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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于远程等离子源的自由基输出监控器和使用方法-CN201980038899.7有效
  • 麦可·哈里斯;戴璆瑛;阿图·古柏塔 - MKS仪器公司
  • 2019-06-12 - 2023-07-14 - H05H1/00
  • 本申请记载了一种在处理系统中使用的用于对远程等离子源的等离子源进行自由基监控的装置，并且所述装置包含：至少一个气体源；等离子源主体，所述等离子源主体具有至少一个通道，所述至少一个通道具有至少一个通道表面；第一热传感器收纳器，所述第一热传感器收纳器在所述等离子源主体内而形成在所述通道的所述通道表面附近；第一热传感器，所述第一热传感器定位在所述第一热传感器收纳器内，所述第一热传感器被配置成测量所述通道表面的第一温度；第二热传感器收纳器，所述第二热传感器收纳器在所述等离子源主体内而形成在所述通道的所述通道表面附近，并且被配置成在第二位置处测量所述通道的所述通道表面的第二温度。
  • 用于远程离子源自由基输出监控器使用方法
  •  1 
  • 共 1 条
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