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[发明专利]一种离子束流加速管装置-CN202111656352.9在审
发明人：李世才;马国宇;蔡杨烁;王金超;王晓刚;张伟星 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子束流加速管装置，包括加速管入口电极组件，加速管中间组件，加速管出口组件；聚焦硅堆作为连接聚焦电源与加速管中间组件的连接件，能有效防止电流回流，卸放电阻作为连接加速管中间组件与聚焦电源的连接件，能有效防止回路电流过大；加速管支撑焊接件可对加速管进行支撑固定；硅橡胶材质的加速管整体防护罩可有效预防加速管表面的局部放电现象。本发明可用于离子束依次经过加速管的加速电极，具有上下、左右分布的聚焦电极、抑制电极时，提高离子束的传输能量，加深离子掺杂工艺的注入深度，同时通过调节聚焦电源、抑制电源的输出电压可以有效改变束流传输过程中的扩散宽度，提高注入均匀性的可控性。
一种离子束加速装置

[发明专利]一种二自由度电扫描装置-CN201810754734.7有效
发明人： 马国宇;王锦喆 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种二自由度电扫描装置，用于将斑点状离子束扫描成水平条形发散离子束，所述装置包括，基板(1)，将电扫描装置安装在真空腔体上并具有真空密封作用；左扫描电极(2)与右扫描电极(6)成对使用，分别在两个扫描电极上施加不同的变化电压，这样离子束被水平扫开；通过在抑制电极(4)上施加负电压用于阻止二次电子向前传输；真空电极(5)用于真空腔室内外电压传输，在真空内分别连接两个扫描电极，在大气端连接扫描电源；驱动装置(3)和驱动装置(7)可以控制两个扫描电极相对束流中心做相向运动，同时还可以驱动两个扫描电极相对基板(1)同时前后移动。
一种自由度扫描装置

[发明专利]一种基于定向台定向结果调节机械手速度的方法-CN202011106154.0在审
发明人：方加晔;马国宇;郭世卿;刘海财;何山 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明大体而言是半导体离子注入工序中对对机械手运动速度进行调节的应用场景。更确切的说是，是对离子注入机中调节真空机械手在传送晶圆过程中速度的场景。此方法能提高晶圆传输系统的稳定性和精确性，从而提高产能。属于半导体领域。
一种基于定向结果调节机械手速度方法

[发明专利]一种高精度引出电极位置控制装置及方法-CN202011106227.6在审
发明人：方加晔;马国宇;刘海财;何山;郭世卿 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本发明涉及用于离子注入机的引出电极位置控制装置及方法。本发明提供了一种高精度引出电极位置控制装置及方法，该引出电极位置控制装置具有控制精度高、简单可靠的优点。当该引出电极位置控制装置及方法应用于离子注入机时，可精确控制引出电极位置，属于半导体领域。
一种高精度引出电极位置控制装置方法

[发明专利]一种离子束水平与垂直角度测量装置-CN201811309626.5在审
发明人： 马国宇 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明公开了种离子束水平与垂直角度测量装置，包括真空腔体，离子束流在其中传输；水平与垂直角度法拉第测量杯，用于测量离子束流相对于法拉第杯体入射面法线在水平面和垂直面的倾斜角度；水平角度测量驱动电机通过联轴器直接驱动四连杆机构，每个杯体与连杆的终端联接，驱动每个杯体的自转；垂直角度测量驱动电机通过同步带传动机构驱动装有多个法拉第杯体的杯体安装座旋转，所有杯体做公转运动。本发明可用于离子注入机在靶室终端对束流注入角度的测量，通过这些角度参可以调整靶台的位置，这样就提高硅片的离子注入精度，包括注入角度与均匀性。
一种离子束水平垂直角度测量装置

[发明专利]一种离子注入机绝缘环组件-CN201410788910.0有效
发明人： 马国宇 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2014-12-18 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种离子注入机绝缘环组件，该绝缘环组件用于完成低能大束流离子注入机能量减速系统，它将整个离子注入机光路分割成两个电位区域，当离子束从一个电位区域运动到另一个电位区域，离子能量发生变化。绝缘环组件包括绝缘环和电子屏蔽系统，绝缘环实现光路束线的物理绝缘，电子屏蔽系统实现绝缘环与离子束的物理隔离。
一种离子注入绝缘组件

[发明专利]一种基于水合物法储运天然气的系统及使用方法-CN201910448662.8在审
发明人：武振平;孙米强;马国宇;袁鹏飞;曹广胜;白玉杰 -专利权人：大庆东油睿佳石油科技有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： C10L7/00 文献下载
摘要：本发明公布了一种基于水合物法储运天然气的系统及使用方法，涉及天然气储运领域，尤其涉及一种基于水合物法储运天然气的系统及使用方法，具体是一种通过水合物法对天然气进行水合物合成、储存、分解再利用的系统。所述系统包括水合物浆体合成系统、低温水合物生成系统、传动系统、水合物地下低温储藏库、水合物分解系统，本发明将天然气和配置水通过注气口阶梯式排布、天然气压力波动式注入、正反逆向涡流式搅拌的方式合成水合物浆体，并将水合物浆体和天然气通过喷淋方式生成天然气水合物，本发明制备方法简单流程少，解决了水循环回路中的堵塞问题，可使天然气以固态形式储运，储运方式更为灵活便捷。
水合物法储运天然气水合物浆天然气水合物地下低温储藏库水合物分解系统水合物生成系统天然气储运领域天然气水合物阶梯式排布水合物合成水循环回路天然气压力传动系统固态形式简单流程体合成涡流式再利用注气口喷淋制备储存合成堵塞分解灵活配置

[外观设计]化妆品外包装盒（巧童针管型）-CN201730496332.8有效
发明人： 马国宇 -专利权人：广州宝妈母婴健康管理有限公司
申请日： 2017-10-18 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： 09-03 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：化妆品外包装盒（巧童针管型）。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于产品包装。3．本外观设计产品的设计要点：形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
外观设计外包装盒针管化妆品产品包装图片

[发明专利]一种多功能双灯丝离子源-CN201510710238.8在审
发明人： 马国宇 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2016-01-14 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种多功能双灯丝离子源，包括弧室腔体，工艺气体被导入其中，在其内部生成等离子体；阳极筒，兼作阳极，安装在弧室腔体内并与其绝缘；两个热阴极，分别布置在阳极筒内两侧并与阳极筒和弧室腔体分别绝缘；两个阴极，分别布置在阳极筒内两侧并与阳极筒、弧室腔体和热阴极分别绝缘；金属样品，安装在弧室腔体底部，并与弧室腔体相连接；水冷板，具有单独水冷通道冷却底板安装在弧室腔体下面；源磁场，磁力线沿着热阴极与反射极的连接线。本发明可用于产生从气态到几乎所有金属的各种离子，具备在一个离子源获得大束流气态元素离子束流与固态金属束流的优异性能，可以产生更多的2价3价离子，特别适合高能离子注入机使用。
一种多功能灯丝离子源

[发明专利]一种多功能离子源-CN201410844871.1在审
发明人：彭立波;马国宇;李晨冉;赵叶军 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： C23C14/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种多功能离子源，包括弧室腔体，工艺气体被导入其中，在其内部生成等离子体；阳极筒，兼作阳极，安装在弧室腔体内并与其绝缘；热阴极，布置在阳极筒内一侧并与阳极筒和弧室腔体分别绝缘；金属样品，安装在弧室腔体底部，并与弧室腔体相连接；反射极，设置在阳极筒内另一侧并与热阴极相对，它与阳极筒和弧室腔体分别绝缘；源磁场，磁力线沿着热阴极与反射极的连接线。本发明可用于产生从气态到几乎所有金属的各种离子，具备在一个离子源获得大束流气态元素离子束流与固态金属束流的优异性能，降低了需要产生金属离子束流的离子注入机的系统复杂性，简化了离子源的控制与制造成本。
一种多功能离子源

[发明专利]一种多工位高低温靶台-CN201410637727.0有效
发明人： 马国宇 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2014-11-13 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种多工位高低温靶台。所述高低温靶台包括靶壳，以及装在靶壳上并可绕靶壳旋转的旋转靶体；所述旋转靶体周向装有多个用于装夹晶片的冷靶、一个法拉第组件和至少一个用于装夹晶片的热靶；所述热靶内设有加热组件，所述旋转靶体内设有对冷靶进行冷却的结构；所述旋转靶体、冷靶、热靶和法拉第组件通过密封均置于真空中；所述旋转靶体一侧设有对束流扫描范围进行检测的过扫装置，在过扫装置与旋转靶体之间设有将束流注入到晶片上的束流注入通道。本发明可以方便快捷地对需要注入离子的晶片进行加热或降温，实现晶片的高温或低温注入。
一种多工位高低温靶台

[发明专利]一种减速电极驱动装置-CN201310557472.2有效
发明人： 马国宇;李晨冉 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2013-11-08 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种减速电极驱动装置，包括：X轴驱动机构(1)、Z轴驱动机构(2)、真空模块(3)、真空电极引线模块(4)、冷却模块(5)，其中X轴驱动机构(1)驱动减速电极竖直方向运动；Z轴驱动机构(2)驱动减速电极水平方向运动；真空模块(3)负责减速电极驱动装置与减速电极组件的真空和大气之间隔离，该模块具有较好的运动密封性；真空电极引线模块(4)负责真空环境下的减速电极与外界大气环境下的电极供电线路连接；冷却模块(5)负责冷却减速电极驱动装置，降低减速电极高温向减速电极驱动装置的传热，防止密封圈因高温失效。
一种减速电极驱动装置

[发明专利]一种离子束减速装置-CN201310557475.6有效
发明人： 马国宇 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2013-11-08 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：一种离子束减速装置，离子束减速装置主要用于低能大束流离子注入机离子束的一级减速，该装置包括过渡连接块(1)，连接块(2)，减速电极防护板(3)；减速电极基板(4)，终端电极(5)，终端电极侧板(6)，绝缘陶瓷(7)，聚集电极侧板(8)，聚集电极(9)，聚集电极安装板(10)，抑制电极(11)，地电极(12)，地电极安装板(13)，抑制电极安装板(14)，抑制电极安装条(15)，聚集电极安装条(16)，抑制电极短接条(17)，接线柱(18)，聚焦电极短接条(19)，其特征在于：对离子束进行减速，用以获得低能的离子束流。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。
一种离子束减速装置

[发明专利]一种履带板附着力测量装置-CN201110378788.6无效
发明人：李刚;马国宇;蔡巍 -专利权人：三一电气有限责任公司
申请日： 2011-11-24 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： G01N19/04 文献下载
摘要：本发明提出了一种履带板附着力测量装置，包括：地面支架、施压机构、滑动支架、滑动套筒、拉力传感器、压力传感器、牵引装置、用于连接履带板的安装板；施压机构固定安装在滑动支架上，用于为滑动套筒提供竖直向下的压力；滑动套筒的外壁与滑动支架连接，滑动套筒可在压力的作用下，带动安装板相对滑动支架上下滑动；压力传感器用于感测压力；牵引装置连接滑动支架，用于为滑动支架提供水平牵引力；滑动支架可在水平牵引力的作用下，在地面支架上水平滑动，并带动滑动套筒及安装板水平移动；拉力传感器用于感测水平牵引力。本发明能测量不同形式的履带板在做剪切土壤运动时，所受压力与履带板附着力的对应关系，且适于实地测量、测量精度高。
一种履带附着力测量装置

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