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[发明专利]一种半导体工艺流程的管理方法、装置及设备-CN202210275080.6在审
发明人：徐莹;郑悦文 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G06F16/215 文献下载
摘要：本公开提供了一种半导体工艺流程的管理方法、装置及设备，属于半导体技术领域，响应于数据修改指令，获取对半导体工艺流程中参数进行修改的修改指示信息；根据所述修改指示信息确定修改的参数所属的目标路径及目标站点，并提取所述修改的参数中的第一关键词；在与所述目标路径相同或不同路径中各站点相关参数中进行与第一关键词相匹配的第二关键词搜索，确定与所述修改的参数相关联的关联站点及其所在的路径；将所述关联站点及其所在的路径作为关联数据输出，根据用户的指示确定是否对所述修改的参数进行修改。通过本公开提供的方法解决了目前手动去查找耗费时间长，操作复杂，若修改内容种类多，数量大，且会存在遗漏的问题。
一种半导体工艺流程管理方法装置设备

[发明专利]半导体工艺流程的控制方法及系统、电子设备-CN202210281000.8在审
发明人：徐莹;郑悦文 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本公开提供了一种半导体工艺流程的控制方法及系统、电子设备，该方法包括：获取用于控制半导体设备执行半导体生产的执行文件；解析执行文件定义的需执行的独立工艺流程及执行顺序，将各独立工艺流程作为路径节点并根据执行顺序得到主路径；解析对各路径节点是否定义对应的子路径，及是否设置自动跳转到子路径执行对应控制后再跳转回来的自动跳转功能，子路径为子工艺流程；接收指示删除子路径的指令，确定指示删除的子路径对应的路径节点设置有自动跳转功能时，输出禁止删除子路径的提示信息。本公开通过系统判断是否可以删除此子路径节省用户查询时间，准确率高，提高半导体产品的良率。
半导体工艺流程控制方法系统电子设备

[发明专利]系统权限管控方法、数据中心、管控装置和存储介质-CN202110806641.6有效
发明人：徐莹;郑悦文 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G06F21/45 文献下载
摘要：本申请涉及一种系统权限管控方法、数据中心、管控装置和存储介质。系统权限管控方法，包括：获取人员变动信息，人员变动信息包括变动人员的人员信息以及变动人员的职位变动方式信息；根据人员信息，获取变动人员当前具有的权限接口；根据权限接口，判断变动人员是否具有当前对象系统的操作权限；如果变动人员具有当前对象系统的操作权限，则判断变动人员的职位变动方式是否为调职；如果变动人员的职位变动方式为调职，则发送通知信息，通知信息用于通知变动人员重新申请对当前对象系统的操作权限；如果变动人员未重新申请当前对象系统的操作权限，则根据变动人员的人员信息，删除当前对象系统的权限接口。该方法能够及时更改变动人员系统权限。
系统权限方法数据中心装置存储介质

[发明专利]光罩信息管理方法及系统、存储介质及电子设备-CN202110782930.7在审
发明人： 郑悦文;徐莹 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G06F16/22 文献下载
摘要：本公开是关于一种光罩信息管理方法、光罩信息管理系统、计算机可读存储介质及电子设备。该光罩信息管理方法包括：根据输入的光罩标识信息，在光罩数据库中查找光罩标识信息对应的关系线；从关系线中确定出光罩标识信息对应的光罩相关信息；在光罩信息界面的预设栏位中添加光罩相关信息对应的光罩信息、光罩群组信息、光敏层信息和光罩集合信息。本公开提高了对光罩信息管理的效率和准确性。
信息管理方法系统存储介质电子设备

[发明专利]半导体结构及其制造方法-CN202110610991.5在审
发明人：乔梦竹;郑悦文 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-06-01 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： H01L27/108 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种半导体结构及其制造方法，半导体结构包括：衬底；位于衬底上的有源区阵列及隔离结构，有源区阵列包括若干沿第一方向延伸的错位排列的有源区，隔离结构包括在第一方向上相邻有源区之间的跨越区以及垂直第一方向上的错位相邻的有源区之间的邻近区；若干字线，字线包括穿过有源区且沿第二方向延伸的字线主体部、位于邻近区内并与字线主体部相连的第一凸部以及位于跨越区内的第二凸部和跨越部；其中，第二凸部与字线主体部相连，跨越部位于第二凸部远离字线主体部的一侧且与第二凸部相连，第二凸部在衬底表面的正投影面积与跨越部在衬底表面的正投影面积不同。本发明实施例有利于提高半导体结构的性能。
半导体结构及其制造方法

[发明专利]工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备-CN202210674350.0在审
发明人：徐莹;郑悦文 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本公开提供了一种工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备，涉及半导体技术领域。该工艺监控方法包括：获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；根据所述脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定所述当前生产工艺的脚本执行状态；若所述脚本执行状态为执行报错，则生成针对所述脚本更新信息的报错信息，并将所述报错信息发送至管理终端。本公开提供的一种工艺监控方法，解决了目前半导体生产工艺的稳定性较弱的技术问题，达到了提高生产工艺稳定性的技术效果。
工艺监控方法装置存储介质电子设备

[发明专利]晶圆加工生产数据管理方法及装置、电子设备-CN202210277142.7在审
发明人：徐莹;郑悦文 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G06F21/62 文献下载
摘要：本公开公开了一种晶圆加工生产数据管理方法及装置、电子设备，该方法包括：获取晶圆加工生产过程中的生产数据，构建数据库；响应于检索所述数据库的检索指令，确定所述生产数据中超过固定时间内未被更新的闲置数据；确定与所述闲置数据相关联的关联数据，将所述闲置数据以及所述关联数据发送给指定账号；根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据。以此解决目前对于系统中的闲置数据量超过系统的最大容量时，管理员会整理出所述闲置数据交由用户管理，操作方法具有被动性，在管理过程中，大批量的删除操作也可能会造成系统的不稳定，易造成误删的问题。
加工生产数据管理方法装置电子设备

[发明专利]报表生成方法、装置、设备及存储介质-CN202210016600.1在审
发明人：徐莹;郑悦文 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G06F16/26 文献下载
摘要：本公开实施例提供一种报表生成方法、装置、设备及存储介质。其中，所述报表生成方法包括：响应于在报表配置界面进行的报表配置操作，获取目标报表的配置信息；所述配置信息包括报表类型和第一数据筛选信息；基于所述报表类型，从设定的报表视图库中确定目标报表视图；基于所述第一数据筛选信息，从设定的数据源中获取与所述目标报表视图匹配的报表数据；基于所述目标报表视图和所述报表数据，生成所述目标报表。
报表生成方法装置设备存储介质

[发明专利]检测工艺的管控方法及检测工艺的管控系统-CN202210010271.X在审
发明人：徐莹;郑悦文 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G06F16/22 文献下载
摘要：本申请提供了一种检测工艺的管控方法及检测工艺的管控系统。所述检测工艺的管控方法包括：对所述检测工艺中的检测项目进行层级划分；按照预设的规则对所述层级命名后将上述层级命名结果存储在数据库中；接收操作台指令；判断指令类别，获得一判断结果；根据上述判断结果及数据库中的层级命名结果对所述操作台指令进行验证，获得一验证结果；根据验证结果执行操作台指令、报错指令或提示指令中的一个指令。上述技术方案通过对所述检测工艺中的检测项目进行层级划分，并按照预设的规则对所述层级命名后将上述层级命名结果存储在所述数据库中，将检测项目名称与计算方式组合起来，便于识别。提高数据的准确性，进而提高对制程工艺管控的效率及准确性。
检测工艺方法系统

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