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[发明专利]电镀夹具柔性密封导电装置及电镀夹具-CN202211388470.0在审
发明人： 陈苏伟;高津平;宋文超;王丽江;吴娖 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本申请涉及电镀设备技术领域，尤其是涉及一种电镀夹具柔性密封导电装置及电镀夹具。该电镀夹具柔性密封导电装置包括导电盘部件，导电盘部件包括本体部以及导电针；本体部呈环状，导电针的数量为多个且不小于五个，多个导电针设置于本体部且沿本体部的周向间隔排布；本体部形成有环形的密封凸台，密封凸台位于导电针的内侧；当待电镀工件放置在导电盘部件上，密封凸台的顶端以及多个导电针的顶端均与待电镀工件的底表面相抵接。该电镀夹具包括该电镀夹具柔性密封导电装置。该电镀夹具柔性密封导电装置及电镀夹具，提高了待电镀工件表面的电流密度分布均匀性，密封凸台能有效避免意外脱落，从而提高了使用可靠性以及使用寿命。
电镀夹具柔性密封导电装置

[发明专利]多阳极电镀装置-CN202211392908.2在审
发明人： 陈苏伟;刘广杰;黄景志;李佳东;吴光庆;魏红军 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本申请涉及半导体电镀设备技术领域，尤其是涉及一种多阳极电镀装置。该多阳极电镀装置包括主体部、多个分隔环以及多个环形阳极；主体部设置有电镀腔室；多个分隔环设置于主体部的底壁上且位于电镀腔室的底部，多个分隔环由内至外顺次间隔套设，以将电镀腔室的底部分隔为多个由内至外顺次套设的阳极区域，多个阳极区域经由电镀腔室的中部相连通；多个环形阳极一一对应地设置于多个阳极区域内，且多个环形阳极分别用于与电源阳极相互独立地电连接。该多阳极电镀装置能够每个阳极区域内的环形阳极的电流性能进行独立控制，进而确保能够对环形阳极的多个环形阳极的电流特性互不影响，能够极大提高电镀过程的可控性，获得更加多样且可控的电镀效果。
阳极电镀装置

[发明专利]电镀系统及电镀方法-CN202211393458.9在审
发明人： 陈苏伟;刘广杰;黄景志;李佳东;吴光庆;魏红军 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造技术领域，尤其是涉及一种电镀系统及电镀方法。该电镀设备包括电镀设备、电源组件以及电镀液循环机构；电镀设备包括电镀室和多个阳极构件，电镀室的内部形成电镀空间，电镀空间的底部区域分隔为多个独立的阳极区域，多个阳极构件一一对应地设置于多个阳极区域内，多个电源阳极分别与多个阳极构件电连接，电镀室开设有溢流口组件和进液通道组件，电镀液循环机构的镀液供给组件通过多个供液调节通路一一对应地连通多个进液通道，溢流口组件通过溢流通路组件与镀液供给组件相连通。该电镀方法包括该电镀系统。该电镀系统和电镀方法，对多个阳极构件的电流和多个阳极区域的镀液流量进行独立控制，提高了电镀的可控性和可调性。
电镀系统方法

[发明专利]电镀夹具及电镀设备-CN202211390913.X在审
发明人： 陈苏伟;高津平;夏楠君;李国森;吴娖;王丽江 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：本申请涉及电镀设备技术领域，尤其是涉及一种电镀夹具及电镀设备。该电镀夹具包括导电接触机构、承载机构、升降夹紧机构、支撑机构和转动驱动机构；导电接触机构连接于承载机构的顶部；升降夹紧机构包括升降驱动构件、第一固定连接座、第一活动连接座、同步传动杆以及夹紧盘；升降驱动构件设置于支撑机构，升降驱动构件能够驱动第一固定连接座带动夹紧盘靠近或远离导电接触机构；转动驱动机构设置于支撑机构，且转动驱动机构与承载机构相连接并能够驱动承载机构带动同步传动杆、夹紧盘、导电接触机构和第一活动连接座同步转动。该电镀夹具实现了集旋转、装夹及均匀导电于一体的突破，有效提高了晶圆电镀的镀层厚度均匀性和产品良率。
电镀夹具设备

[发明专利]多阳极导电装置及电镀设备-CN202211387178.7在审
发明人： 陈苏伟;刘凯文;王洪建;郭春华;刘盈楹 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本申请涉及电镀设备技术领域，尤其是涉及一种多阳极导电装置及电镀设备。该多阳极导电装置包括安装主座、阳极连接柱、放置座体、第一压板和第一旋紧定位组件；安装主座围接出安装插槽，放置座体插接于安装插槽内；安装主座上开设有第一定位通孔；第一定位通孔内插接有阳极连接柱，阳极连接柱的一端伸出安装主座并用于与电源阳极电连接，阳极连接柱的内部用于插接阳极杆，第一压板与阳极连接柱的定位槽口相对应；第一旋紧定位组件与放置座体相螺接并与第一压板活动连接，以通过旋动第一旋紧定位组件驱动第一压板。该电镀设备包括该多阳极导电装置。该多阳极导电装置和电镀设备可以在一次拆装过程中，同时实现多个阳极杆与电源阳极的电连接拆装。
阳极导电装置电镀设备

[发明专利]一种镀液脱气装置及电化学沉积设备-CN202211174822.2在审
发明人：李佳东;陈苏伟;高岳;黄景志;黄鑫亮;陈聪 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： C25D21/18 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种镀液脱气装置及电化学沉积设备，包括腔体，腔体的内部设置有脱气腔，腔体设置进液口、排液口和排气口，进液口与脱气腔连通，排液口与排气口相对设置且通过连通管连通，连通管上开设有多个排出导向口，连通管通过排出导向口与脱气腔连通；脱气腔的横截面为圆形，能够使进液口进入的流体在脱气腔内加速旋转并形成层流，排出导向口能够对层流进行导流，排出导向口包括引导口和排出口，引导口的口径大于排出口的口径，同时能够加速流体与排出导向口的内壁碰撞而排出。本申请通过进液口能够向脱气腔内注入镀液，注液能够在脱气腔内加速旋转形成层流，而将镀液中的气泡析出，以提高镀液的浓度。
一种脱气装置电化学沉积设备

[发明专利]一种废液排放系统、废液排放方法及应用-CN202210568841.7在审
发明人： 陈苏伟;李佳东;刘盈楹;李国森;张贵拓 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备废液排放的领域，具体而言，涉及一种废液排放系统、废液排放方法及应用。所述废液排放系统，包括：压缩气体储存装置、第一气动隔膜阀门、虹吸装置、第二气动隔膜阀门、沉积腔室和气液分离装置；其中，所述压缩气体储存装置、所述第一气动隔膜阀门、所述虹吸装置、所述第二气动隔膜阀门和所述沉积腔室依次连接；所述气液分离装置与所述虹吸装置的气液混合出口相连。所述的废液排放系统，各部件和结构设置合理，能够有效解决沉积腔室工艺中，晶圆上甩干的镀液淤积后倒流回工艺腔室的问题。
一种废液排放系统方法应用

[发明专利]一种晶圆镀液搅拌机构-CN202210611606.3在审
发明人：吴娖;刘盈楹;陈苏伟;高津平;康国雨 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C25D21/10 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆生产加工技术领域，具体而言，涉及一种晶圆镀液搅拌机构，包括驱动机构和搅拌组件，所述驱动机构与所述搅拌组件连接；所述搅拌组件包括连接件和搅拌盘，所述搅拌盘通过所述连接件与所述驱动机构连接，所述搅拌盘位于电镀腔内的镀液中，所述驱动机构用于驱动所述搅拌盘对电镀腔内的镀液进行搅拌以提高晶圆上硅穿孔的镀液填充良率；本申请的晶圆位于电镀腔的镀液中，搅拌组件的搅拌盘也位于电镀腔的镀液中，通过驱动机构驱动搅拌盘移动，对镀液进行搅拌，能够有效提高镀液的搅拌均匀性和晶圆硅通孔内的镀液交换速率，从而有效提高硅通孔镀制的填充良率和镀层厚度均匀性。
一种晶圆镀液搅拌机构

[发明专利]电镀夹具-CN202210619171.7在审
发明人： 陈苏伟;王洪建;魏红军;刘盈楹;雷光宇 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：本申请涉及芯片制造电化学加工技术领域，尤其是涉及一种电镀夹具。该电镀夹具包括密封导电机构和承载导电机构；承载导电机构包括形成有晶圆定位槽地承载组件；密封导电机构包括第一密封组件、压接组件和环形导电弹片，环形导电弹片环绕晶圆定位槽设置，且环形导电弹片的内圈伸入晶圆定位槽内并相对于晶圆定位槽悬空，压接组件压设于环形导电弹片上且开设有通孔；第一密封组件至少包括第一密封构件；压接组件与承载组件可拆卸连接，以使得第一密封构件压紧于环形导电弹片与晶圆之间。该电镀夹具实现了晶圆导电方式从点接触向面接触升级，显著提高了晶圆的导电均匀性，并能够通过有效密封，提高晶圆的正面的电流密度均匀性，和产品良率。
电镀夹具

[实用新型]一种加气混凝土的输送装置-CN202120396179.2有效
发明人：蔡一榕;林清辉;陈苏伟 -专利权人：林清辉;台州职业技术学院
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： B65G15/60 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种加气混凝土的输送装置，其技术方案要点是：包括固定架和传输带，所述固定架两侧分别活动连接有驱动滚筒和从动滚筒，所述驱动滚筒和所述从动滚筒之间设置有若干个承重滚筒，若干个所述承重滚筒沿固定架内侧等距离活动连接，所述驱动滚筒、所述从动滚筒和若干个所述承重滚筒的外侧均绕接有所述传输带，所述固定架上固定安装有支撑架，所述支撑架之间焊接固定有顶板，所述顶板上设置有散热机构，所述驱动滚筒的一端上套接有皮带，所述皮带的另一端套接在伺服电机的输出轴上，所述固定架上开设有若干个进水口，所述固定架本体上设置有若干个喷头。
一种混凝土输送装置

[实用新型]一种加气混凝土制造用模具-CN202120397076.8有效
发明人：蔡一榕;林清辉;陈苏伟 -专利权人：林清辉;台州职业技术学院
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B28B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种加气混凝土制造用模具，包括顶板，所述顶板底部固定安装有两组支撑板，所述顶板上通过螺栓固定安装有第一伺服电缸，所述第一伺服电缸的输出端设置有第一固定板，所述第一固定板上设置有固定柱，所述第一固定板的两端均通过第一滑动机构滑动连接在两组所述支撑板上，其中一组所述支撑板上固定安装有安装板，所述安装板上固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端通过联轴器传动连接有第一转轴，另一组所述支撑板上通过轴承转动连接有第二转轴；该模具一次生产可生产多个混凝土砖块，提高了生产力，而且多数模具当混凝土凝固以后，卸料方便快捷。
一种混凝土制造模具

[实用新型]一种球鞋展示及存放装置-CN202120298221.7有效
发明人： 陈苏伟;梅佟乾;章跃洪;张正中;方虹 -专利权人：金华职业技术学院
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B65D85/18 文献下载
摘要：本实用新型公开一种球鞋展示及存放装置，包括盒体和两活动盒盖，盒体由下板、前板、左板、右板、后板对应端扣合连接在一起，活动左盒盖、活动右盒盖与前板、后板通过导轨连接，在轴上装上齿轮和轴承放入前板和后板上有轴承孔中，下板上有升降马达和旋转马达，旋转平台卡在下板凸起的小平台上，螺杆轴肩部位顶着旋转平台不使其上下移动，螺杆与放鞋平台下面螺纹连接，螺杆的底端有齿轮与下板上的升降马达配合来实现圆形放鞋平台的升降运动，旋转马达由齿轮机构驱动旋转平台通过两导向杆带动放鞋平台转动，两活动盒盖下安装有齿条与齿轮啮合，开闭电机驱动齿轮齿条实现鞋盒开闭。本鞋盒提高的球鞋展示功能较高，密封性好，抗氧化功能较高。
一种球鞋展示存放装置

[发明专利]晶圆片盒的固定装置-CN201811617300.9有效
发明人： 陈苏伟;李元升;吴光庆;吴娖;黄鑫亮 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆片盒的固定装置，涉及晶圆清洗设备的技术领域。晶圆片盒的固定装置包括支撑板组件、压板组件和顶板组件；支撑板组件用于对晶圆片盒的下端位置限定；压板组件的一端连接支撑板组件，压板组件用于对晶圆片盒的侧面位置限定；压板组件的另一端连接顶板组件，顶板组件能够挤压压板组件，使压板组件对晶圆片盒的上端位置限定。解决了晶圆片盒的安装夹具的结构复杂，浸泡清洗晶圆时，晶圆固定不牢固，容易损坏的问题。本发明利用支撑板组件对晶圆片盒的下端位置限定，利用压板组件对晶圆片盒的侧面位置限定，通过顶板组件对压板组件的挤压，使压板组件对晶圆片盒的上端位置限定，从而确保晶圆片盒的连接位置牢固。
晶圆片盒固定装置

[发明专利]翻转结构及晶圆甩干设备-CN201910314580.4有效
发明人： 陈苏伟;吴光庆;王勇威;刘建民;安稳鹏 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2019-04-18 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及半导体晶圆加工装置技术领域，尤其涉及一种翻转结构及晶圆甩干设备。翻转结构应用于晶圆甩干设备中，包括承载盒、转盘和翻转装置；承载盒转动连接于转盘；翻转装置驱动连接承载盒，能够驱动承载盒在转盘上翻转。晶圆甩干设备包括翻转结构。本发明提供一种翻转结构及晶圆甩干设备，以缓解现有技术中存在的晶圆甩干设备效率较低、浪费人力且易对晶圆造成污染的技术问题。
翻转结构晶圆甩干设备

[外观设计]防溺水救生手环-CN202030829082.7有效
发明人：梅佟乾;陈苏伟;张正中 -专利权人：金华职业技术学院
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： 29-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：防溺水救生手环。2.本外观设计产品的用途：溺水时求救、自救工具。3.本外观设计的设计要点：产品的形状。4.最能表明设计要点的图片或者照片：立体图。
溺水救生

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