与该排列方向交叉的方向(箭头方向)上移动的同时，在基板(1)上进行成膜，该线状排列成膜源(20)将成膜单元(20a)配置成，使各成膜单元(20a)的移动轨迹间距(p_m)小于沿着直线状排列方向相邻的成膜单元(20a)间的排列间距(p)。
装置方法有机 el 元件及其制造