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[发明专利]机械式流化沉积系统和方法-CN201580075951.8在审
发明人： 马克·W·达塞尔;乌韦·克冉特;大卫·A·布莱斯勒 -专利权人：斯泰克有限责任公司;马克·W·达塞尔
申请日： 2015-12-23 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： C23C16/24 文献下载
摘要：允许高效、有成本效益地生产硅的机械式流化系统和构成。可将微粒提供到被加热的盘或锅，该盘或锅振荡或振动以得到反应表面。微粒在盘或锅中向下迁移，并且随着反应产物达到所期望状态，反应产物在盘或锅中向上迁移。排放的气体可重新循环。
机械式流化沉积系统方法

[发明专利]晶体制造系统和方法-CN201580076554.2在审
发明人： 马克·W·达塞尔;乌韦·克冉特 -专利权人：斯泰克有限责任公司;马克·W·达塞尔
申请日： 2015-12-23 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： C30B28/14 文献下载
摘要：机械流化系统和过程允许高效、有成本效益地制造具有极低水平的诸如金属和氧气的污染物的硅包覆颗粒。这些硅包覆颗粒在保持在低氧气水平或极低氧气水平和低污染物水平或极低污染物水平的环境中制造、运输并且成形为晶体，以使氧化硅的形成最小化，并且使包覆颗粒上的污染物沉积最小化。这种高纯度的包覆硅颗粒可不需要分类，并且可在晶体制造方法中整体或部分地使用。通过减少或消除氧化硅层和包覆颗粒上的污染物来改进晶体制造方法和所制造的所得高质量硅晶锭。
晶体制造系统方法