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[发明专利]硅氮烷类化合物的纯化装置及纯化方法-CN202310748053.0在审
发明人：万烨;袁振军;常欣;赵雄;郭树虎;刘见华;赵宇;赵喜哲;李圆晓 -专利权人：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司;中国有色工程有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅氮烷类化合物的纯化装置及纯化方法。按照物料流动顺序，纯化装置包括顺次相连通的吸附单元及精馏单元；精馏单元包括依次串联设置的至少两个精馏塔。其中，吸附单元包括依次串联设置的第一吸附柱及第二吸附柱；且第一吸附柱填充有第一吸附填料，第一吸附填料选自活性炭、分子筛或沸石中的一种或多种；第二吸附柱填充有第二吸附填料，第二吸附填料选自亚氨基二乙酸聚苯乙烯树脂填料、氨基磷酸聚苯乙烯树脂填料或磺化的苯乙烯‑二乙烯基树脂填料中的一种或多种。基于此，本发明实现了连续化纯化硅氮烷类化合物的有益效果，且连续化纯化过程的稳定性较佳、目标纯化物的纯度也较高，适合大规模生产，工业化应用前景更优。
硅氮烷类化合物纯化装置方法

[发明专利]硅氧烷类化合物的纯化装置及纯化方法-CN202310748041.8在审
发明人：万烨;袁振军;常欣;赵雄;刘见华;郭树虎;赵宇;赵喜哲 -专利权人：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司;中国有色工程有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅氧烷类化合物的纯化装置及纯化方法。纯化装置包括顺次相连通的汽化单元、气相吸附单元及精馏单元；其中，气相吸附单元包括串联连通的第一吸附柱及第二吸附柱；且第一吸附柱填充有第一吸附填料，第一吸附填料选自活性炭、分子筛或沸石中的一种或多种；第二吸附柱填充有第二吸附填料，第二吸附填料选自亚氨基二乙酸聚苯乙烯树脂填料、氨基磷酸聚苯乙烯树脂填料或苯乙烯‑二乙烯基树脂填料中的一种或多种。基于上述装置，硅氧烷类化合物纯化效率更高，其纯化效率体现在纯化时间更短、目标产品回收率及纯度均更高。
硅氧烷类化合物纯化装置方法

[实用新型]去除氯硅烷物料痕量金属杂质的石英亚沸蒸馏装置-CN202320524249.7有效
发明人：张燕南;郭树虎;万烨;赵雄;赵宇;王磊;常欣;董彬;赵旭;刘向阳;郭克涛;李云昊 -专利权人：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司;中国有色工程有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B01D3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种去除氯硅烷物料痕量金属杂质的石英亚沸蒸馏装置。包括可移动框架、温度控制装置及石英材质的三口烧瓶、升气管、冷凝器和收集瓶；温度控制装置包括温控仪和与其相连的红外辐射加热设备和至少三个温度传感器；红外辐射加热设备置于底板上，三口烧瓶嵌入其内，第一瓶口连第一温度传感器，第二瓶口连升气管，第三瓶口为氯硅烷物料加入口；升气管连冷凝器蒸汽入口且密封安有第二温度传感器，冷凝器水平布置且出液口具有连收集瓶的下液管，其一侧具有第二管口且密封有第三温度传感器；收集瓶固定在可移动框架上且设有接液阀。本实用新型结构简单、可移动、安装维护便捷，减少了杂质引入，温控更精准，自动化程度高。
去除硅烷物料痕量金属杂质石英蒸馏装置

[发明专利]高纯三氯氢硅的制备方法及装置-CN202211207232.5在审
发明人：张燕南;郭树虎;万烨;赵雄;赵宇;王磊;常欣;袁振军;王国元;张兴毅;郭克涛;郭武辉 -专利权人：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司;中国有色工程有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明提供一种高纯三氯氢硅的制备方法及装置，通过两级减压精馏即可获得电子级三氯氢硅。与现有技术提纯三氯氢硅相比，本发明通过仅需两级减压蒸馏即可达到常压三至五级精馏效果，获得电子级三氯氢硅的同时大大降低了能耗以及生产成本；通过两级减压精馏，明显提升了三氯氢硅产品的组分纯度，大幅度降低了B、P、Cu等金属痕量杂质的含量，获得适用于12寸硅片外延场景的三氯氢硅。
高纯三氯氢硅制备方法装置

[实用新型]高纯三氯氢硅的制备装置-CN202222641586.2有效
发明人：张燕南;郭树虎;万烨;赵雄;赵宇;王磊;常欣;袁振军;王国元;张兴毅;郭克涛;郭武辉 -专利权人：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司;中国有色工程有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高纯三氯氢硅的制备装置，涉及化工技术领域，包括依次设置的脱轻塔、脱重塔和产品罐；其中，脱轻塔包括位于塔顶的脱轻塔进料口、脱轻塔出料口和低沸物出口；脱重塔包括位于塔釜的脱重塔进料口、脱重塔出料口和高沸物出口；脱轻塔出料口与脱重塔进料口相连通，脱重塔出料口与产品罐相连通，低沸物出口和高沸物出口与高低沸物罐相连通；在脱重塔的出料口与产品罐之间还设置有产品缓冲罐。与现有技术提纯三氯氢硅相比，本实用新型通过仅需两级减压蒸馏即可达到常压三至五级精馏效果，获得电子级三氯氢硅的同时大大降低了能耗以及生产成本。
高纯三氯氢硅制备装置

[发明专利]硅基电子化学品的提纯装置与方法-CN202211182971.3在审
发明人：赵雄;高鑫;郭树虎;郭文汇;赵旭;万烨;李鑫钢;严大洲;李洪 -专利权人：洛阳中硅高科技有限公司;天津大学;中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B01D11/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅基电子化学品的提纯装置与方法。该硅基电子化学品的提纯装置，包括依次连通的脱重单元、共沸萃取单元和脱轻单元，其中，脱重单元用于将硅基化合物粗品进行重组分脱除处理，得到脱重硅基化合物粗品；共沸萃取单元用于将脱重硅基化合物粗品和水混合进行共沸萃取，得到硅基化合物馏分和液态混合物；脱轻单元，用于将硅基化合物馏分进行轻组分脱除，得到硅基电子化学品。本申请提供的提纯装置将硅基化合物粗品依次通过脱重单元、共沸萃取单元和脱轻单元依次进行重组分脱除、与水共沸萃取以及轻组分脱除，将硅基化合物粗品中的金属离子去除，制备得到的硅基电子产品能够满足集成电路等领域对于硅基化合物纯度的要求。
电子化学品提纯装置方法

[实用新型]制备系统-CN202221876264.X有效
发明人：李圆晓;常欣;赵喜哲;万烨;赵雄;袁振军;赵宇;郭树虎 -专利权人：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： B01D29/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制备系统，包括反应组件、多个过滤组件、输送组件、第一容器和第二容器，所述反应组件包括搅拌组件，所述反应组件具有内腔，所述内腔中适于发生化学反应并产生固液混合的中间产物，所述搅拌组件设于所述内腔，所述搅拌组件适于搅拌所述内腔中的反应物以提高反应效率；多个过滤组件与所述输送组件相连，所述输送组件适于将所述中间产物输送至多个所述过滤组件内；所述第一容器与多个所述过滤组件相连，以适于收集多个所述过滤组件中的固体产物，所述第二容器与多个所述过滤组件相连。本实用新型实施例的制备系统具有生产效率较高、反应物利用率高、生产连续运行的优点。
制备系统

[发明专利]制备系统和制备方法-CN202210827612.2在审
发明人：李圆晓;常欣;赵喜哲;万烨;赵雄;袁振军;赵宇;郭树虎 -专利权人：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备系统和和基于该制备系统的制备方法，所述制备系统包括反应组件、多个过滤组件、输送组件、第一容器和第二容器，所述反应组件具有内腔，所述内腔中适于发生化学反应并产生固液混合的中间产物；多个过滤组件与所述输送组件相连，所述过滤组件适于将所述中间产物中的固体产物和液体产物分离，所述输送组件适于将所述中间产物输送至多个所述过滤组件内；所述第一容器与多个所述过滤组件相连，以适于收集多个所述过滤组件中的固体产物，所述第二容器与多个所述过滤组件相连，以适于收集多个所述过滤组件中的液体产物。本发明实施例的制备系统具有生产效率较高、反应物利用率高、生产连续运行的优点。
制备系统方法

[发明专利]钢瓶清洗系统和钢瓶清洗方法-CN202110268812.4有效
发明人：刘见华;万烨;赵雄;王磊;郭树虎;严大洲 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B08B9/28 文献下载
摘要：本发明涉及钢瓶清洗技术领域，具体涉及一种钢瓶清洗系统和钢瓶清洗方法。所述钢瓶清洗系统包括残液回收单元、清洗单元和洁净组装单元，残液回收单元包括第一气源、第一真空泵和储液容器，第一真空泵具有第一真空泵进口和第一真空泵出口，第一气源和第一真空泵进口能够可切换地与钢瓶连通。清洗单元包括第二气源、清洗枪和清洗液泵，清洗枪具有清洗枪进口和清洗枪出口，第二气源和清洗液出口能够可切换地与清洗枪进口连通。洁净组装单元包括第三气源、第二真空泵和洁净间，第二真空泵具有第二真空泵进口和第二真空泵出口，第三气源和第二真空泵进口能够可切换地与钢瓶连通。根据本发明实施例的钢瓶清洗系统具有清洗操作简单和清洗速度快等优点。
钢瓶清洗系统方法

[实用新型]硅基电子产品的减压精馏装置-CN202220781355.9有效
发明人：章莉;张升学;姜利霞;汤传斌;郭树虎;赵宇;杨永亮;严大洲 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B01D3/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅基电子产品的减压精馏装置，包括原料罐、精馏装置、产品罐和再冷却装置；精馏装置包括精馏塔、塔顶冷凝器和再沸器；再沸器的出口与精馏塔的塔底气相管连接；精馏塔的高低沸出料口连接有高低沸罐；塔顶冷凝器的冷凝物料出口分别与精馏塔的物料返回口和产品罐的产品入口连接；再冷却装置包括分别与所述原料罐的气体流通口、塔顶冷凝器的未冷凝气出口、产品罐的罐顶气体管道和高低沸罐的罐顶气体管道连接的冷阱、与冷阱的未冷凝气出口连接的缓冲罐、与缓冲罐连接的真空泵和与真空泵连接的深冷器。利用本实用新型能够解决现有技术中操作温度较高、生产过程加热介质的消耗量高、流程长、控制不稳定等问题。
电子产品减压精馏装置

[实用新型]一种超高纯多晶硅及硅衍生物生产系统-CN202220316071.2有效
发明人：万烨;刘见华;严大洲;赵宇;陈辉;郭树虎;赵雄;常欣;张园园 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司
申请日： 2022-02-16 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本实用新型提出一种超高纯多晶硅及硅衍生物生产系统，通过开发吸附络合‑高效精馏三氯氢硅纯化技术制备电子级三氯氢硅，以电子级三氯氢硅为原料进一步制备电子级二氯二氢硅，开发光催化反应‑高效精馏纯化技术制备光纤级四氯化硅，并以光纤级四氯化硅为原料进一步制备电子级正硅酸乙酯。本实用新型以高纯区熔级多晶硅制造为中心，将物料流进行内循环和再利用，实现副产物的减量化和资源化，形成协同产品链，发挥协同效应，对公辅系统进行集成，相关产品制造装置实现共享，减少装置数量和系统投资。
一种高纯多晶衍生物生产系统

[发明专利]硅基电子产品的减压精馏装置及方法-CN202210355468.7在审
发明人：章莉;张升学;姜利霞;汤传斌;郭树虎;赵宇;杨永亮;严大洲 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： B01D3/10 文献下载
摘要：本发明提供一种硅基电子产品的减压精馏装置及方法，包括原料罐、精馏装置、产品罐和再冷却装置；精馏装置包括精馏塔、塔顶冷凝器和再沸器；再沸器的出口与精馏塔的塔底气相管连接；精馏塔的高低沸出料口连接有高低沸罐；塔顶冷凝器的冷凝物料出口分别与精馏塔的物料返回口和产品罐的产品入口连接；再冷却装置包括分别与所述原料罐的气体流通口、塔顶冷凝器的未冷凝气出口、产品罐的罐顶气体管道和高低沸罐的罐顶气体管道连接的冷阱、与冷阱的未冷凝气出口连接的缓冲罐、与缓冲罐连接的真空泵和与真空泵连接的深冷器。利用本发明能够解决现有技术中操作温度较高、生产过程加热介质的消耗量高、传统减压精馏装置流程长、控制不稳定等问题。
电子产品减压精馏装置方法

[发明专利]一种超高纯多晶硅及硅衍生物生产工艺及生产系统-CN202210141190.3有效
发明人：万烨;刘见华;严大洲;赵宇;陈辉;郭树虎;赵雄;常欣;张园园 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司
申请日： 2022-02-16 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明提出一种超高纯多晶硅及硅衍生物生产工艺及生产系统，通过开发吸附络合‑高效精馏三氯氢硅纯化技术制备电子级三氯氢硅，以电子级三氯氢硅为原料进一步制备电子级二氯二氢硅，开发光催化反应‑高效精馏纯化技术制备光纤四氯化硅，并以光纤四氯化硅为原料进一步制备电子级正硅酸乙酯。本发明以高纯区熔级多晶硅制造为中心，将物料流进行内循环和再利用，实现副产物的减量化和资源化，形成协同产品链，发挥协同效应，对公辅系统进行集成，相关产品制造装置实现共享，减少装置数量和系统投资。
一种高纯多晶衍生物生产工艺生产系统

[实用新型]乙硅烷制备设备-CN202120547829.9有效
发明人：赵雄;刘见华;万烨;严大洲;郭树虎;常欣 -专利权人：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： B01J8/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种乙硅烷制备设备，包括加热装置，加热装置具有第一进气口和第一出气口；催化脱氢反应器，催化脱氢反应器具有第二进气口和第二出气口；深冷装置，深冷装置具有第三进气口、第三出液口和第三废气出口；脱轻分离塔，脱轻分离塔具有第四进料口、第四出气口和第四出液口；吸附装置,吸附装置具有第五进料口和第五出料口；和脱重分离塔,脱重分离塔具有第六进料口、第六出气口和第六出液口。因此，根据本实用新型实施例的乙硅烷制备设备具有乙硅烷的转化率高、生产效率高、减少资源浪费和降低生产成本等优点。
硅烷制备设备

[实用新型]四甲基硅烷的制备系统-CN202120853218.7有效
发明人：常欣;袁振军;贺玉刚;万烨;赵雄;赵喜哲;李圆晓;赵宇;郭树虎 -专利权人：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种四甲基硅烷的制备系统，所述四甲基硅烷的制备系统包括原料罐、精馏装置、吸附装置和亚沸精馏塔，原料罐用于盛放含有四甲基硅烷的混合物，精馏装置包括第一精馏塔和第二精馏塔，第一精馏塔与原料罐和第二精馏塔连通，第一精馏塔用于去除混合物中的氯代烷烃以形成第一混合物，第二精馏塔用于去除第一混合物中的部分小分子烷烃以形成第二混合物，吸附装置与第二精馏塔连通，以用于去除第二混合物中的小分子烷烃和烯烃并形成第三混合物，亚沸精馏塔与吸附装置连通，以用于对第三混合物提纯以得到四甲基硅烷。本实用新型的四甲基硅烷的制备系统所制备的四甲基硅烷的纯度高，且生产成本低。
甲基硅烷制备系统

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