“麻里乌斯·格雷戈尔”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果6个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于控制使用反馈的流量比控制器的方法和系統-CN201480036787.5有效
发明人： 麻里乌斯·格雷戈尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-06-24 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开一种处理装置，该处理装置确定多个初始的流量设定点命令，多个设定点命令的每一设定点命令对应到多个阀门中的一个阀门。处理装置发送多个初始的设定点命令的每一初始的设定点命令至多个阀门中的相对应的阀门。处理装置接收来自多个阀门中的每一阀门的反馈，并基于来自多个阀门中的每一阀门的该相对应的反馈来确定多个更新的流量设定点命令，多个更新的流量设定点命令的每一更新的流量设定点命令对应到多个阀门中的一个阀门。
阀门处理装置多个阀门流量设定反馈更新流量比控制器发送

[发明专利]用于控制使用前馈调整的流量比控制器的方法及系统-CN201480036792.6有效
发明人： 麻里乌斯·格雷戈尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-06-24 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开一种处理装置，该处理装置确定多个初始的流量设定点命令，多个设定点命令的每一设定点命令对应到多个阀门中的一个阀门，并发送多个初始的设定点命令的每一初始的设定点命令至多个阀门中的一相对应的阀门。处理装置针对于需要进行调整的流量状况来监控多个阀门。在检测到流量状况之后，处理装置基于先前的设定点来预测调整，并基于该预测的调整确定多个更新的流量设定点命令，所述多个更新的流量设定点命令的每一更新的流量设定点命令对应到所述多个阀门中的一个阀门。处理装置然后发送所述多个更新的设定点命令的每一更新的设定点命令至所述多个阀门的该相对应的阀门。
用于控制使用调整流量控制器方法系统

[发明专利]增强的气体流率控制的方法及设备-CN201380044160.X有效
发明人： 麻里乌斯·格雷戈尔;约翰·W·莱恩;迈克尔·罗伯特·赖斯;贾斯汀·霍夫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-08-12 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： F16K37/00 文献下载
摘要：本发明提供用于控制气体流动至半导体处理腔室的方法与设备。方法和设备包括：使流量比率控制器中的比率设定点反馈控制无效；启动气体流动经过所述流量比率控制器；当上游压力达到储存的上游压力值时，移动所述流量比率控制器的阀门至基于储存位置的预设位置，其中所述储存位置与所述储存的上游压力值于前期处理运行期间被储存；确定稳态流量比率控制器输出的流动已达到；及使所述流量比率控制器中的比率设定点反馈控制有效。公开了许多额外的特征。
增强气体控制方法设备

[发明专利]用于加强气体物种混合的压紧装置-CN201480013736.0有效
发明人：约翰·W·莱恩;贝林·达朗;拉马钱德拉·穆尔蒂·贡图瑞;麻里乌斯·格雷戈尔;巴斯旺·曼珠纳斯;普拉沙司·瓦苏戴瓦 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-02-21 - 公布日： 2017-11-03 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：用于混合气体的装置与系统包括耦接至第一导管而控制第一气体的流量的第一阀、耦接至第二导管而控制第二气体的流量的第二阀、控制阀的控制器，具有耦接至所述第一导管的第一气体输入、耦接至所述第二导管的第二气体输入、及输出开口的基本区段，形成于所述基本区段内的混合腔室，以及设于所述混合腔室内的内部区段，其中所述混合腔室耦接至所述第一气体输入与所述第二气体输入以接收输入气体，所述内部区段包括具有内部空间的主体、以及一或多个周边孔，所述一或多个周边孔形成贯穿所述主体而使所述混合腔室流体耦接至所述内部区段的所述内部空间；及气体出口，配置以使气体流经所述基本区段的输出开口。
用于加强气体物种混合压紧装置

[发明专利]用于监控耦合至处理腔室的流量控制器的方法-CN201280055872.7有效
发明人：巴拉拉贝·N·穆罕默德;约翰·W·莱恩;麻里乌斯·格雷戈尔;丹·约瑟夫·希利 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-09-28 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：在此提供用于流量控制器的原位校正的方法和设备。在一些实施例中，流动气体的方法包含以下步骤提供流量控制器，所述流量控制器经配置以基于计算出的第一关系，提供具有第一数值的流量的第一气体，所述第一关系通过使用标准气体来确定；从处于流量控制器的相对应的多个数值的设定点而确定的第一气体的多个数值的流量中，确定对于第一气体的流量和设定点之间的实际的第一关系，其中所述多个数值的每一数值的流量从将第一气体流动经过处在所述多个数值的相对应的数值的设定点的流量控制器来确定；及基于实际的第一关系，利用第一数值的流量流动第一气体。
用于监控耦合处理流量控制器方法

[发明专利]使用基于模型的控制来处理基板的方法和设备-CN201280033269.9有效
发明人：基思·布赖恩·波特豪斯;约翰·W·莱恩;麻里乌斯·格雷戈尔;尼尔·玛丽;迈克尔·R·赖斯;亚历克斯·明科维奇;洪斌·李;德米特里·A·季利诺 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-07-12 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本文披露方法和设备。在一些实施方式中，控制处理腔室的方法可包括预先确定作为工艺参数的函数的排放阀的位置与处理容积中的压力之间的关系；将处理腔室设定成第一状态，第一状态具有处理容积中的第一压力和工艺参数的第一值，其中将排放阀依据预定关系设定到第一位置以在第一值下产生第一压力；当将处理腔室从第一状态变成第二状态时，确定压力控制分布以控制压力，其中第二状态具有第二压力和工艺参数的第二值；以及在使处理腔室变成第二状态时，通过改变排放阀的位置，以应用压力控制分布来控制压力。
使用基于模型控制处理方法设备