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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有多区域控制的静电卡盘-CN201811334229.3有效
发明人：陈嘉和;连明惠;吴淑芬;李志聪;周友华 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-06-18 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种用于夹紧弯曲工件的静电卡盘，具有包括介电层的夹紧面。介电层具有由不同介电材料形成的域和一个或多个区域。将一个或多个电极连接至电源，并且控制器控制通过电源提供给一个或多个电极的夹紧电压。感生与静电卡盘的介电层的每一个域和一个或多个区域相关的静电吸引力，其中，静电吸引力基于每一个域和一个或多个区域的介电材料而变化。一个或多个区域中的静电吸引力大于域中的静电吸引力，其中，将工件的弯曲区域吸附至夹紧面并且横跨弯曲工件的表面将弯曲工件夹到夹紧面。本发明还提供了具有多区域控制的静电卡盘。
具有区域控制静电卡盘

[发明专利]用于半导体制造工具的阀净化组件-CN201210576926.6有效
发明人： 连明惠;陈嘉和;吴淑芬;李志聪;周友华 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-12-26 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：用于半导体制造工具的阀净化组件。本发明提供了一种半导体制造工具和操作该工具的方法。半导体制造工具包括在其中实施等离子体操作或离子蚀刻操作的处理室和用于打开和关闭阀的阀组件，所述阀用于在半导体制造工具内外装载和卸载衬底。在室中实施处理操作的同时，还进行阀组件净化操作。阀组件净化操作包括将惰性气体引导到阀组件区域以防止颗粒和污染膜在阀组件中形成。因为阀组件保持清洁状态，所以减少或消除了颗粒污染。
用于半导体制造工具净化组件

[发明专利]在半导体晶圆上制备聚硅氮烷的方法和装置-CN201210549608.0有效
发明人：周友华;李志聪;洪敏皓;连明惠;吴志仁;黄振铭 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-12-17 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：本发明提供了一种在半导体晶圆上沉积聚硅氮烷的方法。方法包括以下步骤：将硅氮烷设置在半导体晶圆上以及加热硅氮烷以在半导体晶圆上形成聚硅氮烷。本发明还提供了一种在半导体晶圆上制备聚硅氮烷的装置。
半导体晶圆上制备聚硅氮烷方法装置

[发明专利]用于半导体的UV固化系统-CN201210380758.3有效
发明人： 连明惠;陈嘉和;吴淑芬;李志聪;周友华 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-10-09 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了一种用于处理诸如晶圆的半导体衬底的紫外线(UV)固化系统的实施例。固化系统通常包括：处理室、用于在室中保持晶圆的晶圆支架、设置在室之上的UV辐射源、以及散置在辐射源和晶圆支架之间的UV透明窗。在一个实施例中，晶圆支架由在UV固化期间可操作以将晶圆传输通过室的带式输送器提供。在另一个实施例中，UV辐射源是横跨室的顶部移动的可移动灯单元，用于照射晶圆。在另一个实施例中，UV透明窗包括UV辐射调节器，其减小位于调节器下面的晶圆的多个部分上的UV辐射的强度。通过使晶圆上的UV强度水平正常化，多个实施例提高了晶圆固化均匀度。本发明提供用于半导体的UV固化系统。
用于半导体 uv 固化系统

[发明专利]具有多区域控制的静电卡盘-CN201210205957.0在审
发明人：陈嘉和;连明惠;吴淑芬;李志聪;周友华 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-06-18 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种用于夹紧弯曲工件的静电卡盘，具有包括介电层的夹紧面。介电层具有由不同介电材料形成的域和一个或多个区域。将一个或多个电极连接至电源，并且控制器控制通过电源提供给一个或多个电极的夹紧电压。感生与静电卡盘的介电层的每一个域和一个或多个区域相关的静电吸引力，其中，静电吸引力基于每一个域和一个或多个区域的介电材料而变化。一个或多个区域中的静电吸引力大于域中的静电吸引力，其中，将工件的弯曲区域吸附至夹紧面并且横跨弯曲工件的表面将弯曲工件夹到夹紧面。本发明还提供了具有多区域控制的静电卡盘。
具有区域控制静电卡盘

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