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- [发明专利]微型机械式静电振子-CN200410095586.0有效
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木原竜儿;中岛卓哉;古畑诚
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精工爱普生株式会社
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2004-12-02
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2005-06-08
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H03H9/00
- 本发明提供一种微型机械式静电振子(100),其具有:板状振动体(105);分别相对配置在振动体的两侧并且相对振动体的外周部具有空隙(106)的一对电极(107、107);向该一对电极施加同相交流电力的供电单元(110);获得与振动体和电极之间的静电电容的变化对应的输出的检测单元(103、120),其特征在于,振动体的平面形状形成为具有包括中间变细的曲线状轮廓部的形状。与以往技术相比,本发明的微型机械式静电振子容易实现高频化、能够增大输出电压相对输入电压的比、并可以降低驱动电压和节省电力。
- 微型机械式静电
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