专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种适用于晶圆吸附的卡盘-CN202320882373.0有效
  • 王进文;邓忠光;欧昌东 - 武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司
  • 2023-04-18 - 2023-09-22 - H01L21/683
  • 本实用新型提供了一种适用于晶圆吸附的卡盘,属于半导体生产设备领域,其包括铝质的吸附板,吸附板的吸附面上开设有多道同心圆形式的槽道,各道次同心圆形式的槽道物理上相互独立并相互隔离,分别连通不同的气路,以能被独立控制产生负压吸附。其还包括转接板,转接板设置在吸附板的底部并相互紧密贴合以形成气密封,吸附板顶部处具有台阶状镂空部,转接板外形与吸附板相匹配,且内部开设有多路相互独立的气路槽道,以能用于实现将吸附板转接连通于外界的气源。本实用新型申请设计有多组独立的气路,多路气槽或者槽道进行隔离,能适应吸附不同尺寸的晶圆。
  • 一种适用于吸附卡盘
  • [发明专利]一种微显示器贴合系统及方法-CN202210321816.9有效
  • 邓忠光;左律;张仁国;郑增强;欧昌东;刘荣华 - 武汉精立电子技术有限公司;武汉加特林光学仪器有限公司
  • 2022-03-25 - 2023-09-12 - G09F9/33
  • 本发明公开了一种微显示器贴合系统及方法,涉及微显示器领域,其包括:相机对位单元,其正对立方体三色合光棱镜的出光面;贴合单元,用于获取微显示器,并将微显示器的贴合端移动到与立方体三色合光棱镜的贴合面对应的位置;间距检测单元,用于检测微显示器的贴合端与立方体三色合光棱镜的贴合面之间的间距;旋转单元,用于旋转立方体三色合光棱镜使得其不同贴合面分时对应于贴合单元;相机对位单元与旋转单元连接,并相对于立方体三色合光棱镜位置固定。本发明可以生产基于Micro LED技术的三色微显示器,并可以控制Micro LED屏幕与立方体三色合光棱镜在贴合过程中的相对距离,以解决Micro LED屏幕在精对位时容易受损的问题。
  • 一种显示器贴合系统方法

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