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[发明专利]一种大面积纳米压印软模具复制装置及方法-CN201510293304.6有效
发明人：兰红波 -专利权人： 青岛博纳光电装备有限公司
申请日： 2015-06-01 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： B29C59/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种大面积纳米压印软模具复制装置及方法，包括工作台固定在底座之上；母模通过真空吸附固定在工作台之上；垫圈通过真空吸附固定在工作台之上，并嵌在母模的外围；液态模具图形层材料滴在母模之上；模具支撑层通过真空吸附固定在动板的下表面；限位模块置于动板之上；Z向位移台与动板相连接；导向柱固定在底座上，并穿过动板。本发明有益效果实现了大尺寸晶圆级软模具低成本、高效、高精度和规模化的制造，为大面积纳米压印和整片晶圆纳米压印提供一种重要的支撑工具和技术。
一种大面积纳米压印模具复制装置方法

[实用新型]一种大面积纳米压印软模具复制装置-CN201520368786.2有效
发明人：兰红波 -专利权人： 青岛博纳光电装备有限公司
申请日： 2015-06-01 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： B29C59/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大面积纳米压印软模具复制装置，包括：工作台固定在底座之上；母模通过真空吸附固定在工作台之上；垫圈通过真空吸附固定在工作台之上，并嵌在母模的外围；液态模具图形层材料滴在母模之上；模具支撑层通过真空吸附固定在动板的下表面；限位模块置于动板之上；Z向位移台与动板相连接；导向柱固定在底座上，并穿过动板。本实用新型有益效果：实现了大尺寸晶圆级软模具低成本、高效、高精度和规模化的制造，为大面积纳米压印和整片晶圆纳米压印提供一种重要的支撑工具和技术。
一种大面积纳米压印模具复制装置

[发明专利]一种大尺寸和无接缝纳米尺度滚轮模具制造方法-CN201310360420.6在审
发明人：兰红波 -专利权人： 青岛博纳光电装备有限公司
申请日： 2013-08-16 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种大尺寸和无接缝纳米尺度滚轮模具制造方法，它可实现大尺寸、无接缝纳米尺度金属滚轮模具高效和低成本制造。其步骤为：步骤1：制造平板型母板模具；步骤2：制造滚轮基体：制备一个圆柱形滚轮基体，并在其外表面附着金属材料的种子层；步骤3：制造小滚轮工作模具：利用滚对平面纳米压印工艺，将平板型模具上的纳米尺度特征图形转移复制到小滚轮工作模具的压印材料上；步骤4：采用滚对滚型纳米压印工艺，将小滚轮工作模具压印材料上的特征图形转移复制到大滚轮模具紫外固化压印胶上，造出大尺寸金属滚轮模具；步骤5：对金属滚轮模具表面处理，涂覆一层薄的涂覆抗粘附层，得到大尺寸和无接缝纳米尺度金属滚轮模具。
一种尺寸接缝纳米尺度滚轮模具制造方法

[发明专利]一种用于滚型纳米压印的滚轮模具-CN201310359609.3有效
发明人：兰红波 -专利权人： 青岛博纳光电装备有限公司
申请日： 2013-08-16 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： G09F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种新型的用于滚型纳米压印的滚轮模具，实现UV固化滚型纳米压印对非透明衬底的压印。它包括：用于压印的具有UV光透过性的透明空心滚筒；滚筒外表面固定有具有UV光透过特性的特征结构层，特征结构层由凸形特征和凹形特征构成所要复制的特征图形；在滚筒内表面设有准直透镜；准直透镜的内表面涂有高反射涂层，在需要曝光的区域开有狭缝，准直透镜位于石英滚筒和UV光源之间，准直透镜将UV光源发射的UV光束聚焦到狭缝中心区域，并得到均匀一致的光束，通过准直透镜的狭缝对压印材料曝光固化；UV光源位于滚筒内部的中心轴线上。
一种用于纳米压印滚轮模具

[实用新型]一种抗反射和自清洁玻璃-CN201320261992.4有效
发明人：兰红波 -专利权人： 青岛博纳光电装备有限公司
申请日： 2013-05-14 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抗反射和自清洁玻璃，在玻璃表面的压印材料上利用基于带形软模具的纳米压印工艺形成亚波长的纳米锥阵列结构或在玻璃表面采用硬掩膜以及压印材料基于带形软模具的纳米压印以及硬掩膜转移刻蚀工艺刻蚀出亚波长的纳米锥阵列结构。本实用新型可用于太阳能电池板、玻璃幕墙、汽车挡风玻璃、光学元件和仪器、大尺寸高清平板显示、红外探测器等领域。本实用新型具有抗反射性和自清洁性能高、耐久性好、稳定性高、恶劣环境适应强、生产率高、成本低的优势，尤其能够实现超大面积抗反射和自清洁玻璃高效和低成本批量化生产。
一种反射清洁玻璃

[实用新型]一种用于大面积纳米压印的自适应压印头-CN201320254208.7有效
发明人：兰红波 -专利权人： 青岛博纳光电装备有限公司
申请日： 2013-05-10 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于大面积纳米压印的自适应压印头，它包括一维位移平台、连接支架、连接板、弹簧、导柱，其中，一维位移平台的立板与连接支架相连接，弹簧一端置于连接支架底板凹槽中，另一端置于连接板的凹槽中，导柱穿过连接板、弹簧，并与连接支架底板连接。本实用新型具有结构简单、调整方便、成本低、适应性广和柔性高的优点。可应用于整片晶圆纳米压印、滚轮对滚轮型纳米压印，尤其适用于滚轮对平面型纳米压印。为大面积纳米压印光刻工艺和装备的开发提供一种有效的解决方案。
一种用于大面积纳米压印自适应

[实用新型]大面积纳米图形化的装置-CN201320242545.4有效
发明人：兰红波 -专利权人： 青岛博纳光电装备有限公司
申请日： 2013-05-07 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大面积纳米图形化的装置，该装置包括：承片台、衬底、涂布装置、模具进给装置、带形模具、脱模剂喷涂装置、模具清理装置、辅助压印装置、UV固化装置、压印装置等。基于该装置实现大面积纳图形化的方法：（1）预处理；（2）压印材料涂布；（3）压印成型；（4）模具处理。本实用新型实现了超大尺寸非平整刚性衬上微纳米结构高效、低成本规模化制造，为大尺寸刚性衬底大面积纳米图形化提供一种工业级的解决方案，可应用于高性能玻璃、太阳能电池板、平板显示、微光学器件、LED等行业规模化生产。
大面积纳米图形装置

[实用新型]一种制造水溶性PVA薄膜模具的装置-CN201320128797.4有效
发明人：兰红波 -专利权人： 青岛博纳光电装备有限公司
申请日： 2013-03-20 - 公布日： 2013-08-28 - 主分类号： B29C69/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种制造水溶性PVA薄膜模具的装置，PET薄膜衬底从放卷装置经导向装置送入收卷装置；放卷装置与收卷装置间沿导向装置运行方向依次设置电晕处理装置、涂布装置、膜厚测控装置、预干燥固化装置、热滚压印成型装置、后干燥固化装置、水溶性PVA薄膜模具，含水量80-85%的PVA水溶胶由涂布装置均匀一致的涂布在PET薄膜衬底上；预干燥固化装置将PVA水溶胶涂层含水量降到50-55%；热滚压印成型装置得到水溶性PVA薄膜模具，并将水溶性PVA薄膜模具含水量控制在20-25%；后干燥固化装置对水溶性PVA薄膜模具进一步干燥固化得到含水量15-20%的水溶性PVA薄膜模具，实现水溶性PVA薄膜模具高效、低成本规模化连续生产，为大面积复杂三维微纳结构的批量化制造提供工业级解决方案。
一种制造水溶性 pva 薄膜模具装置

[发明专利]一种抗反射和自清洁玻璃及其制造方法-CN201310177670.6有效
发明人：兰红波 -专利权人： 青岛博纳光电装备有限公司
申请日： 2013-05-14 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种抗反射和自清洁玻璃及其制造方法，在玻璃表面的压印材料上利用基于带形软模具的纳米压印工艺形成亚波长的纳米锥阵列结构或在玻璃表面采用硬掩膜以及压印材料基于带形软模具的纳米压印以及硬掩膜转移刻蚀工艺刻蚀出亚波长的纳米锥阵列结构。本发明可用于太阳能电池板、玻璃幕墙、汽车挡风玻璃、光学元件和仪器、大尺寸高清平板显示、红外探测器等领域。本发明具有抗反射性和自清洁性能高、耐久性好、稳定性高、恶劣环境适应强、生产率高、成本低的优势，尤其能够实现超大面积抗反射和自清洁玻璃高效和低成本批量化生产。
一种反射清洁玻璃及其制造方法

[发明专利]一种用于大面积纳米压印的自适应压印头-CN201310173105.2有效
发明人：兰红波 -专利权人： 青岛博纳光电装备有限公司
申请日： 2013-05-10 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于大面积纳米压印的自适应压印头，它包括一维位移平台、连接支架、连接板、弹簧、导柱，其中，一维位移平台的立板与连接支架相连接，弹簧一端置于连接支架底板凹槽中，另一端置于连接板的凹槽中，导柱穿过连接板、弹簧，并与连接支架底板连接。本发明具有结构简单、调整方便、成本低、适应性广和柔性高的优点。可应用于整片晶圆纳米压印、滚轮对滚轮型纳米压印，尤其适用于滚轮对平面型纳米压印。为大面积纳米压印光刻工艺和装备的开发提供一种有效的解决方案。
一种用于大面积纳米压印自适应

[发明专利]大面积纳米图形化的装置和方法-CN201310166637.3有效
发明人：兰红波 -专利权人： 青岛博纳光电装备有限公司
申请日： 2013-05-07 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种大面积纳米图形化的装置和方法，该装置包括：承片台、衬底、涂布装置、模具进给装置、带形模具、脱模剂喷涂装置、模具清理装置、辅助压印装置、UV固化装置、压印装置等。基于该装置实现大面积纳图形化的方法：（1）预处理；（2）压印材料涂布；（3）压印成型；（4）模具处理。本发明实现了超大尺寸非平整刚性衬上微纳米结构高效、低成本规模化制造，为大尺寸刚性衬底大面积纳米图形化提供一种工业级的解决方案，可应用于高性能玻璃、太阳能电池板、平板显示、微光学器件、LED等行业规模化生产。
大面积纳米图形装置方法

[发明专利]一种制造水溶性PVA薄膜模具的装置及其方法-CN201310090772.4有效
发明人：兰红波 -专利权人： 青岛博纳光电装备有限公司
申请日： 2013-03-20 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： B29C69/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种制造水溶性PVA薄膜模具的装置及其方法，该装置包括：放卷装置、PET薄膜衬底、电晕处理装置、涂布装置、膜厚控制装置、预干燥固化装置、热滚压印成型装置、后干燥固化装置、收卷装置、导向装置。基于该装置实现模具制造的方法：（1）预处理；（2）电晕处理；（3）PVA水溶胶涂布；（4）膜厚测量和控制；（5）预干燥固化；（6）压印成型；（7）后干燥固化；（8）收卷。本发明实现了水溶性PVA薄膜模具高效、低成本规模化连续生产，为大面积复杂三维微纳结构的批量化制造提供了一种工业级解决方案。
一种制造水溶性 pva 薄膜模具装置及其方法

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