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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]抗蚀剂图案形成方法及抗蚀剂-CN201780010236.5有效
发明人： 阿部信纪;佐藤信宽 -专利权人：日本瑞翁株式会社
申请日： 2017-03-15 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本发明的抗蚀剂图案形成方法包含以下工序：制备放射线敏感性树脂组合物的制备工序、在基板上形成放射线敏感性树脂组合物的涂膜的涂敷工序、在第1温度对涂膜进行加热的第1热处理工序、对得到的抗蚀剂膜照射活性放射线的曝光工序、以及曝光工序开始以后在第2温度条件下保持抗蚀剂膜的第2热处理工序，上述放射线敏感性树脂组合物含有碱溶性树脂(a)、交联成分(b)及吸收活性放射线的化合物(c)，相对于100质量份的树脂(a)，包含超过1.0质量份的化合物(c)。在此，第1温度为第2温度以上。
抗蚀剂图案形成方法

[发明专利]共聚物的制造方法-CN201780015439.3有效
发明人：小泽角荣;阿部信纪 -专利权人：日本瑞翁株式会社
申请日： 2017-03-03 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： C08F220/22 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供单体的转化率高、可有效地制造α‑烷基苯乙烯·α‑氯丙烯酸酯共聚物的方法。本发明的共聚物的制造方法是α‑烷基苯乙烯单元的含量为30摩尔％以上且70摩尔％以下且α‑氯丙烯酸酯单元的含量为30摩尔％以上且70摩尔％以下的共聚物的制造方法，上述共聚物的制造方法包含将包含α‑烷基苯乙烯和α‑氯丙烯酸酯的单体组合物进行溶液聚合的工序，使用酮类作为溶液聚合的聚合溶剂。
共聚物制造方法

[发明专利]放射线敏感性树脂组合物及抗蚀剂-CN201780012824.2在审
发明人： 阿部信纪;佐藤信宽 -专利权人：日本瑞翁株式会社
申请日： 2017-03-16 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： G03F7/038 文献下载
摘要：本发明的放射线敏感性树脂组合物含有碱溶性树脂(a)、交联成分(b)、吸收活性放射线的化合物(c)、以及碱性化合物(d)，上述碱溶性树脂(a)含有超过70质量％的酚醛清漆树脂，上述交联成分(b)是光酸产生剂(b1)和酸交联剂(b2)的组合。
放射线敏感性树脂组合物碱溶性树脂酚醛清漆树脂光酸产生剂活性放射线碱性化合物酸交联剂抗蚀剂吸收

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