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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种晶圆抛光系统及晶圆处理方法-CN202310792206.1在审
发明人： 郑东州;徐枭宇;杨渊思 -专利权人：杭州众硅电子科技有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆抛光系统，包括：晶圆抛光单元；晶圆清洗单元，与晶圆抛光单元相邻设置；晶圆传输通道；还包括晶圆转移机构，至少部分位于晶圆清洗单元；晶圆传输通道上形成有对接工位，晶圆转移机构的至少部分可活动至对接工位，以实现晶圆在晶圆抛光单元和晶圆清洗单元之间的传输。本发明还公开了一种晶圆抛光系统的晶圆处理方法。本发明晶圆转移机构的部分位于晶圆清洗单元内，其部分可以活动至对接工位，实现了晶圆抛光单元和晶圆清洗单元之间的直接交互，省去了中间的交互环节，晶圆的传递路径缩短，也减少了晶圆传递需要借助的装置，对晶圆的损伤降至最低，晶圆传输效率高。
一种抛光系统处理方法

[发明专利]一种晶圆抛光系统、装载方法及其使用方法-CN202210316152.7有效
发明人：徐枭宇;郑东州;杨渊思 -专利权人：杭州众硅电子科技有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆抛光系统，包括晶圆传递装置，包括固定座和载片台，固定座可带着载片台在晶圆传输通道内沿X轴方向移动；抛光模组，设于晶圆传输通道的侧边，可于载片台上获取晶圆进行抛光；固定座和载片台之间设有对接机构，该对接机构的部分与固定座相连，部分与载片台相连；当对接机构的两部分完成对接时，载片台和固定座实现限位，且该对接机构可在X轴和Y轴所在平面移动，以带动载片台移动至目标位置。本发明还公开了一种所述晶圆抛光系统的装载方法。本发明又公开了一种所述晶圆抛光系统的使用方法。本发明有效保证载片台移动至目标位置，在两个维度上叠加调整，对接范围广；对接限位可以在不同过程中进行，应用灵活。
一种抛光系统装载方法及其使用方法

[外观设计]抛光研磨装置（150300）-CN202230409930.8有效
发明人：黄铭康;郑东州 -专利权人：杭州众硅电子科技有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：抛光研磨装置（150＆300）。2.本外观设计产品的用途：用于晶圆的抛光和研磨。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计2立体图1。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略设计1仰视图;本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略设计2仰视图。6.指定设计1为基本设计。
抛光研磨装置 150300

[发明专利]一种连续式晶圆抛光系统-CN202210754994.0在审
发明人：徐枭宇;郑东州 -专利权人：杭州众硅电子科技有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B24B5/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种连续式晶圆抛光系统，包括支架；抛光单元，包括抛光台及抛光臂；传输通道，与支架平行设置；晶圆载片装置，包括载片台，升降驱动机构，及横向驱动机构，升降驱动机构连接在载片台下方，横向驱动机构位于载片台的第一侧；支撑导轨，设于载片台的第二侧，其和第一侧相对设置；载片台在横向驱动机构和支撑导轨的共同作用下沿支架平移，以接受不同抛光臂从抛光台上传输过来的晶圆，或者，将晶圆提供给不同抛光臂以传输至不同抛光台。本发明晶圆载片装置可以在传输通道内移动，抛光工序可以连续进行，抛光效率提高，传输结构简化；横向驱动机构位于载片台的第一侧，布局设计合理；横向驱动机构和支撑导轨配合，传输结构更稳固。
一种连续式晶圆抛光系统

[实用新型]一种晶圆抛光系统-CN202221658782.4有效
发明人： 郑东州;徐枭宇 -专利权人：杭州众硅电子科技有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆抛光系统，包括：支架；抛光单元，包括设于支架一侧的抛光台，及抛光臂；传输通道，与支架平行设置；晶圆载片装置，至少包括用于承载晶圆的载片台，及用于驱动载片台平移的横向驱动机构，横向驱动机构设于载片台的第一侧和支架之间。本实用新型晶圆载片装置可以在传输通道内移动，整个抛光工序可以连续或同步进行，提高了抛光效率，同时简化了传输结构，使用成本降低，机台抛光产出速度提高；横向驱动机构位于载片台的第一侧解决了晶圆载片装置的横向驱动机构的安装问题，布局设计合理。
一种抛光系统

[实用新型]一种晶圆搬运装置-CN202221412887.1有效
发明人：徐枭宇;郑东州 -专利权人：杭州众硅电子科技有限公司
申请日： 2022-06-07 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆搬运装置，包括传输通道，设于传输通道的传输轨道，可于传输轨道上移动的晶圆夹持机构，及弥散化装置，所述弥散化装置用于喷射流体，以在传输通道形成弥散化区域，晶圆夹持机构上的晶圆在该弥散化区域移动。本实用新型在传输通道内设置弥散化装置，其可以喷射流体，使得在晶圆传输过程中其表面保持润湿状态，避免其表面干燥导致表面残留的抛光液结晶，避免晶圆表面划伤或有缺陷。
一种搬运装置

[实用新型]一种晶圆传递装置-CN202220709319.1有效
发明人： 郑东州;徐枭宇;杨渊思 -专利权人：杭州众硅电子科技有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： B65G47/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆传递装置，包括：载片台，用于承载晶圆；固定座，用于带着载片台在晶圆传输通道内移动；对接机构，设于固定座和载片台之间，其包括第一部分和第二部分，第一部分与固定座相连，第二部分与载片台相连；当第一部分和第二部分对接时，载片台和固定座实现轴向限位，且该对接机构可带动载片台或固定座在X轴和Y轴所在平面移动。本实用新型可以有效保证载片台移动至目标位置，对接机构的移动板通过滑轨相对固定座的移动、通过上对接部和下对接部的轴向对接，在两个维度上叠加调整，实现载片台和固定座的对接，对接范围广，适应不同的使用场景，应用广泛，对接机构的结构相对简单，装配方便，驱动结构简单。
一种传递装置

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