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[发明专利]一种微型回转式谐振结构的高精度加工系统和方法-CN202210818088.2有效
发明人：胡友旺;王亚龙;孙小燕;龙超;郑皓宁 -专利权人：中南大学
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B23K26/0622 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工系统和方法，系统包括：飞秒激光器、光路模块、多轴运动平台、微调装置、机器视觉高倍成像模块、图像处理程序、加工路径规划模块。所述飞秒激光器配合光路模块可实现对微型器件的高精度加工；所述多轴运动平台可承载样品与激光焦点作相对运动，实现复杂轮廓形状的三维加工；所述微调装置可实现微型回转式谐振结构在两个水平方向的距离微调，配合视觉成像模块可实现样品精准定位。本发明也公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工方法，在上述系统的基础上，通过将机器视觉高倍成像模块与图像处理技术应用于飞秒激光加工系统，实现样品与飞秒激光焦点的精准定位，结合自动控制程序为微型回转式谐振结构的高精度加工提供方法，保证了谐振结构加工后的高度三维对称性，具有操作简单，自动化程度高等特点。
一种微型回转谐振结构高精度加工系统方法

[发明专利]一种硅陀螺增加质量式调谐方法-CN202110798179.X有效
发明人：胡友旺;郑皓宁;孙小燕;李靖轩 -专利权人：中南大学
申请日： 2021-07-15 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅陀螺增加质量式调谐方法，该方法首先将硅陀螺放置于合适压强的气体氛围中，并利用硅陀螺的频率裂解测试结果确定其增加的质量和增加质量的位置。然后通过视觉系统和运动平台将硅陀螺移动到合适的加工区域。最后利用超快激光诱导硅陀螺目标位置与气体元素反应，实现硅陀螺局部的质量增加，降低其频率裂解。通过改变气体浓度、激光诱导位置、激光功率和激光诱导时间等，可精密控制增加的质量，实现硅陀螺的精密调谐。增加质量式调谐在降低硅陀螺频率裂解的同时最大程度地保持了谐振子的连续性。该方法具有调谐精密、损伤小、增加质量可控和加工对象广的特点，可用于硅陀螺的精密调谐，具有广阔的应用前景。
一种陀螺增加质量调谐方法

[发明专利]一种毫米厚度石英玻璃的高质量切割方法-CN202210853959.4在审
发明人：胡友旺;王亚龙;孙小燕;龙超;郑皓宁 -专利权人：中南大学
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明提出一种毫米厚度石英玻璃的高质量切割方法，充分利用飞秒激光可突破衍射极限的指定位置处极小范围进行高精度加工，并具有空间分辨率高等特点，通过控制激光通量和聚焦条件，主要为飞秒激光进给方式、激光功率、扫描速度以及单次进给量，应用优选的工艺参数的飞秒激光对石英玻璃进行改性加工，再结合超声波辅助HF化学溶液对改性后样品进行选择性刻蚀的方法，实现对毫米厚度石英玻璃的高质量切割。该方法适用于厚度≤1000μm的石英玻璃的切割，使得加工后样品的陡直度可达89°以上，接近理想的角度，边缘崩边尺寸小于2μm，断面粗糙度小于0.5μm，该切割方法具有一定的适用性、可重复性，且能保证加工质量的一致性。
一种毫米厚度石英玻璃质量切割方法