专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有紧密体接触的射频SOI LDMOS器件-CN200810057921.6有效
  • 刘梦新;毕津顺;范雪梅;赵超荣;韩郑生;刘刚 - 中国科学院微电子研究所
  • 2008-02-21 - 2009-08-26 - H01L27/12
  • 本发明涉及射频功率器件领域,公开了一种具有紧密体接触的射频SOI LDMOS器件,包括底层硅、隐埋氧化层、顶层硅、P-区、N-区、栅氧化层、多晶硅栅层、栅多晶硅化物层、栅电极、氮化硅侧墙、N-漂移区、漏区、漏区硅化物层、漏电极、源区、体接触区、体区及源区硅化物层、源电极。本发明将射频LDMOS器件制作于SOI衬底之上,利用与P-区同型的重掺杂区域形成与源区短接的紧密体接触;源/体、漏/体以及栅与各自电极间利用硅化物互联;采用多根栅条叉指形式并联以增大器件驱动能力;设计与CMOS工艺兼容的调正、背栅注入、N-区注入以及N-漂移区注入方法;设计与CMOS工艺兼容的N-漂移区硅化物掩蔽方法。
  • 具有紧密接触射频soildmos器件
  • [发明专利]具有H型栅的射频SOI LDMOS器件-CN200810057936.2有效
  • 刘梦新;毕津顺;范雪梅;赵超荣;韩郑生;刘刚 - 中国科学院微电子研究所
  • 2008-02-21 - 2009-08-26 - H01L27/12
  • 本发明涉及射频功率器件领域,公开了一种具有H型栅的射频SOI LDMOS器件,包括底层硅、隐埋氧化层、顶层硅、P-区、N-区、H型栅氧化层、H型多晶硅栅层、H型栅多晶硅化物层、栅电极、氮化硅侧墙、N-漂移区、漏区、漏区硅化物层、漏电极、源区、体引出区、源区硅化物层、源电极。本发明将射频LDMOS器件制作于SOI衬底之上,利用与P-区同型的重掺杂区域形成与源区短接的体引出;源/体、漏/体以及栅与各自电极间利用硅化物互联;采用多根H型栅条叉指形式并联以增大器件驱动能力。同时公开了与CMOS工艺兼容的调正、背栅注入、N-区注入以及N-漂移区注入方法,以及与CMOS工艺兼容的N-漂移区硅化物掩蔽方法。
  • 具有射频soildmos器件
  • [发明专利]基于绝缘体上硅的双探头PMOS辐射剂量计-CN200710179354.7有效
  • 刘梦新;韩郑生;赵超荣;刘刚 - 中国科学院微电子研究所
  • 2007-12-12 - 2009-06-17 - G01T1/02
  • 本发明涉及电离辐射剂量测量领域,公开了一种基于SOI技术的可重复利用PMOS辐射剂量计,包括背栅电极、多晶硅化物层、半导体衬底、隐埋氧化层、顶层硅膜、体接触区、源区、漏区、源电极、漏电极、正栅氧化层、正栅多晶硅层和正栅电极。本发明将剂量计制作于SOI衬底之上,具有两种测量不同剂量率的电极探头;采用不同方式的正、背栅调栅注入以调节探头测量范围;利用与顶层硅膜同型的重掺杂区域形成与源区短接的体接触;源/体、漏/体以及正、背栅与各自电极间利用多晶硅化物互联;正栅采用多根栅条叉指形式并联以增大探头敏感区域;剂量计退火过程控制及偏置条件、退火温度和时间调节;可调整量程的堆叠剂量计测量电路的方法及结构。
  • 基于绝缘体探头pmos辐射剂量计

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