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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]粒子射束装置和复合射束装置-CN202110279321.X在审
发明人：永原幸儿;间所祐一 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明提供粒子射束装置和复合射束装置，该粒子射束装置能够选择性地且适当地切换带电粒子射束和中性粒子射束。粒子射束镜筒(19)具备离子源(41)、聚光镜(52)、电荷交换栅极(55)和物镜(56)。离子源(41)产生离子。聚光镜(52)通过切换离子射束的聚焦而切换离子射束和中性的射束作为照射至试样(S)的粒子射束。电荷交换栅极(55)通过将离子射束的至少一部分中性化而转换成中性粒子射束。物镜(56)配置于电荷交换栅极(55)的下游侧。在对试样(S)照射中性粒子射束作为粒子射束的情况下，物镜(56)减少朝向试样(S)的离子射束。
粒子束装复合

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