“辛在爀”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]基板组装设备以及使用基板组装设备的基板处理方法-CN201110199635.5有效
发明人： 辛在爀;尹青龙;文成哲 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2011-07-15 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：提供一种基板组装设备以及一种使用所述基板组装设备的基板处理方法。所述基板组装设备包括：腔室部，其具有内部空间；上卡盘，设置在所述腔室部内部以支撑上基板；基板支撑单元，设置为面向所述上卡盘以支撑下基板；以及可垂直移动的提升构件，其一部分穿过所述基板支撑单元。所述基板支撑单元包括：盘状的下支撑件；安装在所述下支撑件上的粘性卡盘，用以支撑所述下基板；以及多个支撑模块，所述多个支撑模块包括分别设置于所述粘性卡盘内部和外部的第一分离膜以及第二分离膜。
组装设备以及使用处理方法

[发明专利]用于支撑衬底的单元和用于使用该单元来处理衬底的设备-CN201010624115.X有效
发明人：尹靑龙;金容锡;辛在爀;金光寿 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2010-12-29 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开一种衬底支撑单元，其包含：静电卡盘单元，其经配置为可移动的并支撑衬底；以及连接部件，其一端连接到静电卡盘单元以向静电卡盘单元供应电力，连接部件经配置以根据静电卡盘单元的移动而灵活地改变形状。连接部件包含：柔性管，其经配置以界定内部空间；以及导电线，其插入至柔性管中且其一端连接到静电卡盘单元。由于导电线插入柔性管中，因此该连接部件的移动性增加。因此，连接到静电卡盘单元的连接部件的形状根据静电卡盘单元的上下移动或旋转而灵活地改变。因此，静电卡盘单元可顺畅地移动。另外，由于连接部件的形状是柔性的，因此可在无位置和区域限制的情况下安装该连接部件。
用于支撑衬底单元使用处理设备

[发明专利]衬底固持单元和具有其的衬底组装设备-CN201010003390.X有效
发明人： 辛在爀;金容锡;尹靑龙;边世勋 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2010-01-19 - 公布日： 2010-07-21 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：根据实施例的一种衬底固持单元包含粘接模块。所述粘接模块包含：主体部分；粘接卡盘，其安装到所述主体部分上用于固持并固定衬底；第一分离层，其安置在所述粘接卡盘内侧处用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离；以及第二分离层，其安置在所述粘接卡盘外侧处用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离。根据实施例，将分离层分别安置在所述粘接卡盘的内侧和外侧上。因此，在将衬底与所述粘接卡盘分离时，通过所述多个分离层使施加到所述衬底上的力最小化，以便防止所述衬底的未对准或损坏。而且，提供具有所述粘接卡盘和所述分离层的多个粘接模块，且根据所述衬底的大小来控制所述多个粘接模块的定位。因此，不管所述衬底的大小都可易于实现对衬底的固持。
衬底单元具有组装设备