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[实用新型]一种放置杆结构及应用该放置杆结构的基板载具-CN201820254296.3有效
发明人：江枝茂;黄世钦;陈昶玮 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2018-02-12 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种放置杆结构及应用该放置杆结构的基板载具，该放置杆包括：杆体以及多个分隔齿。这些分隔齿设于杆体上且沿平行杆体轴心方向间隔排列，每一分隔齿包括齿根部、顶部及齿侧面。齿根部直接与杆体连接；顶部位于远离杆体的一端，且在平行杆体轴心方向上的宽度大于齿根部在平行杆体轴心方向上的宽度；齿侧面位于齿根部与顶部之间。通过本实用新型的实施，可使各分隔齿与基板间呈一点对点接触，并使应用该放置杆结构的基板载具拥有良好的排水效果；还可使基板与分隔齿间不致发生严重碰撞，进而能有效提升基板的生产质量以及合格率。
放置杆齿根部分隔齿杆体基板载具平行杆体轴心方向基板齿侧面应用本实用新型间隔排列排水效果点接触合格率生产

[实用新型]晶圆运载盒及用于晶圆运载盒的下保持件-CN201721440177.9有效
发明人：黄世钦;陈湘萦;陈延方;陈昶玮 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2017-11-01 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆运载盒及用于晶圆运载盒的下保持件，该晶圆运载盒包含外壳及限位单元。外壳包括底座及可分离地盖合于底座的盖体，且界定出容置空间。限位单元位于容置空间内，并包括一设于底座的下保持件、一设于盖体的上保持件，及一位于上、下保持件之间的卡匣件。卡匣件具有两个固持壁，且固持壁形成多个侧限位槽。上保持件形成多个上限位槽，下保持件形成多个下限位槽，各下限位槽由两个在顶侧相间隔而在底侧相接的壁面所界定并于两壁面的相接处形成一槽底，且槽底的位置相对于其上方对应的侧限位槽的中心位置较往前后方向上的一侧偏离。借此，位于卡匣件内的多个晶圆能够朝同一侧倾斜，而使晶圆之间保持等间距以方便机器夹取并降低破片的风险。
保持件晶圆运载盒底座侧限位槽容置空间下限位槽限位单元固持壁盖体界定卡匣可分离地前后方向上限位槽位置相对相接处壁面顶侧盖合夹取两壁破片匣件种晶偏离

[实用新型]运载装置-CN201721162687.4有效
发明人：黄世钦;陈昶玮 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2017-09-12 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种运载装置，包括一盒体及一盖体。盒体具有一开口，片状物可通过开口而进入盒体内部。盖体具有一外侧板及一内侧板，且可覆盖开口。内侧板具有一固持组件，盖体具有一闩锁机构，闩锁机构包括一操作部，操作部适于由盖体外侧进行操作且连接于固持组件。当盖体覆盖开口时，操作部可旋转而使闩锁机构成为闩锁状态或解锁状态。当闩锁机构为闩锁状态时，操作部带动固持组件从内侧板往盒体的内部移动或凸伸而固持片状物。当闩锁机构为解锁状态时，通过操作部的带动或一复位组件的驱动而使固持组件往盖体的内侧板移动或收缩而收合于盖体。
运载装置