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[发明专利]基于表面等离激元的成像传感方法、设备及存储介质-CN202210055876.0在审
发明人：孙晓娟;路鑫超;刘虹遥;王畅;孙旭晴 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于表面等离激元的成像传感方法、设备及存储介质，通过获取待测介质对应的表面等离激元干涉图像，基于表面等离激元干涉图像，得到待测介质对应的干涉特征值如表面等离激元干涉条纹周期值和/或干涉极大值间距；基于干涉特征值以及表征介质折射率与干涉特征参数之间对应关系的预设关系模型，确定待测介质的折射率，从而实现对待测介质的折射率检测，有利于提高波长调制表面等离激元共振传感效率。
基于表面离激元成像传感方法设备存储介质

[发明专利]流式细胞检测装置、制备方法及系统-CN202011120179.6有效
发明人：刘虹遥;赵阳;路鑫超;王雪;孙旭晴;黄成军 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01N15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种流式细胞检测装置、制备方法及系统，该装置包括：表面等离激元激发芯片，用于在偏振光的照射下激发表面等离激元，包括透明基底，以及基底表面附着的金属膜层；细胞通道，包括流入通道、压缩通道和回收通道，细胞通道与所述芯片的附着有金属膜层的一面键合形成不透水密闭空间。其中，压缩通道的覆盖区域附着有金属膜层。当该装置处于工作状态时，利用溶液搭载的待测细胞从流入通道流入，进入压缩通道，以保持与所述金属膜层接触的状态通过目标检测区域，由回收通道流出。通过该装置能够有效地实现单个待测细胞表面折射率的快速检测。
细胞检测装置制备方法系统

[发明专利]光纤端面传感器及其设计方法和制造方法、光纤传感系统-CN202310062094.4在审
发明人：王思媛;王飞;刘虹遥;路鑫超;黄成军;孙旭晴;姜家宏 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本申请提供一种光纤端面传感器及其设计方法、制造方法、一种光纤传感系统，光纤端面传感器包括：介质层和金属层，介质层为圆台结构，介质层包括顶部和底部，顶部半径小于底部半径，底部和光纤端面直接接触，顶部金属层覆盖介质层的顶部，侧壁金属层围绕介质层的侧壁，侧壁金属层用于辅助激发传输表面等离激元。本申请实施例提供了一种三维圆台结构的光纤端面传感器，圆台结构的介质层直接与光纤端面出射光耦合，并对从介质圆台出射至侧面金属层的光进行波矢调控，具有结构紧凑、传感区域小、空间分辨率高和灵敏度高的优势，圆台结构无需采用超高精度加工技术制备，降低了制造难度和工艺成本，实现制造易于加工且高灵敏度光纤端面传感器的需求。
光纤端面传感器及其设计方法制造传感系统

[发明专利]一种单个纳米颗粒的探测方法及探测装置-CN201910916762.9有效
发明人：刘虹遥;路鑫超;孙旭晴;江丽雯;魏茹雪;王畅 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G01N15/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种单个纳米颗粒探测方法及探测装置，包括：激发表面等离激元驻波；纳米颗粒放置于表面等离激元驻波场；获取探测信号图像；调节表面等离激元驻波波腹位置；调节过程中判断探测信号图像的各个位置是否存在干涉像；若是则存在纳米颗粒；获取纳米颗粒位于波腹位置的图像作为目标信号图像；依据目标信号图像及纳米颗粒的折射率，获取纳米颗粒的尺寸。基于表面等离激元驻波与纳米颗粒相互作用实现单个纳米颗粒的实时探测，可增强局域场分布增加纳米颗粒的散射光强度提高探测灵敏度。折射率较低的介质纳米颗粒散射强度与介质纳米颗粒尺寸成线性关系，可探测到最小介质纳米颗粒直径是传输表面等离激元探测最小纳米颗粒直径的一半。
一种单个纳米颗粒探测方法装置

[发明专利]一种表面等离激元驻波的激发装置-CN201910916516.3有效
发明人：刘虹遥;张朝前;路鑫超;孙旭晴;江丽雯;魏茹雪;王畅 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： G01N21/63 文献下载
摘要：本发明提供了一种表面等离激元驻波的激发装置，该激发装置，以高数值孔径物镜中平行光束产生传输表面等离激元的方式为基础，通过所述相干光调节单元对两束相干光的调节，以使两束相干光对同一区域的金属膜以同角度、不同方向入射光激发相干传输表面等离激元。其与传统的激发方式相比较，该表面等离激元驻波激发装置具有分布范围大、成本低和易控制等优势，在应用方面有明显优势。
一种表面离激元驻波激发装置

[发明专利]表面等离激元共振传感测量方法、装置及系统-CN202011118587.8有效
发明人：王雪;路鑫超;刘虹遥;赵阳;孙旭晴;黄成军 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：本发明公开了一种表面等离激元共振传感测量方法、装置及系统，将偏振激光光束聚焦到镀金属膜透明基底上激发表面等离激元与目标介质发生相互作用，形成的反射光场在成像系统后焦平面位置处的成像，目标介质包含待测样品，在此基础上，通过获取待测样品对应的反射光空间频域图像，若目标介质除了包含待测样品以外，还包含其他介质，则基于反射光空间频域图像，得到待测样品对应的目标反射光空间频域谱，进而基于目标反射光空间频域谱以及预设对应关系，确定待测样品的折射率以及待测样品对应的厚度，有效地实现了目标介质为非均匀折射率的多层介质的情况下，样品折射率以及对应厚度的测量。
表面离激元共振传感测量方法装置系统

[发明专利]一种微纳结构成像方法及装置-CN201910688799.0有效
发明人：魏茹雪;路鑫超;刘虹遥;江丽雯;孙旭晴;王畅 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G01N21/63 文献下载
摘要：本发明涉及一种微纳结构成像方法及装置，属于微纳结构成像技术领域，解决了现有微纳结构成像过程中由于表面等离激元的传输长度导致的图像分辨率降低的问题。一种微纳结构成像方法，包括：将待成像微纳结构样品放置在表面等离激元激发平面上；分别从两个或多个不同的方向入射光源并在所述微纳结构样品位置激发表面等离激元，获得对应的两个或多个微纳结构样品的成像图像；基于所述两个或多个微纳结构样品的成像图像进行图像重建，得到微纳结构样品的成像结果。该方法极大提高的图像分辨率与成像质量。
一种结构成像方法装置

[发明专利]一种针对单个纳米颗粒的检测方法-CN201711099225.7有效
发明人：江丽雯;路鑫超;孙旭晴;刘虹遥;熊伟;谌雅琴;张朝前 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G01N15/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种针对单个纳米颗粒的检测方法，所述检测方法包括如下步骤：在盖玻片上附着单个纳米颗粒；光源发出的光经过扩束整形后，聚焦到油浸物镜的后焦平面；调节入射光在所述油浸物镜的后焦平面上的位置，使入射光斜入射到所述盖玻片上，在所述盖玻片表面产生沿表面传播、强度在竖直方向上呈指数衰减的倏逝波；所述倏逝波遇到所述单个纳米颗粒发生散射，沿所述盖玻片表面传播产生径向界面散射；通过CCD收集所述界面散射的信号和所述盖玻片上的反射光，并通过所述CCD对所述单个纳米颗粒进行成像。本发明成本低、检测性能稳定、检测速度快、灵敏度高、可用于原位与便携式检测、可扩展到病毒检测、大气中纳米污染物等应用中。
一种针对单个纳米颗粒检测方法

[发明专利]一种光学检测系统和光学检测方法-CN201811440899.3有效
发明人： 路鑫超;刘虹遥;陈鲁;杨乐;马砚忠;张朝前;孙旭晴;江丽雯 -专利权人：中国科学院微电子研究所;深圳中科飞测科技有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学检测系统和光学检测方法，孔径限制单元用于对光收集单元出射的第二光的孔径进行限制；空间滤波单元用于在对特定结构进行检测时，进入孔径限制单元的出射光路，对孔径限制单元出射的第二光的孔径进行限制，在不对特定结构进行检测时，移出孔径限制单元的出射光路；测量单元用于根据孔径限制单元出射的第二光，获得待测区域内其他结构的结构信息，根据空间滤波单元出射的第二光，获得待测区域内特定结构的结构信息。本发明通过孔径限制单元和空间滤波单元有效滤除了第二光中的杂散光，实现了高深宽比结构等特定结构的测量。
一种光学检测系统方法

[发明专利]一种用于微流体系统中的对准键合结构的制作方法-CN201610121968.9有效
发明人：王欢;李超波;路鑫超;刘虹遥;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2016-03-03 - 公布日： 2020-07-21 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微流体系统中的对准键合结构的制作方法，该方法利用硬质透光材料对聚合物进行固定，通过硬质透光材料与基底材料的对准和键合，进而实现聚合物与基底材料的对准键合，避免了由于聚合物的材料本身引起的对准键合不精确的问题，提高了键合的对准精度。工艺简单，提高了键合的效率。
一种用于流体系统中的对准结构制作方法

[发明专利]一种光学检测系统及其检测方法-CN201811440783.X有效
发明人：刘虹遥;路鑫超;陈鲁;杨乐;马砚忠;张朝前;孙旭晴;江丽雯 -专利权人：中国科学院微电子研究所;深圳中科飞测科技有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学检测系统及其检测方法，光发射单元发射光线，使光线照射到待测样品上，被待测样品反射形成反射光；光收集单元用于收集反射光，并将反射光分成第一光和第二光；成像单元用于根据第一光获得待测样品的图像以及待测样品的任一待测区域的图像；处理单元用于根据待测样品的图像获取所述待测区域的位置信息和面积信息，根据所述待测区域的图像获取所述待测结构的位置信息和面积信息，根据所述待测区域或所述待测结构的面积信息，调整所述光收集单元的放大倍率，以使所述测量单元的当前检测区域的面积与所述待测区域或所述待测结构的面积相同或近似相同，从而实现了光学检测系统检测区域面积的可调。
一种光学检测系统及其方法

[发明专利]一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置-CN201510276304.5有效
发明人：刘虹遥;路鑫超;陈鲁 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2015-05-26 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置。所述方法包括：在金薄膜上附着所述纳米颗粒；在所述金薄膜表面激发表面等离激元，所述表面等离激元沿金薄膜表面传播，与所述纳米颗粒发生散射；所述表面等离激元散射转化为光信号与反射光一起被位于傅里叶平面的第一光电探测器接收，获得空间频域；根据所述空间频域的能量分布，获得所述纳米颗粒的形貌，解决了现有技术中的检测方法对样品要求严格，扫描时间长，无法快速获得检测结果，需要真空操作，成本高、体积大的技术问题。
一种利用表面离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌方法装置

[发明专利]一种基于FPGA的晶圆检测信号提取方法-CN201610765470.6有效
发明人：陈鲁;刘虹遥;马砚忠;张朝前;杨乐;路鑫超 -专利权人：中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01N21/94 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种基于FPGA的晶圆检测信号提取方法，包括：采集晶圆检测模拟信号，将晶圆检测模拟信号转换为数字信号；按照时序将数字信号中的数据存入缓冲区，直至数据达到指定数目；对缓冲区的数据进行时域处理及频域处理；查找时域信号及频域信号，将时域信号及频域信号合并判断后上传至上位机。本发明提供的基于FPGA的晶圆检测信号提取方法，提高了晶圆检测装置检测的模拟信号的提取效率，对提取的晶圆信号中的数据处理更为稳定、准确以及灵敏。
一种基于 fpga 检测信号提取方法

[发明专利]一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置及系统-CN201610765497.5有效
发明人：陈鲁;马砚忠;刘虹遥;张朝前;杨乐;路鑫超 -专利权人：中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01N21/94 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置，包括：信号采集单元，采集晶圆检测模拟信号，以及将晶圆检测模拟信号转换为数字信号；数据抽取单元，按照时序将数字信号中的数据存入缓冲区；处理单元，取用缓冲区的数据，以及对缓冲区的数据进行时域处理及频域处理；判断单元，查找时域信号及频域信号，将时域信号及频域信号合并判断后上传至上位机。本发明实施例提供的晶圆检测信号提取装置及系统，提高了晶圆检测装置检测的模拟信号的提取效率，对提取的晶圆信号中的数据处理更为稳定、准确。
一种基于 fpga 检测信号提取装置系统

[发明专利]一种运动平台及光路安装调节的装置和方法-CN201610770533.7有效
发明人：陈鲁;张朝前;刘虹遥;杨乐;马砚忠;路鑫超 -专利权人：中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明属于光学技术领域，公开了一种运动平台及光路安装调节的装置和方法，其中，装置包括：基准器件、运动平台、调节件、螺纹副、固定件、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜；方法为：固定基准器件；在基准器件的下方放置运动平台；通过样品台沿旋转轴和直线轴的运动，结合样品台上的特征点在CCD中的成像，以基准点为参照物进行判断，通过调节螺纹副推进调节件，实现对运动平台安装位置的调节；通过样品台沿Z轴方向上下移动，结合入射光束在CCD中的成像，以基准点为参照物进行判断，通过调节反射镜实现对光路进行调节。本发明实现了运动平台及光路安装位置的精细调节。
一种运动平台安装调节装置方法

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