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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[其他]基板处理装置-CN201890000816.6有效
发明人： 赵康一 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2018-02-05 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基板处理装置，对被处理基板进行药液涂覆工艺的基板处理装置包括：基板支撑部，其支撑基板；药液涂覆单元，其将药液涂覆于基板；预干燥单元，其在基板支撑于基板支撑部的状态下，对药液进行预干燥，由此，可获得防止药液流出、形成均匀的厚度的药液涂覆膜的效果。
处理装置

[实用新型]基板处理装置-CN201820588076.4有效
发明人： 赵康一 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基板处理装置，基板处理装置进行对被处理基板涂覆药液的工艺，其包括：筒罐，其用于存储药液；搅拌器，其获得筒罐供给的药液并对该药液进行搅拌，排除(degassing)药液中所含有的气体；加热部，在搅拌药液的过程中将药液的粘度调节到规定的粘度范围，据此可获得如下有利效果：提高药液中所含有的气体的去除效率，缩短搅拌时间。
基板处理装置筒罐被处理基板本实用新型粘度调节加热部搅拌器去除涂覆存储

[实用新型]基板处理装置-CN201820610174.3有效
发明人： 赵康一 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基板处理装置，其进行针对被处理基板的药液涂覆工艺，其包括：药液处理单元，其按照规定的工艺顺序处理药液；加热单元，其在药液通过药液处理单元被处理的过程中将药液加热至规定范围的温度，据此，可以获得提高药液的处理效率以及提高药液中所含有的气体的去除效率的有利效果。
基板处理装置药液处理单元被处理基板本实用新型处理效率加热单元顺序处理药液加热药液涂去除

[实用新型]基板处理装置及用于其的过滤单元-CN201820709893.0有效
发明人： 赵康一 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基板处理装置及用于其的过滤单元，基板处理装置包括：药液处理单元，其按照规定的工艺顺序处理药液；过滤单元，其包括过滤器外壳、过滤膜和加热器，过滤器外壳设置于通过药液处理单元处理的药液的移动路径上，过滤膜对供给到过滤器外壳的药液进行过滤，加热器对药液进行加热，可以获得如下效果：缩短对用于供给药液的设备及路线进行稳定化时所需要的时间，并且提高效率。
基板处理装置过滤器外壳过滤单元药液处理单元加热器过滤膜本实用新型供给药液顺序处理移动路径稳定化加热过滤

[实用新型]双腔狭缝喷嘴-CN201721847610.0有效
发明人： 赵康一 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本实用新型的目的在于提供一种双腔狭缝喷嘴，其使得药液所包含的气泡顺畅地排出到外部，从而提高药液的涂布质量，同时可以提高涂布于基板表面的药液涂布膜的均匀度。用于实现所述目的的本实用新型包括：第一空腔，其与药液流入的流入流路相连接，并被药液一次填充；连接流路，其与所述第一空腔的下流相连接；以及第二空腔，其形成于所述连接流路和将药液喷射于基板表面的排出流路之间，并被药液二次填充。
本实用新型第一空腔基板表面连接流路狭缝喷嘴双腔填充第二空腔流入流路排出流路药液喷射药液涂布均匀度地排外部

[实用新型]一种基板处理装置-CN201721874620.3有效
发明人： 赵康一 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基板处理装置，其包括：收容缓冲器，其收容向被处理基板的表面供给的药液；药液移送泵，其依靠重力通过从所述缓冲器延长的第一配管得到药液的供给，从而供给药液，并且位于所述收容缓冲器的下侧，从而提供如下一种基板处理装置，利用药液的位能从收容缓冲器向药液移送泵供给药液，据此，防止因用气体来加压而以在药液内产生气泡的状态进行涂覆，从而提高基板的涂覆质量。
缓冲器基板处理装置收容供给药液移送泵涂覆被处理基板本实用新型基板配管加压

[实用新型]基板处理装置及基板载体-CN201720990269.8有效
发明人： 赵康一 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及基板处理装置及基板载体，基板处理装置包括：涂覆处理部，其进行对基板的药液涂覆工序；基板载体，其在涂覆处理部沿着预先设定的涂覆处理路径对基板进行处理期间，平整地支撑基板。由此，能够获得抑制基板弯曲、形成厚度均匀的药液涂覆膜的有利效果。
处理装置载体

[实用新型]预涂单元及包括此的药液喷嘴管理装置-CN201720106086.5有效
发明人： 赵康一 -专利权人： K.C.科技股份有限公司
申请日： 2017-01-26 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： B05B15/00 文献下载
摘要：本实用新型的目的在于提供一种如下的预涂单元及包括此的药液喷嘴管理装置配备将重量减轻并防止下垂而提高直线度和圆度的预涂辊。为了实现此，本实用新型的预涂单元具备使药液从药液喷嘴预排出的预涂辊，所述预涂辊由辊部以及结合于所述辊部的两侧的轴部形成，且所述辊部和所述轴部被单独地制造而彼此结合。
单元包括药液喷嘴管理装置

[实用新型]基板加热干燥装置-CN201720017960.8有效
发明人： 赵康一 -专利权人： K.C.科技股份有限公司
申请日： 2017-01-06 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型的目的在于提供一种如下的基板加热干燥装置，在将药液涂覆在基板之后将其干燥的过程中，从根源上去除基板上的斑点的生成，从而能够防止工艺不良。为实现此，本实用新型的基板加热干燥装置的特征在于，包括腔室，在真空氛围下实现针对涂覆有药液的基板的干燥；加热板，配备于所述腔室内，而且在内部具有提供用于所述基板的干燥的热源的加热单元，其中，所述基板的干燥在所述基板与加热板接触的状态下执行，在所述加热板的表面形成有用于防止在所述加热板与所述基板接触时产生静电的防静电涂层。
加热干燥装置

[实用新型]狭缝喷嘴的喷嘴间隙测量装置-CN201621125888.2有效
发明人： 赵康一 -专利权人： K.C.科技股份有限公司
申请日： 2016-10-14 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：本实用新型的目的在于公开一种如下的狭缝喷嘴的喷嘴间隙测量装置，在排出口的端部凝结有药液的情况下，也能够确认喷嘴间隙的变化量并调节喷嘴间隙。为此，本实用新型的狭缝喷嘴的喷嘴间隙测量装置为形成有用于在被处理基板的表面涂覆药液的排出口的狭缝喷嘴的喷嘴间隙测量装置，其中包括喷嘴间隙调节单元，用于调节所述排出口的喷嘴间隙(gap)；喷嘴间隙测量单元，用于测量被所述喷嘴间隙调节单元调节的所述喷嘴间隙的变化量。
狭缝喷嘴间隙测量装置

[实用新型]药液除气装置-CN201720018001.8有效
发明人： 赵康一 -专利权人： K.C.科技股份有限公司
申请日： 2017-01-06 - 公布日： 2017-10-03 - 主分类号： B01D19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开如下的药液除气装置能够将高粘度药液内包含的气泡有效地分离而去除，从而预防工艺不良，并且在移送高粘度药液时，能够减少压差的产生，据此可以使药液被顺利地移送而被供应。为了实现上述目的，本实用新型包括除气膜，具有能够使被包含于药液的气体通过的大小的孔隙，并且在内部被施加真空；腔室，收纳所述除气膜而使除气对象药液被供应到所述除气膜的外部，并且构成为将被包含于所述腔室内的药液中的气体从所述除气膜的外表面吸入到所述除气膜的内部而进行除气处理。
药液装置

[实用新型]狭缝式涂布装置及该装置用基板异物检测用异物感测装置-CN201620712900.3有效
发明人： 赵康一 -专利权人： K.C.科技股份有限公司
申请日： 2016-07-07 - 公布日： 2016-12-28 - 主分类号： B05B1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种狭缝式涂布装置及该装置用基板异物检测用异物感测装置。本实用新型的异物感测装置可以被安装到狭缝式涂布装置，有效地感测贴附于基板的上部或下部表面的异物，从而防止狭缝式喷嘴肋部由于碰撞而被破损或受损。为此，异物感测装置具备：传感器板，从狭缝式喷嘴隔离而与狭缝式喷嘴平行地布置于涂布进行方向的前侧；传感器，配备于传感器板上，根据涂布的进行而感测与位于基板的上部或下部的异物的碰撞。作为传感器，例如，优选地使用用于感测发生在传感器板的应力的应变仪等。
狭缝式涂布装置用基板异物检测

[实用新型]基板涂布装置-CN201521034371.8有效
发明人： 赵康一 -专利权人： K.C.科技股份有限公司
申请日： 2015-12-14 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基板涂布装置。根据本实用新型的基板涂布装置，包括：狭缝形状的狭缝喷嘴，排出待涂布到基板上的药液；以及负压模块，以涂布进行方向为基准，位于所述狭缝喷嘴的肋前方，并且在所述狭缝喷嘴的喷出口前方形成负压空间。负压模块通过在所述狭缝喷嘴的喷出口前方形成负压空间，向前方牵拉从狭缝喷嘴的喷出口排出的药液，从而在喷出口下方形成半月形状而使涂布顺利地进行。负压模块包括：吸入部，形成上方封闭并且下方向着所述负压空间开放的内部空间部；以及吸入泵，连接于形成在所述吸入部的上方的排出口。吸入部通过吸入所述负压空间的空气来形成负压。
基板涂布装置

[发明专利]喷嘴清洗装置及清洗方法-CN200810131348.9有效
发明人： 赵康一 -专利权人： K.C.科技股份有限公司
申请日： 2008-08-06 - 公布日： 2009-02-11 - 主分类号： B05B15/02 文献下载
摘要：本发明公开一种喷嘴清洗装置及清洗方法。所述喷嘴清洗装置包含：中间隔着狭缝喷嘴而相面对布置的一对清洗块，该清洗块具有对应于狭缝喷嘴宽度方向尺寸的长度；移动部件，以用于使相面对布置的所述一对清洗块朝相互接触或隔离的方向进退移动。本发明不仅对向基板上喷射药液的狭缝喷嘴具有清洗功能，而且同时起到在长期不使用狭缝喷嘴时防止狭缝喷嘴的喷口露在外部的密封部件的作用。
喷嘴清洗装置方法

[发明专利]狭缝式涂布机的高粘度涂布液涂布装置及其涂布方法-CN200810092881.9有效
发明人： 赵康一 -专利权人： K.C.科技股份有限公司
申请日： 2008-05-07 - 公布日： 2008-11-12 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明涉及狭缝式涂布机的高粘度涂布液涂布装置及其涂布方法。所述涂布装置包括：涂布液储藏罐；泵，用于将所述涂布液储藏罐里的涂布液通过供给管路压送至喷嘴侧；控制部，用于控制所述泵及喷嘴的工作；以及压力检测部，用于检测所述供给管路的压力而传送至所述控制部，从而当达到预定压力条件时喷嘴排出涂布液。本发明在狭缝式涂布机的涂布液涂布工作开始之前，启动泵而在供给管路内部形成大于等于预定压力的排出压力，从而在使用高粘度涂布液进行涂布作业时，在喷嘴开放及启动的同时使涂布液排出而能够得到均匀品质的涂层表面。
狭缝式涂布机粘度涂布液涂布装置及其方法

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