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[发明专利]半导体基底测量设备以及使用其的等离子体处理设备-CN201910025780.8在审
发明人：吴世真;姜泰钧;金有信;金载益;牟燦滨;成德镛;安昇彬;印杰;全允珖 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了一种半导体基底测量设备以及使用其的等离子体处理设备，该半导体基底测量设备包括产生包括第一波段的光和第二波段的光的照射光的光源单元。光学单元将照射光照射到测量对象上，并且会聚反射光。分光单元将在光学单元中会聚的反射光分束到第一光路和第二光路中。第一检测单元设置在第一光路上并且检测反射光中的在第一波段中的第一干涉光。第二检测单元设置在第二光路上并且检测反射光中的在第二波段中的第二干涉光。控制单元计算测量对象的表面形状和厚度中的至少一种。控制单元计算测量对象的温度。
反射光波段半导体基底测量设备等离子体处理设备单元设置光学单元计算测量干涉光照射光光路检测会聚测量对象第二检测分光单元光源单元分束照射

[发明专利]蒸汽式杀虫杀菌装置-CN201480030397.7在审
发明人： 金有信;金正浩 -专利权人： 金有信;金正浩
申请日： 2014-06-13 - 公布日： 2016-02-17 - 主分类号： A01M17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸汽式杀虫杀菌装置，是用于清除害虫及有害菌的杀虫杀菌装置，其特征在于，在自备动力装置(2)的后方具备杀虫杀菌操作部(4)，杀虫杀菌操作部(4)的结构为，在由工作气缸(10)做上下旋转动作的连杆(12)上结合多个针棒(30)左右排列固定的针棒固定架(20)，并具备蒸汽发生部(16)，用于生成能杀虫及杀菌的高温蒸汽向针棒(30)的蒸汽喷射口(36)供给蒸汽，用软管连接蒸汽发生部(16)与针棒(30)之间，在软管上设置用于向各针棒(30)供给蒸汽的蒸汽分配器(44-1、44-2)，在所述蒸汽分配器(44-1、44-2)的两端结合用于密封的帽(48)，在内部设置用于再次提升蒸汽温度的电热线(49)，并具备控制部(80)，随着自备动力装置(2)运行，多个针棒(30)进入到地内(6)的状态下前进同时控制高温的蒸汽连续注入到地内(6)，从而，干式或湿式的高温蒸汽连续渗透到地内进行杀虫及杀菌。
蒸汽杀虫杀菌装置