专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]薄膜形成装置系统及薄膜形成方法-CN201080065486.7无效
  • 钱谷嘉高 - 夏普株式会社
  • 2010-12-29 - 2012-11-28 - C23C14/34
  • 薄膜形成装置系统包括:加热室(3),其是处理室之一,配置有用于加热基板(16)的加热装置(20)和使基板(16)与加热装置(20)相对移动的基板传送装置(12A);ZnO溅射室(4),其是处理室之一,配置有用于在加热了的基板(16)上形成薄膜的溅射装置(26);控制装置(22),其用于操作基板传送装置(12A)。基板传送装置(12A)被控制装置(22)控制为在不能从加热室(3)传送基板(16)时,使加热室(3)内的基板(16)与加热装置(20)继续相对移动。通过该构成,能够防止基板的变形和热裂。
  • 薄膜形成装置系统方法

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