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[发明专利]用于移除光刻胶的剥离剂组合物以及使用其剥离光刻胶的方法-CN201580038411.2有效
发明人：朴泰文;郑大哲;李东勋;李佑然;李贤浚;金周永 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明涉及用于移除光刻胶的剥离剂组合物以及使用其剥离光刻胶的方法，所述组合物包含：至少一种胺化合物；至少一种选自非质子极性有机溶剂和水的溶剂；质子极性有机溶剂；以及聚醚改性的聚二甲基硅氧烷，所述聚醚改性的聚二甲基硅氧烷在20℃下的动态粘度为25mPa·s至250mPa·s且包含20摩尔％至70摩尔％的包含聚醚类官能团的聚二甲基硅氧烷重复单元。
用于光刻剥离组合以及使用方法

[发明专利]回收废光刻胶剥离剂的方法-CN201580012366.3有效
发明人：朴泰文;郑大哲;李东勋;李佑然;李贤浚;金周永 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2015-07-10 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明涉及回收废光刻胶剥离剂的方法，所述方法包括以下步骤：使包含40重量％到75重量％的至少一种胺化合物、20重量％到55重量％的亚烷基二醇化合物、以及1重量％到10重量％的添加剂的回收液体接触废光刻胶剥离剂的纯化液体。
回收光刻剥离方法

[发明专利]用于移除光刻胶的剥离剂组合物以及使用其剥离光刻胶的方法-CN201580012365.9有效
发明人：朴泰文;郑大哲;李东勋;李佑然;李贤浚;金周永 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2015-07-10 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明涉及用于移除光刻胶的剥离剂组合物以及使用其剥离光刻胶的方法，剥离剂组合物包含：至少一种胺化合物；酰胺类化合物，其中具有1到5个碳原子的直链或支链烷基对氮单取代或二取代；极性有机溶剂；三唑类化合物；以及苯并咪唑类化合物。
用于光刻剥离组合以及使用方法

[发明专利]光刻胶去除设备及使用所述设备的光刻胶去除方法-CN201580031398.8有效
发明人：朴泰文;郑大哲;李东勋;李佑然;李贤浚;金周永 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2015-07-10 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： G03F7/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种光刻胶去除设备以及使用所述设备的光刻胶去除方法，所述设备包括：剥离室，其包括用于去除光刻胶的剥离剂储存槽、用于使表面上形成有光刻胶的基底移动的基底移动装置、用于将用于去除光刻胶的剥离剂喷淋到基底移动装置上的剥离剂喷淋器、以及将用于去除光刻胶的剥离剂从储存槽输送至剥离剂喷淋器的剥离剂输送装置；冷却装置，其位于剥离室的上方并且使剥离室中蒸发的物质冷却；以及传送装置，其将通过冷却装置冷却的物质传送至用于去除光刻胶的剥离剂储存槽或剥离室。
光刻去除设备使用方法

[发明专利]用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法-CN201580000649.6有效
发明人：朴泰文;郑大哲;李东勋;李佑然;李贤濬;金周永 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2015-08-18 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物，其包含：重均分子量大于95g/mol的链胺化合物；重均分子量不大于90g/mol的链胺化合物；环胺化合物；其中具有1至5个碳原子的直链或支链的烷基基团被氮单取代或双取代的基于酰胺的化合物；和极性有机溶剂，其中所述重均分子量大于95g/mol的链胺化合物与所述重均分子量不大于90g/mol的链胺化合物的重量比为1∶1至1∶10；还涉及一种使用所述剥离剂组合物剥离光致抗蚀剂的方法。
用于除去光致抗蚀剂剥离组合使用方法

[发明专利]用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物及使用其的光致抗蚀剂的剥离方法-CN201480004032.7有效
发明人：李佑然;郑大哲;李东勋;朴泰文 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2014-04-28 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物和一种使用其剥离光致抗蚀剂的方法，其中所述用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物在移除和剥离光致抗蚀剂中表现出优异的性能，并可有效地抑制污点在含铜下膜等上的产生和残留。用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物包含至少一种胺化合物；极性有机溶剂；亚烷基二醇系溶剂；和腐蚀抑制剂。
用于光致抗蚀剂剥离组合使用方法

[发明专利]蒸馏装置-CN201680020924.5在审
发明人：李诗奈;李成圭;李相范;李成镐;金正锡;申俊浩;郑大哲;张龙熙;朴泰文;李炫稷 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2016-04-01 - 公布日： 2017-12-05 - 主分类号： B01D3/02 文献下载
摘要：通过使用本申请的蒸馏装置，与使用双蒸馏塔的情况相比，可以使包含在光致抗蚀剂的剥离工序中使用的废物剥离剂和被剥离的光致抗蚀剂树脂的溶液的纯化工序中产生的能量损失最小化，并且可以减小蒸馏装置的安装成本，从而提高了工序的经济可行性。
蒸馏装置

[发明专利]用于去除光阻剂的剥离剂组合物及使用其剥离光阻剂的方法-CN201480007384.8有效
发明人： 郑大哲;李东勋;李佑然;朴泰文 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2014-03-06 - 公布日： 2017-09-05 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于去除光阻剂的剥离剂组合物及一种使用其的方法，所述用于去除光阻剂的剥离剂组合物在不含具有生殖毒性的N‑甲基甲酰胺或N,N’‑二甲基甲酰胺等的情况下，仍能表现出优异的剥离性能和冲洗性能并使随着时间推移的性能退化最小化。所述用于去除光阻剂的剥离剂组合物包括一种或多种胺化合物；N,N’‑二乙基甲酰胺；以及亚烷基二醇单烷基醚或亚烷基二醇的质子性有机溶剂。
用于去除光阻剂剥离组合使用方法

[发明专利]一种CPR训练和考核系统及方法-CN201610493238.1在审
发明人：陆乐;陆俊;曹颖;郑大哲 -专利权人：上海救要救信息科技有限公司
申请日： 2016-06-29 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： G06F19/00 文献下载
摘要：本发明涉及计算机领域，尤其涉及一种CPR训练和考核系统及方法。一种CPR训练和考核系统，包括：心肺复苏按压模型，能对每次有效按压给出有效按压指示；移动终端，用于获得所述有效按压指示的信息，及得出结果。一种CPR训练方法，包括以下步骤：移动终端发出CPR训练节拍；随着所述训练节拍，受训者对所述心肺复苏按压模型进行按压；所述心肺复苏按压模型对每次有效按压给出有效按压指示；所述移动终端获得所述有效按压指示的信息；所述移动终端得出训练结果；所述移动终端输出训练结果。本发明的CPR考核方法，相比训练方法，略去了移动终端发出CPR训练节拍的步骤。本发明解决了现有技术中的CPR训练、考核系统成本高，且需要在线完成的技术问题。
一种 cpr 训练考核系统方法