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[发明专利]一种基于振动模式的电化学检测装置控制系统及检测方法-CN202110672096.6有效
发明人：耿延泉;王韶文;闫永达;韩联欢;赵学森;胡振江;詹东平 -专利权人：哈尔滨工业大学;厦门大学
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：一种基于振动模式的电化学检测装置控制系统及检测方法，涉及一种电化学检测系统及检测方法。检测装置固定在Z向位移台上，X‑Y二维气浮平台上固定三维压电位移台，信号发生器控制激振压电陶瓷环的振动，电容式位移传感器测得激振压电陶瓷环的位移变化经电荷放大器处理后传递给锁相放大器，PID控制器将锁相放大器提取的电压幅值信号运算处理后对压电促动器进行控制，压电促动器、X‑Y二维气浮平台和三维压电位移台为上位机提供实时信号，上位机通过UMAC控制器控制Z向位移台、X‑Y二维气浮平台和三维压电位移台。探针以振动模式接近被测样品表面，减小相互作用力不易损坏，Z向闭环反馈功能保证距离恒定，检测更加准确。
一种基于振动模式电化学检测装置控制系统方法

[发明专利]一种基于振动模式的电化学检测装置-CN202110672098.5有效
发明人： 闫永达;王韶文;耿延泉;韩联欢;赵学森;胡振江;詹东平 -专利权人：哈尔滨工业大学;厦门大学
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：一种基于振动模式的电化学检测装置，涉及一种电化学检测装置。滑槽固定座上竖向滑动安装有滑块并且设有紧固螺栓能够紧固定位，压电促动器竖向固定在滑块上，电容固定器固定在压电促动器底部，调距环与电容固定器下端旋接配合，电容式位移传感器插装在电容固定器内部，锁紧螺钉能够锁紧定位，激振压电陶瓷环固定在调距环底部，柔性铰链夹装固定在上固定环与下固定环之间，边缘固定导电片并连接外接导线，上固定环固定在激振压电陶瓷环底部，定位螺钉安装螺母接头与柔性铰链紧固定位，纳米电极探针固定在螺母接头底部。探针逼近样品表面更加精准安全，并且电容式位移传感器与探针的间距调节方便，保证最佳使用性能。
一种基于振动模式电化学检测装置

[发明专利]基于AFM纳米铣削及化学腐蚀加工的表面增强拉曼基底制备方法-CN202210023523.2有效
发明人：耿延泉;王继强;闫永达 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-01-10 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C23F1/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于AFM纳米铣削及化学腐蚀加工的表面增强拉曼基底制备方法，所述方法包括如下步骤：步骤（1）采用磁控溅射法在基底表面依次制备金膜、银膜和金膜；步骤（2）基于AFM的纳米铣削加工系统，在金‑银‑金复合膜表面纳米铣削加工周期纳米结构；步骤（3）将纳米铣削加工得到的周期纳米结构放入浓硝酸中，对周期纳米结构边缘裸露的银层进行化学腐蚀，从而制备得到中空的纳米腔；步骤（4）以化学腐蚀后的带有纳米腔的复合膜周期阵列结构作为拉曼增强基底。该方法可以快速高效的制备结构特征尺寸可控、等离子体共振可调、一致性好的拉曼增强基底。
基于 afm 纳米铣削化学腐蚀加工表面增强基底制备方法

[发明专利]一种利用超长纳米线制备电化学纳米点阵列电极的方法-CN202010844645.9有效
发明人：耿延泉;方卓;闫永达;胡振江 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2020-08-20 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：一种利用超长纳米线制备电化学纳米点阵列电极的方法，属于纳米电极制备技术领域。本发明是为了简单高效可重复地制备纳米点阵列电极，在含微米沟槽阵列的硅模板上浇注PDMS；在固化完成的PDMS模具上浇注树脂，得到带有微米沟槽阵列的树脂块；在树脂块上沉积一层金属薄膜，用树脂包埋，进行纳米切片，将单个含纳米线阵列的树脂薄片或多个与空树脂薄片交替堆叠的含纳米线阵列的树脂薄片转移至基底上，将导线搭接固定在纳米线阵列的表面，加入树脂封装，将未搭接导线的一端修块抛光，得到纳米点阵列电极。本发明避免了邻近电极的电容和扩散层重叠，且通过对纳米线端面再次修块抛光可获得新的干净的纳米点阵列，有利于纳米点阵列电极的长期重复使用。
一种利用超长纳米制备电化学阵列电极方法

[发明专利]一种制备具有M/M-TCNQ肖特基结的纳米线的方法-CN202110674069.2有效
发明人： 闫永达;马骥;耿延泉;方卓;韩联欢;詹东平 -专利权人：哈尔滨工业大学;厦门大学
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H10K10/23 文献下载
摘要：一种制备具有M/M‑TCNQ肖特基结的纳米线的方法，涉及一种纳米线制备方法。在硅基底上浇注PDMS，固化后的PDMS加工模具孔洞，沉积一层M膜，模具孔洞内浇注树脂，固化剥离后用树脂包埋得到切片用样品进行纳米切片，转移至氧化硅基底上，采用光刻工艺将M纳米线两端涂覆光刻胶保护，暴露出中间部分，置于TCNQ乙腈溶液中充分反应得到M/M‑TCNQ/M纳米线，去除两端光刻胶后再将中间部分涂覆光刻胶保护，沉积一层惰性金属膜用作引出电极，剥离中间部分光刻胶及惰性金属膜，最后进行纳米线的表征。能够高效可控地将M/M‑TCNQ肖特基结构集成于一根纳米线中，制备方法简单、加工效率高、可重复性好。
一种制备具有 tcnq 肖特基结纳米方法

[发明专利]一种适用于探索共体反射镜上薄膜制备工艺参数的装置-CN202010538180.4有效
发明人： 闫永达;毛立阳;曹永智;耿延泉 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2020-06-12 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：一种适用于探索共体反射镜上薄膜制备工艺参数的装置，属于金属薄膜制备与检测技术领域。本发明包括外部框架、多个支撑柱和多个平面基底，所述外部框架上的四个竖直设置的支撑板上分别设有多个定位孔，所述多个定位孔、多个支撑柱以及多个平面基底数量均相同；每个所述支撑柱一端可拆卸固定插入定位孔内，每个支撑柱另一端设置在外部框架内并与平面基底一端可拆卸固定连接，所述平面基底另一端的端面与自由曲面相切。本发明具有与多面共体反射镜相同的表面粗糙度与相近的空间结构，而且便于检测，可以较为简单、准确、经济地获得沉积的工艺参数和靶基运动。
一种适用于探索反射薄膜制备工艺参数装置

[发明专利]一种微纳双模检测加工模块-CN201910368975.2有效
发明人： 闫永达;史文博;耿延泉;胡振江;王桐;常顺宇 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-05-05 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： B81C99/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微纳双模检测加工模块，所述模块包括Z向压电位移台、支架、电容式位移传感器、电容固定座、调节座、锁紧支座、上固定环、PZT激振器、下固定环、测试螺钉、柔性铰链、挡环、固定螺母和探针，其中：所述电容式位移传感器固定在电容固定座；所述电容固定座固定在调节座上方；所述上固定环、PZT激振器、下固定环、测试螺钉、柔性铰链、挡环、固定螺母和探针依次固定在调节座下方；所述探针通过固定螺母和测试螺钉固定在柔性铰链上；所述调节座固定在锁紧支座；所述锁紧支座固定在支架上；所述支架固定在Z向压电位移台上。该模块具有在线检测、伺服加工功能，相比较与商业化AFM，具有更大的加工尺寸及材料适用范围。
一种双模检测加工模块

[发明专利]一种利用带有凸起阵列的结构化探针加工纳米结构的方法-CN202110789807.8在审
发明人： 闫永达;李子翰;刘宇;耿延泉;胡振江 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用带有凸起阵列的结构化探针加工纳米结构的方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、利用FIB技术加工金刚石探针针尖，在探针尖端加工出凸起阵列；步骤二、将步骤一制备的结构化探针安装在AFM加工系统中的扫描陶管上，在敲击模式下，探针在扫描陶管驱动下以探针谐振频率沿垂直方向振动敲击样品，使样品发生变形，通过扫描陶管控制探针在X‑Y平面运动，加工出纳米点阵。该方法利用结构化探针加工纳米点阵，一次压痕能够加工出多个纳米点，有效提高了加工效率，克服了相邻压痕挤压作用的影响，而且采用敲击模式实现纳米点的高效加工。
一种利用带有凸起阵列结构探针加工纳米方法

[发明专利]一种利用结构化探针制备拉曼基底的方法-CN202110790762.6在审
发明人：耿延泉;李子翰;刘宇;闫永达;赵学森 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用结构化探针制备拉曼基底的方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、利用FIB技术加工金刚石探针针尖，使金刚石探针修饰为具有豁口的结构化金刚石探针；步骤二、将步骤一制备的结构化探针安装在AFM加工系统上，以恒定法向载荷压入样品表面，通过运动平台控制加工轨迹，使结构化探针在标准进给量下多次刻划，加工出纳米结构阵列。本发明采用结构化探针制备基底，一次刻划后能够加工出两路纳米沟槽，相比于单针尖探针，采用结构化探针制备基底的方法效率更高。本发明中探针是利用现有探针加工而成，相比于原有探针具有更小的加工尺寸，在给定载荷下能够加工出更小的纳米结构，且相邻结构间隙更小，拉曼增强效果更好。
一种利用结构探针制备基底方法

[发明专利]一种基于纳米波纹结构的纳流控芯片的制备方法-CN202110791031.3在审
发明人：耿延泉;李子翰;闫永达 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于纳米波纹结构的纳流控芯片的制备方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、使用AFM在聚碳酸酯薄膜表面进行往复扫描加工，通过控制探针的运动轨迹得到纳米波纹结构；步骤二、以PDMS和固化剂为转印材料，通过PDMS转印得到带有纳米通道阵列的PDMS片；步骤三、采用光刻法在单晶硅基底上加工微通道结构，通过PDMS转印得到带有微通道的PDMS片；步骤四、采用氧等离子体清洗机对带有纳米通道阵列的PDMS片和带有微通道的PDMS片进行键合，得到带有纳米通道阵列的纳流控芯片。本发明的加工方法简单、通道深宽比可控，制备出的带有纳米通道阵列的纳流控芯片具有更高的灵敏。
一种基于纳米波纹结构纳流控芯片制备方法

[发明专利]一种适用于多面共体反射镜的金属薄膜制备装置及方法-CN201911046675.9有效
发明人： 闫永达;毛立阳;曹永智;耿延泉;史文博 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种适用于多面共体反射镜的金属薄膜制备装置及方法，属于金属薄膜制备领域。装置是：X‑Y向位移平台与密封腔盖下表面固接，密封腔盖与升降机构的升降杆固接，升降机构与密封腔外侧壁固接，圆柱形磁控溅射靶上端与X‑Y向位移平台下表面固接，下端设置在转台内，转台设置在密封腔内。方法是：步骤一：运动轨迹规划；步骤二：参数和轨迹微调；步骤三：在转台上可拆卸固定待镀零件，闭合密封腔盖，圆柱靶到达指定位置，抽真空并通入工作气体；步骤四：检测反射率，不合格回到步骤二，调整磁控溅射制备参数，再检测均匀性，不合格回到步骤一调整运动轨迹；若合格，使用当前的磁控溅射参数和运动轨迹批量生产。本发明用于多面共体反射镜的金属薄膜制备。
一种适用于多面反射金属薄膜制备装置方法

[发明专利]一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶-CN201911046706.0有效
发明人： 闫永达;毛立阳;曹永智;耿延泉;王桐 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶，本发明属于金属薄膜领域。水咀座后端与支撑管一端可拆卸连接，多个永磁铁套装在支撑管上且与支撑管间隙配合，每个隔离圈均由两个半圆环体组成，每两个半圆环体扣合设置在支撑管上，每两个半圆环体设置在支撑管外壁上并扣合且互相连接，多个隔离圈和多个永磁铁依次交替设置，异形靶材中部设有空腔，异形靶材的外形为柱状，异形靶材套装在多个隔离圈及多个永磁铁外侧，水咀座后端与异形靶材前端可拆卸连接，异形靶材后端与端盖可拆卸连接。本发明的异形靶的多个溅射面与多个反射镜对应一一对应，镀制的薄膜均匀性可以保证，异形靶与多面共体反射镜之间无需运动，缩小了薄膜沉积设备内腔的体积。
一种多面反射制备金属薄膜异形

[发明专利]面向超声冲击加工的光路辅助显微视觉检测系统和方法-CN201910258728.7有效
发明人：张俊杰;胡王杰;张建国;赵东旭;许剑锋;闫永达;孙涛 -专利权人：哈尔滨工业大学;华中科技大学
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： B21D31/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种面向超声冲击加工的光路辅助显微视觉检测系统和方法，所述系统包括显微视觉相机、工控机、一号镜面偏转装置、二号镜面偏转装置、超声冲击刀具、加工平台、加工工件、LED光源，其中：所述工控机分别与显微视觉相机、一号镜面偏转装置、二号镜面偏转装置、LED光源线路连接；所述LED光源发出的光线照射在加工工件上，经一号镜面偏转装置的镜面和二号镜面偏转装置的镜面反射后由显微视觉相机在位采集超声冲击刀具形貌和加工工件表面微结构尺寸信息图像。本发明通过在位检测可以对加工过程进行及时的控制和管理，并且在发生误差后可以及时修改，降低超声冲击精密加工的生产成本和废品率。
面向超声冲击加工辅助显微视觉检测系统方法

[发明专利]基于力调制微刻划/微压痕过程制备拉曼增强基底上阵列微纳米结构的实验装置及方法-CN201710672624.1有效
发明人： 闫永达;张景然;耿延泉;蔡建雄 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2017-08-08 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于力调制微刻划/微压痕过程制备拉曼增强基底上阵列微纳米结构的实验装置及方法，所述所述实验装置包括XY向精密移动控制器、Z向精密移动台控制器、纳米精度工作台、力传感器、金刚石探针、样品、宏动精密工作台，所述金刚石探针由纳米精度工作台经过力传感器带动进行Z向的运动；金刚石探针与样品之间的力信号由Z向精密移动台控制器上下移动控制；样品由XY向精密移动控制器经过宏动精密工作台带动在X‑Y平面内做二维运动。本发明加工过程中探针连续进行微刻划、压痕过程，同时带动样件的工作台作二维平动，实现高效、大范围的周期性阵列微纳结构的加工；加工过程中探针的垂直载荷实时改变，实现复杂的微纳结构的加工。
基于调制刻划压痕过程制备增强基底阵列纳米结构实验装置方法

[发明专利]一种适用于微纳双模检测加工模块的控制系统及方法-CN201910368973.3有效
发明人： 闫永达;史文博;耿延泉;胡振江;毛立阳;王桐 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-05-05 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于微纳检测加工模块的控制系统及方法，所述系统包括微纳双模检测加工模块、三坐标工作台、PZT驱动器、UMAC、电荷放大器、锁相放大器、XY压电扫描台、路由器、上位机、CCD、XY向位移传感器和Z向位移传感器。本发明选用UMAC作为控制核心，利用其高性能伺服环、可扩展性强、集成度高特点，实现宏‑微联动控制，采用模拟信号方式，保证信号处理、传输的实时性，满足设计需求。本发明通过对电容式位移传感器信号放大、锁相处理，作为闭环控制参考信号，该方式测试结果精确、对测试环境要求较低，可以实现μN级闭环控制。锁相放大器的使用排除了电容式位移传感器测试结果中的噪声信号，利于闭环精确控制。
一种适用于双模检测加工模块控制系统方法

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