专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种双偏振照明模组-CN202320747421.5有效
  • 顾文斐;蔡雄飞 - 苏州矽行半导体技术有限公司
  • 2023-04-07 - 2023-07-04 - G01N21/01
  • 本实用新型公开了一种双偏振照明模组,属于半导体光学成像领域,双偏振照明模组包括依次布置的光源、准直透镜、双偏振单元和光瞳组件;其中,双偏振单元用于将光源经准直透镜的出射光偏振调节为两组垂直的偏振光;所述光瞳组件用于将从双偏振单元出射的两组垂直的偏振光调节照射给待测晶圆;本申请的方案使用沃勒斯顿偏振器实现同时的水平/垂直偏振照明,提高了成像效率,可在晶圆级检测领域或光刻等领域推广应用。
  • 一种偏振照明模组

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