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[发明专利] 基片处理设备 -CN201780044348.2 有效
发明人：
若林真士 ;近藤圭祐
- 专利权人：
东京毅力科创株式会社
申请日：
2017-06-21
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公布日：
2023-03-28
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主分类号：
H01L21/677 文献下载
摘要： 本发明提供一种在具有从晶片的运送容器取出晶片的EFEM(Equipment Front End Module)和用于处理晶片的处理模块的基片处理设备中，能够抑制设备成本高涨并且能够提高吞吐量的技术。将配置3层具有2个处理模块(5A、5B)和负载锁定模块(4)处理单元(U)而成的组，沿从EFEM(101)看时向里侧延伸的Y引导件(21)在前后且隔着该Y引导件(21)在左右设置4组。EFEM(101)一侧的交接机构(12)与处理单元(U)一侧的基片运送机构(43)的基片的交接由基片载置部(3)进行，该基片载置部(3)能够使多个晶片(W)沿Y引导件(21)可移动且可升降地以货架布置方式载置。处理 设备
[发明专利] 处理系统 -CN201810269345.5 有效
发明人：
河边笃 ;近藤圭祐
- 专利权人：
东京毅力科创株式会社
申请日：
2018-03-29
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公布日：
2022-04-05
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主分类号：
H01L21/67 文献下载
摘要： 本发明提供一种小型的处理系统，其包括对晶片等的多个被处理体一并进行规定的处理的多反应器式的真空处理室，能够以高生产率对被处理体进行处理。本发明的处理系统(1)中，多反应器式的真空处理室(101 ～104 )沿着规定的方向设置，输送设备3)分别沿着上述规定的方向设置，具有分别沿着上述规定的方向输送晶片(W)的第一共用输送装置和第二共用输送装置(30、31)，第一共用输送装置(30)从与上述规定的方向正交的方向的一方与真空处理室(101 ～104 )分别连接，第二共用输送装置(31)从与上述规定的方向正交的方向的另一方与真空处理室(101 ～104 )分别连接。处理 系统
[发明专利] 光接收器阵列和光学雷达装置 -CN201880034741.8 有效
发明人：
马场俊彦 ;近藤圭祐 阿部纮士
- 专利权人：
国立大学法人横浜国立大学
申请日：
2018-05-22
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公布日：
2020-11-03
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主分类号：
G02B6/122 文献下载
摘要： 本发明光接收器阵列由以阵列形式排列的多个含光子晶体慢光波导(12)的接收器构成，本发明光学雷达装置由直线排列的光接收器阵列(10)和发射器(21)构成。所述光接收器阵列(10)的多个接收器(11a～11d)的排列关系为(a)由排成阵列的多个含光子晶体慢光波导(12)的接收器所形成的阵列状元件，而且该阵列排列形式由如下两者定义：(b)定义了构成所述光接收器阵列的多个接收器间位置关系的排列形式；以及(c)定义了每一接收器方向的朝向。当相邻接收器波导末端所接收的接收光之间的相位差对应于一个波长时，排列间距p，接收光波长λ以及入射角Δθr之间满足关系p＝λ/sinΔθr。入射角Δθr等于辐射光外扩角度Δθt的这一构造为合适构造。接收器 阵列 光学 雷达 装置
[发明专利] 基板搬送方法和处理系统 -CN201580050468.4 有效
发明人：
近藤圭祐
- 专利权人：
东京毅力科创株式会社
申请日：
2015-09-07
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公布日：
2020-02-07
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主分类号：
H01L21/677 文献下载
摘要： 提供一种基板搬送方法，使用具有第一拾取器和第二拾取器的搬送机构在热处理室与不同于该热处理室的其他室之间依次搬送基板，所述基板搬送方法包括：第一步骤，将未处理的基板保持在所述第一拾取器上，搬送至所述热处理室；第二步骤，将在所述热处理室中热处理过的处理后基板保持在所述第二拾取器上并将所述第一拾取器所保持的未处理的基板搬入所述热处理室；第三步骤，将保持在所述第二拾取器上的处理后基板搬送至所述其他室；和第四步骤，将所述其他室内的未处理的基板保持在所述第一拾取器中，在将所述第二拾取器所保持的处理后基板搬入到所述其他室之后，使所述第一拾取器和所述第二拾取器均成为未保持基板的状态。基板搬送 方法 处理 系统
[发明专利] 被处理对象的搬送装置 -CN200680000424.1 有效
发明人：
町山弥 ;石泽繁 ;小泉浩 ;广木勤 ;近藤圭祐
- 专利权人：
东京毅力科创株式会社
申请日：
2006-06-20
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公布日：
2007-07-25
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主分类号：
H01L21/677 文献下载
摘要： 处理系统(100)包括：搬送室(150)、与搬送室相连的多个室(140、160)、附设在搬送室内的搬送装置(180)、控制搬送装置的控制部(200)。搬送装置包括能够滑动动作的基台(182)、能够旋转动作的搬送臂(185A、185B)。控制部具备存储部(290)和动作控制器(280)。存储部存储表示滑动动作以及旋转动作的复合动作的多个动作类型的类型模式信息(292)、以及与动作类型分别对应的时间动作轨道的轨道模式信息(294)。动作控制器从类型模式信息以及轨道模式信息中检索必要的信息，并根据这些信息来控制搬送装置的动作。处理 对象 装置
