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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法-CN201980011884.1有效
发明人： 钉本弘训;尾崎雅树;渡边刚志;高桥健太郎 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2019-02-19 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明的静电卡盘装置具备：载置台，设置有载置板状试样的载置面；圆环状的聚焦环；及冷却机构，冷却聚焦环，载置台具有围着载置面的周围设置的保持部，保持部上设置有包围载置面的周围的圆环状的槽部和向槽部的底面开口的贯穿孔，贯穿孔中插入有筒状的绝缘子，在保持部中，槽部的宽度方向两侧的上表面为与聚焦环接触并保持聚焦环的保持面，保持面满足下述条件(i)～(iii)。(i)表面粗糙度为0.05μm以下。(ii)平坦度为20μm以下。(iii)不具有沿与保持面交叉的方向延伸的深度1.0μm以上的凹部。
静电卡盘装置制造方法

[发明专利]静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法-CN201980019930.2有效
发明人： 钉本弘训;森下徳人 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：该静电卡盘装置具备：基体，一个主表面为载置板状试样的载置面；及静电吸附用电极，在基体上设置在与载置面相反的一侧或基体的内部，静电吸附用电极由包括具有绝缘性的基质相和体积电阻率低于基质相的分散相的复合烧结体形成，在复合烧结体的任意的截面上，周围被基质相包围且独立的分散相的区域包括最大费雷特直径为30μm以上的凝聚部，在任意的截面上的2500μm2的范围内存在1个以上的凝聚部。
静电卡盘装置制造方法

[发明专利]静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法-CN202310448843.7在审
发明人：日高宣浩;钉本弘训;小坂井守 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2017-01-12 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘装置，其具备：基体，将含有碳化硅粒子及氧化铝粒子的陶瓷粒子的烧结体作为形成材料，一个主面为载置板状试样的载置面；及静电吸附用电极，在所述基体中设置于与所述载置面相反的一侧的表面或所述基体的内部，所述烧结体的体积固有电阻值在24℃至300℃的整个范围内为0.5×1015Ωcm以上，表示所述烧结体的所述体积固有电阻值相对于所述烧结体的体积固有电阻值的测定温度的关系的图表在24℃至300℃的范围内具有最大值，所述烧结体中的除了铝及硅以外的金属杂质含量为100ppm以下。
静电卡盘装置制造方法

[发明专利]静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法-CN202310448839.0在审
发明人：日高宣浩;钉本弘训;小坂井守 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2017-01-12 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘装置，其具备：基体，将含有碳化硅粒子及氧化铝粒子的陶瓷粒子的烧结体作为形成材料，一个主面为载置板状试样的载置面；及静电吸附用电极，在所述基体中设置于与所述载置面相反的一侧的表面或所述基体的内部，所述烧结体的体积固有电阻值在24℃至300℃的整个范围内为0.5×1015Ωcm以上，表示所述烧结体的所述体积固有电阻值相对于所述烧结体的体积固有电阻值的测定温度的关系的图表在24℃至300℃的范围内具有最大值，所述烧结体中的除了铝及硅以外的金属杂质含量为100ppm以下。
静电卡盘装置制造方法

[发明专利]陶瓷基体及基座-CN201980022301.5有效
发明人：小坂井守;日高宣浩;木村直人;钉本弘训 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C04B35/117 文献下载
摘要：本发明的陶瓷基体以含有碳化硅粒子的电介质材料为形成材料，基体的表面上的每单位面积的碳化硅粒子的个数少于基体的截面上的每单位面积的碳化硅粒子的个数。
陶瓷基体基座

[发明专利]复合烧结体、静电卡盘部件及静电卡盘装置-CN201880008846.6有效
发明人：日高宣浩;钉本弘训 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2018-02-19 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C04B35/117 文献下载
摘要：本发明的复合烧结体为含有作为主相的氧化铝及作为副相的碳化硅的陶瓷复合烧结体，在晶界中的氧化铝的晶粒与碳化硅的晶粒之间的界面具有将氧化铝及碳化硅以外的材料作为形成材料的界面层。
复合烧结静电卡盘部件装置

[发明专利]复合烧结体、静电卡盘部件及静电卡盘装置-CN201880034373.7有效
发明人：日高宣浩;钉本弘训 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： C04B35/10 文献下载
摘要：本发明的复合烧结体为含有作为主相的氧化铝和作为副相的碳化硅的陶瓷的复合烧结体，且在氧化铝的晶粒内具有莫来石。
复合烧结静电卡盘部件装置

[发明专利]陶瓷接合体、静电卡盘装置及陶瓷接合体的制造方法-CN202080084910.6在审
发明人：三浦幸夫;日高宣浩;有川纯;钉本弘训 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的陶瓷接合体(1)具备：一对陶瓷板(2、3)，包含导电性物质；以及导电层(4)及绝缘层(5)，介于所述一对陶瓷板(2、3)之间，一对陶瓷板(2、3)与绝缘层(5)的界面处的气孔率为4％以下，构成绝缘层(5)的绝缘性物质的平均一次粒径与构成陶瓷板(2、3)的绝缘性物质的平均一次粒径之比大于1。
陶瓷接合静电卡盘装置制造方法

[发明专利]陶瓷接合体、静电卡盘装置及陶瓷接合体的制造方法-CN202080085106.X在审
发明人：日高宣浩;三浦幸夫;有川纯;钉本弘训 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种陶瓷接合体(1)，其具备：一对陶瓷板(2、3)，包含导电性物质；导电层(4)及绝缘层(5)，介于一对陶瓷板(2、3)之间；及一对中间层(6、7)，介于一对陶瓷板(2、3)与导电层(4)之间，并与一对陶瓷板(2、3)及导电层(4)接触。
陶瓷接合静电卡盘装置制造方法

[发明专利]陶瓷材料及静电卡盘装置-CN201780008108.7有效
发明人：吉冈良树;日高宣浩;钉本弘训 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2017-01-27 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： C04B35/00 文献下载
摘要：本发明提供一种即使暴露于高输出的等离子体也难以破损的静电卡盘用复合烧结体。并且，提供一种使用了这种静电卡盘用复合烧结体的静电卡盘装置及静电卡盘用复合烧结体的制造方法。本发明的静电卡盘用复合烧结体为绝缘性陶瓷与碳化硅的复合烧结体，碳化硅的晶粒分散于烧结绝缘性陶瓷的晶粒而成的主相的晶粒边界及晶粒内，相对于碳化硅的晶粒的整体，含有大于60体积％的具有β‑SiC型晶体结构的晶粒，复合烧结体包含存在于晶粒边界的气孔，复合烧结体的表观密度相对于设为复合烧结体不包含气孔时的虚拟真密度的比例为97％以上。
陶瓷材料静电卡盘装置

[发明专利]耐蚀性部件、静电卡盘用部件及耐蚀性部件的制造方法-CN201580044157.7有效
发明人：大友惠;高桥健太郎;日高宣浩;钉本弘训 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2015-08-25 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： C04B35/44 文献下载
摘要：本发明提供一种在使用于静电卡盘用部件的情况下能够增强施加电场时的静电卡盘的吸附力、且能够减小停止施加电场时的静电卡盘的剩余吸附力的耐蚀性部件、静电卡盘用部件及耐蚀性部件的制造方法。本发明的耐蚀性部件包含有含钐及铝且具有钙钛矿型结构的氧化物。本发明的静电卡盘用部件包含本发明的耐蚀性部件。本发明的耐蚀性部件的制造方法包括：混合氧化铝粉末及氧化钐粉末和溶剂而制作包含氧化铝粉末及氧化钐粉末的浆料的工序；干燥浆料而制作包含铝粉末及氧化钐粉末的混合粉末，并成型该混合粉末而制作成型体的工序；及烧制成型体而制作烧结体的工序。
耐蚀性部件静电卡盘制造方法

[发明专利]烧结体及其制造方法-CN201180008856.8有效
发明人：安藤和人;林慎太郎;钉本弘训;石塚雅之 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2011-02-08 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： C04B35/50 文献下载
摘要：本发明提供烧结体及其制造方法，所述烧结体对卤素类腐蚀性气体和它们的等离子体的耐腐蚀性和导热性优良，并且导电性也优良，而且即使在应用于各种真空处理装置中使用的构件时，设计上的制约也少，应用范围也广泛，且通用性优良。另外，本发明提供高频透射材料，所述材料具有用于抑制等离子体电位变化的对直流电流的导电性和能够使激发等离子体所需的高频功率透射的电容性，不用担心使试样受到金属污染，并且具有等离子体耐腐蚀性。另外，本发明提供烧结体及其制造方法，所述烧结体对卤素类腐蚀性气体和它们的等离子体具有优良的耐腐蚀性，施加高频时无频率依赖性，能够表现出等离子体的稳定性。
烧结及其制造方法

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