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[实用新型]玻璃晶圆双面电镀夹具-CN202321090254.8有效
发明人：蔡旭东;张继华;李勇;王冬滨;李爽;李文磊;蔡星周;陶志华;戴定桂;潘涛;墨天虎;刘新强;周国川;陈俊;黄泽梁;何明洋;蔡艳萍;刘亮斌;刘婷;赖晓斌;陈坎明 -专利权人： 三叠纪（广东）科技有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种玻璃晶圆双面电镀夹具，用以解决现有技术中的晶圆双面电镀夹具存在密封效果较差，因电镀液容易渗入以致工作电极也被镀上的缺陷。该电镀夹具包括：夹具本体，用于支撑和定位玻璃晶圆；第一环形凸台和同心C形凸台，后者在前者外圈，且高度大于前者，两者上均有工作电极和电接头；密封圈嵌入凹槽实现密封，电极引线与电极相连。附着夹板与夹具本体配合夹晶圆，基体上也有环形凸台、电极和电接头，以及密封圈。附着夹板通过对位结构安装在夹具本体上，电接头插接形成电流通路，密封圈叠合形成内外圈密封，将各工作电极和电接头封入。紧固压板通过螺纹将夹具本体和附着夹板压合。处于密封结构的电极和电接头没有被镀上的可能。
玻璃双面电镀夹具

[实用新型]慢波基片集成波导滤波器-CN202321246804.0有效
发明人：王凌岳;李文磊;张继华;李勇;蔡星周;龙致远;何思祺;陈宏伟 -专利权人： 三叠纪（广东）科技有限公司;成都迈科科技有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01P1/208 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种慢波基片集成波导滤波器，用以解决现有多层结构的慢波基片集成波导滤波器存在结构尺寸较大，制作工艺复杂的缺陷。该滤波器包括单层介质基体、第一金属层、第二金属层，在介质基体外周采用等间隔设置外围金属化通孔阵列，中间设置耦合金属化通孔队列和内部金属化盲孔阵列，金属化通孔与第一金属层和第二金属层均电连接，金属化盲孔与第二金属层电连接；外围金属化通孔阵列与耦合金属化通孔队列、内部金属化盲孔阵列形成由谐振腔和耦合窗组成的慢波滤波结构，实现慢波效应，进而实现慢波基片集成波导滤波器的单层化和小型化。
慢波基片集成波导滤波器

[发明专利]TGV深孔填充方法-CN202110307374.8有效
发明人：郭欢;张继华;穆俊宏;贾惟聪;李勇;蔡星周;李文磊 -专利权人： 三叠纪（广东）科技有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供了一种TGV深孔填充方法，包括以下步骤：A、对玻璃基板进行清洗；B、对玻璃基板进行激光打孔，得到多个玻璃通孔；C、采用腐蚀液对玻璃基板以及玻璃通孔进行腐蚀；D、对玻璃基板以及玻璃通孔进行种子层溅射；E、将玻璃基板浸泡在稀硫酸溶液中以进行活化；F、电镀。通过对玻璃基板以及玻璃通孔进行腐蚀，使得玻璃基板以及玻璃通孔表面变得粗糙，种子层与玻璃基板以及玻璃通孔之间的摩擦系数增大，可增强种子层的附着强度，在后续活化以及电镀过程中，可在一定的程度上防止种子层脱落，从而保证电镀的效果。
tgv 填充方法

[发明专利]激光结合HF湿刻蚀加工TGV通孔的工艺-CN202110307378.6有效
发明人：蔡星周;张继华;穆俊宏;贾惟聪;李文磊;郭欢 -专利权人： 三叠纪（广东）科技有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光结合HF湿刻蚀加工TGV通孔的工艺，包括A、利用激光在玻璃晶圆上预设小孔；B、将玻璃晶圆放入装有HF溶液的容器，将容器放入超声设备中，开启超声设备，利用HF溶液将玻璃晶圆上的小孔腐蚀至需要的直径；C、取出玻璃晶圆，用去离子水清洗干净；D、检测玻璃通孔的孔径和通透性。通过激光诱导作用，可采用HF溶液刻蚀出孔径小于或等于50μm的圆孔，效率高，且通孔内壁光滑，锥度小，通孔密度可大于2500个/cm2，可有效减小玻璃晶圆的尺寸。
激光结合 hf 刻蚀加工 tgv 工艺

[发明专利]慢波基片集成波导滤波器-CN202310580000.2在审
发明人：王凌岳;李文磊;张继华;李勇;蔡星周;龙致远;何思祺;陈宏伟 -专利权人： 三叠纪（广东）科技有限公司;成都迈科科技有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01P1/208 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种慢波基片集成波导滤波器，用以解决现有多层结构的慢波基片集成波导滤波器存在结构尺寸较大，制作工艺复杂的缺陷。该滤波器包括单层介质基体、第一金属层、第二金属层，在介质基体外周采用等间隔设置外围金属化通孔阵列，中间设置耦合金属化通孔队列和内部金属化盲孔阵列，金属化通孔与第一金属层和第二金属层均电连接，金属化盲孔与第二金属层电连接；外围金属化通孔阵列与耦合金属化通孔队列、内部金属化盲孔阵列形成由谐振腔和耦合窗组成的慢波滤波结构，实现慢波效应，进而实现慢波基片集成波导滤波器的单层化和小型化。
慢波基片集成波导滤波器