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[实用新型]一种生产板承载装置-CN202321129000.2有效
发明人： 马库斯·郎;马丁·施莱 -专利权人：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种生产板承载装置，包括承载盘，所述承载盘的中心区域为用于吸附生产板的吸附区域，所述吸附区域的四周为干式接触区域，所述干式接触区域内设置有至少一个密封腔，所述密封腔内包含有一端与所述生产板接触按压、另一端与外部电气系统连接的接触机构。本实用新型实施例通过在承载盘的吸附区域四周设置干式接触区域，以达到对生产板干式接触夹持的效果，同时通过密封腔内的接触机构对生产板进行接触按压并传导电流，从而提高生产板夹持效果，满足实际生产需求。
一种生产承载装置

[发明专利]一种IC基板多功能化学制程装置及方法-CN202210389949.X有效
发明人： 马库斯·郎;马丁·施莱 -专利权人：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种IC基板多功能化学制程装置及方法，该装置包括：单板处理加工室，所述单板处理加工室内盛有用于浸没IC基板的溶液；多功能喷嘴系统，用于IC基板的表面处理；水流喷管，用于在溶液表面形成可带走任何可能存在的微粒和/或碎屑溢流通道；过滤系统，与溢流通道连通，用于过滤溢流通道中的微粒和/或碎屑。本发明将待处理的IC基板置于单板处理加工室的溶液中；利用多功能喷嘴系统对IC基板表面进行处理并去除任何可能存在的微粒和/或碎屑；通过水流喷管形成朝向过滤系统的溢流通道带动被去除的微粒和/或碎屑朝向过滤系统流动，并通过过滤系统对流动到的微粒和/或碎屑进行过滤处理，可以有效提高对于IC基板表面处理上的效率及灵活性。
一种 ic 多功能化学装置方法

[实用新型]一种双腔喷雾装置-CN202123262258.3有效
发明人： 马库斯·郎 -专利权人：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： B05B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双腔喷雾装置，包括喷雾管体和多个穿透所述喷雾管体并朝外设置的喷嘴，所述喷雾管体内设置有用于溶液进入并平衡溶液压力的平衡室和与所述平衡室连通的分配室，每一所述喷嘴均与所述分配室连通。本实用新型通过平衡室对溶液进行压力平衡后，使溶液进入到分配室中，并通过分配室流向各个喷嘴，从而使各喷嘴中的溶液压力和流量一致，进而提高喷淋效果。
一种喷雾装置

[实用新型]一种立体式线路板加工装置-CN202121781558.X有效
发明人： 马库斯·郎;叶其明 -专利权人：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-08-02 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种立体式线路板加工装置，包括依次设置的用于输入线路板的输入模块、垂直加工模块以及用于输出线路板的输出模块，所述垂直加工模块包括用于竖直输送线路板的输送单元和对线路板进行加工的加工组件；所述垂直加工模块的两侧均设置有竖直的输送口，所述输入模块通过一侧的输送口与所述输送单元的一端连接，所述输出模块通过另一侧的输送口与所述输送单元的另一端连接，所述输入模块和/或所述输出模块为可翻转模块。本实用新型实施例通过可翻转的输入模块和/或输出模块，使线路板可以垂直出入垂直加工模块，并通过所述垂直加工模块对线路板进行均匀加工，从而提高对于线路板的加工质量，以及提供立体加工自动化性能。
一种立体线路板加工装置

[实用新型]一种线路板框架及分段阴极板-CN202121610944.2有效
发明人： 马库斯·郎 -专利权人：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-07-15 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种线路板框架及分段阴极板，该线路板框架包括框架本体，所述框架本体上设置有至少一个用于夹紧线路板的集成夹紧段，以及设置有至少一个用于为线路板导电的整流器触点；所述集成夹紧段上设置有至少一个与线路板接触导电的接触点，所述集成夹紧段通过所述接触点与所述整流器触点电连接。本实用新型通过在线路板框架上设置所述集成夹紧段和整流器触点，使电流经集成夹紧段上的接触点流向线路板，可以提高线路板上的阴极电流分布均匀性。
一种线路板框架分段阴极

[实用新型]一种测量溶液浓度的超声波传感装置-CN202121210078.8有效
发明人： 马库斯·郎 -专利权人：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-06-01 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G01N29/024 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种测量溶液浓度的超声波传感装置，设置于蚀刻机的循环系统中，用于测量蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度，蚀刻机的循环系统包括用于盛放蚀刻剂溶液的容纳池，容纳池的外侧下端设有循环泵，容纳池的外侧上端设有回流喷淋管，超声波传感装置包括壳体和穿入壳体内部的传感器组件，壳体的一端密封连通循环泵，壳体的另一端密封连通回流喷淋管，传感器组件包括位于壳体内部的超声波检测端，容纳池内的蚀刻剂溶液循环流经超声波检测端。本实用新型通过循环流动蚀刻剂溶液，在循环流动的过程中插入传感器组件，通过传感器组件的超声波检测端对蚀刻剂溶液的浓度进行检测，具有通过浓度测量精度高的优点。
一种测量溶液浓度超声波传感装置

[实用新型]一种空化器-CN202121203390.4有效
发明人： 马库斯·郎 -专利权人：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B01J19/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种空化器，设置于蚀刻机的循环系统中，用于保持蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度，蚀刻机的循环系统包括用于盛放蚀刻剂溶液的容纳池，空化器包括密封连接的混合装置和气泡破裂装置，混合装置连通容纳池的下端，气泡破裂装置连通容纳池的上端，混合装置内设有朝向气泡破裂装置的混合喷嘴，混合装置的外侧设有多个连通混合喷嘴且用于注入气体和蚀刻成分剂的注入接头，气泡破裂装置内设有使气泡发生破裂的挡板组件。本实用新型提供的空化器结构中，通过混合装置和气泡破裂装置可使得注入的气体和蚀刻成分剂充分与蚀刻剂溶液进行化学反应，具有稳定保持蚀刻机中的蚀刻剂溶液的高浓度和混合均匀的优点。
一种空化器

[发明专利]一种电镀装置及电镀方法-CN202110071104.1有效
发明人： 马库斯·郎 -专利权人：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-01-19 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： C25D5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种电镀装置及电镀方法，该电镀装置包括用于对生产板进行电镀的电镀单元，所述电镀单元包括用于朝向所述生产板喷镀电解液的电解液通道和设置于所述电解液通道外表面的电镀组件，所述电镀组件包括设置于所述电解液通道外表面的阳极和设置于阳极内且用于以喷镀反方向吸收电解液的吸入通道。本发明结合使用电解液通道和电镀组件，可以使电解液均匀电镀在生产板上。
一种电镀装置方法

[发明专利]一种线路板蚀刻方法及蚀刻剂-CN202110368068.5在审
发明人： 马库斯·郎 -专利权人：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-04-06 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种线路板蚀刻方法及蚀刻剂，该蚀刻方法包括：获取待进行蚀刻的线路板；利用预先配置的蚀刻剂对所述线路板进行蚀刻，其中，所述蚀刻剂包括基础蚀刻剂和具有耐酸性的添加剂，所述添加剂的质量浓度为0.001％～1％。本发明通过添加有耐酸性的添加剂的蚀刻剂对线路板进行蚀刻，可以在不损坏线路板的前提下提高蚀刻精度。
一种线路板蚀刻方法

[发明专利]一种电解镀铜的铜处理装置及方法-CN202110289483.1在审
发明人： 马库斯·郎 -专利权人：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： C23C22/73 文献下载
摘要：本发明公开了一种电解镀铜的铜处理装置及方法，该铜处理装置用于对待进行电镀的铜面面板进行预处理，所述铜面面板为经过干膜处理和显影处理的铜面面板，所述铜处理装置包括盛有硫酸的硫酸池，所述硫酸池中设置有用于产生臭氧的紫外线发光源，所述硫酸池中的硫酸用于与所述铜面面板发生化学反应。本发明在电解镀铜前，通过能够产生臭氧的紫外线发光源和硫酸对铜面面板进行预处理，以消除所述铜面面板上的等离子体。
一种电解镀铜处理装置方法

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