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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种原子力探针针尖修正系统-CN202211112416.3在审
发明人：刘俊;马宗敏;唐军;温焕飞;石云波;刘晓雅;方向前;温阳;陈纵横 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G01Q60/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种原子力探针针尖修正系统，涉及原子力显微镜技术领域，包括：探针偏转检测装置、探针起振压电装置、横纵向力生成装置、针尖模型解析器、探针修正控制器、脉冲冲击修正装置、原子力修正装置、压电扫描器和修正标准装置；待修正探针反射的激光依次经过探针偏转检测装置、探针起振压电装置、横纵向力生成装置和针尖模型解析器，确定针尖附着物的尺寸和方位；探针修正控制器根据针尖附着物的尺寸和方位产生启动信号，通过脉冲冲击修正装置或原子力修正装置，使得针尖附着物从待修正探针上转移到修正标准装置上，实现待修正探针的针尖修正。本发明实现了探针的修正。
一种原子探针针尖修正系统

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