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[发明专利]一种大型真空机械手-CN202310713926.4有效
发明人： 赵崇凌;王启佳;张学锋;李治;王忠旭;王勇;毕永生;佟雷 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明涉及真空腔体交接技术领域，特别涉及一种大型真空机械手。包括水平传动机构、支撑翘动机构、固定组件、翘动腔体及传递杆组件，其中翘动腔体活动安装在固定组件上，支撑翘动机构设置于固定组件上，且与翘动腔体连接，支撑翘动机构用于支撑及驱动翘动腔体上下摆动；传递杆组件贯穿翘动腔体且能够沿轴向移动；水平传动机构设置于固定组件上且与传递杆组件传动连接，水平传动机构用于驱动传递杆组件伸缩。本发明原理简单，运动稳定可靠，传递行程可调，可交接大行程，大负载样品，在低、高真空环境都可以使用，应用范围广。
一种大型真空机械手

[发明专利]一种真空机械手-CN202310713929.8有效
发明人：王启佳;赵崇凌;张学锋;李治;林秀清;王勇;吕良;佟雷 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明涉及真空腔体交接技术领域，特别涉及一种真空机械手。包括交接叉组件、曲柄连杆滑块机构、机械手底座及驱动装置，其中曲柄连杆滑块机构和驱动装置分别设置于机械手底座的两端，交接叉组件与曲柄连杆滑块机构连接，驱动装置通过机械手底座和曲柄连杆滑块机构驱动交接叉组件绕机械手底座的轴线旋转同时能够伸缩。本发明可以在各种真空环境下，完成对样品的360°的旋转传输，传输稳定、可靠，可以满足不同交接距离，不同质量样品的真空传输。
一种真空机械手

[实用新型]一种钛升华泵用的常温冷阱结构-CN202320281647.0有效
发明人：张颖志;王启佳;袁方;赵崇凌 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型属于钛升华泵领域，具体地说是一种钛升华泵用的常温冷阱结构，包括大法兰焊件、小法兰焊件、冷阱筒焊件、挡板焊件及波浪板焊件，冷阱筒焊件的一端与大法兰焊件的一端相连，大法兰焊件的另一端连接真空腔室，冷阱筒焊件的另一端与小法兰焊件的一端相连，小法兰焊件的另一端连接钛升华器；大法兰焊件与冷阱筒焊件的连接处设有挡板焊件，挡板焊件可拆卸地安装于冷阱筒焊件内部，挡板焊件阻挡钛升华器升华的钛溢出到真空腔室内；波浪板焊件容置于冷阱筒焊件内，波浪板焊件具有增加吸附钛蒸汽表面积的多个波浪。本实用新型的波浪圆板使钛升华器的吸附表面积增加了4～6倍，提高了钛升华器的升华速率；挡板焊件避免污染真空腔室，且易于拆卸清洗。
一种升华常温结构

[发明专利]一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置-CN202310275134.3在审
发明人：叶琳琳;赵崇凌;汪良;袁方;佟雷 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本发明涉及极高真空离子泵异常打火放电检测领域，具体来说是一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置，包括异常放电信号获取单元、异常放电信号调理单元、异常放电信号截取单元及异常放电信号处理与显示单元。本发明能够检测极高真空离子泵内异常打火放电情况，并根据离子泵内异常放电情况进行统计分析与自启动防护策略，从而可以起到保护离子泵与离子泵控制仪的作用。
一种新型极高真空离子异常放电检测抑制装置

[发明专利]一种低温杜瓦瓶及其使用方法-CN202310172268.2在审
发明人：张学良;赵崇凌;袁方;王启佳 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F17C3/04 文献下载
摘要：本发明属于液氮存储及低温传导领域，具体地说是一种低温杜瓦瓶及其使用方法，内腔室安装于外腔室内部，内腔室与外腔室之间为用于内腔室与外界隔热的真空夹层；内腔室设有穿出外腔室外部的液氮管路管道，液氮管路管道的一端与内腔室的内部相连通、另一端设有冷却铜头，向内腔室灌装液氮的液氮管路的一端与外部液氮存储罐相连，另一端伸入内腔室内部，并伸至冷却铜头处；液氮管路管道上套设有真空腔对接法兰，真空腔对接法兰的一端位于外腔室外部、并连接于真空腔室上，另一端伸入外腔室的内部，真空腔对接法兰与内腔室及外腔室的固接点相互远离。本发明实现了将液氮的低温传导至真空腔室内部，安装简单，使用方便且稳定性高。
一种低温杜瓦瓶及其使用方法

[发明专利]一种具有自动调焦功能的差分高能电子衍射系统及方法-CN202010939036.1有效
发明人： 赵崇凌;张宁;袁方 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2020-09-09 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01N23/20058 文献下载
摘要：本发明涉及电路技术领域，具体说是一种具有自动调焦功能的差分高能电子衍射系统及方法。包括PC机、高能电源箱、以及安装在真空腔室腔壁上的高能电子枪、荧光屏、样品台和CCD相机；PC机输出端与高能电源箱连接，输入端与CCD相机连接，接收CCD相机采集在荧光屏上的衍射图像，并得到控制输入电压传输至高能电源箱，实时接收高能电子枪的控制输出电压；高能电源箱接收的控制输入电压对高能电子枪进行调整聚焦；高能电子枪接收到高能电源箱传输的调整的控制输出电压，并发送电子束至样品台上；本发明将采集的图像数据作为控制输入、通过获取控制电压输出、形成闭环控制，自动调节衍射图像的质量，避免了手动调节带来的误差，并降低了设备操作的复杂性。
一种具有自动调焦功能高能电子衍射系统方法

[发明专利]一种新型极高真空离子泵的离子流高精测量装置与方法-CN202310275137.7在审
发明人：叶琳琳;赵崇凌;汪良;袁方;佟雷;郭东民 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本发明属于极高真空离子泵领域，具体说是一种新型极高真空离子泵的离子流高精测量装置与方法。所述装置包括：信号采集单元，用于采集离子泵内离子流信号；信号处理单元，用于对采样到的信号进行提取与放大；信号转换单元，用于对处理后的信号进行模数转换；数据处理与显示单元，用于对转换后的信号进行处理与显示。本发明可以准确测量离子泵内离子流大小，并能够根据离子流大小准确反映离子泵内部真空度，从而可以替代真空计，非常适用于超高真空或极高真空系统。
一种新型极高真空离子流高精测量装置方法

[发明专利]一种钛升华器用陶封电极结构-CN202310149330.6在审
发明人：张颖志;赵崇凌;袁方;佟雷 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B01D7/00 文献下载
摘要：本发明属于钛升华器领域，具体地说是一种钛升华器用陶封电极结构，包括导向管、密封法兰、盖帽、三根钛钼丝的导通极及一根公共极，三根钛钼丝的导通极及一根公共极沿盖帽的周向布置，并分别与盖帽固接，盖帽固接于密封法兰的内部，导向管与密封法兰的一侧固接；钛钼丝的导通极包括钛丝支杆、上封帽、陶瓷管及下封帽，陶瓷管的两侧分别与上、下封帽连接，下封帽固定在盖帽内，钛丝支杆由上封帽、陶瓷管及下封帽穿过，并与上封帽固接；公共级包括地级封帽及地级支杆，地级封帽固定在盖帽内，地级支杆由地级封帽穿过，并与地级封帽固接。本发明可以释放因钛钼丝发热引起的地级支杆和钛丝支杆变形，避免因钛升华器接头变形而与电源线缆产生接触不良。
一种升华器用电极结构

[发明专利]一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统-CN202310275136.2在审
发明人：杜向辉;佟雷;叶琳琳;汪良;袁方;赵崇凌 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本发明涉及极高真空离子泵领域，具体来说该发明是一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统。主要包括离子泵电源的开关机冲击测试、离子泵电源老化动态数据捕捉及记录、离子泵抽速测试动态数据捕捉、计算及记录、离子泵电源多元化通讯检测。其用法将该装置与测试或老化中的离子泵电源用通讯方式连接，打开对应界面(开关机冲击需设置运行参数)即可开始测试；测试后，将U盘插入该装置中，即可导出测试过程中的所有数据，以及测试分析结果包括：离子泵电源电流、电压、真空度、离子泵抽速等。本发明的优势在于测试数据的动态捕捉、自由设置测试参数、数据存储提高了数据记录质量且安装简单，使用方便。
一种新型适用于极高真空离子智能测试系统

[发明专利]一种柔性连杆-CN202310172265.9在审
发明人：张学良;佟雷;袁方;赵崇凌 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： F16H21/44 文献下载
摘要：本发明属于真空运动导入领域，具体地说是一种柔性连杆，用于将真空腔室外驱动部件的动力导入到真空腔室内，为真空腔室内的连杆机构提供动力；柔性连杆包括上连接块、滑套、弹性件及下滑杆，上连接块、滑套及弹簧均位于真空腔室内，上连接块的一端与连杆机构铰接，下滑杆的一端与上连接块的另一端相连，下滑杆的另一端由真空腔室壁穿出、并与真空腔室外的驱动部件相连；滑套套设于下滑杆上，并卡接于上连接块上，下滑杆可相对上连接块及滑套滑动，滑套与真空腔室壁之间的下滑杆上设有使上连接块及滑套复位的弹性件。本发明的整体结构都是柔性的，不会产生过度冲击；另外，整体结构的连接部分都是活的，可以保护如气缸、电机等驱动部件不受损坏。
一种柔性连杆

[发明专利]一种用于高温超导材料缓冲层的连续制备装置-CN202210817503.2有效
发明人：杨晨;张学锋;王启佳;佟雷;赵崇凌 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明属于真空镀膜技术领域，具体地说是一种用于高温超导材料缓冲层的连续制备装置，包括依次连续设置的清洗室、干燥室、过渡腔室、镀膜室及冷却室，清洗室与干燥室之间设有进样门，干燥室与过渡腔室之间设有密封门A，过渡腔室与镀膜室之间设有密封门B，镀膜室与冷却室之间设有密封门C，冷却室设有取样门。本发明采用了一体式镀膜室结构，清洗室、干燥室、过渡腔室、镀膜室、冷却室分别分开且依次相连通；在干燥室、过渡腔室和镀膜室中设置分别输送部件，在清洗室、冷却室和镀膜室的内壁设置分别机械手，使输送部件和机械手配合使用进行样片输送，从而便于进行机械自动化作业，提高生产效率。
一种用于高温超导材料缓冲连续制备装置

[实用新型]一种防止低温泵泄压阀反向泄露的密封装置-CN202223497599.3有效
发明人：张学锋;王勇;毕永生;佟雷;王启佳;赵崇凌;雷震霖 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： F16J15/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及低温泵的密封装置，具体地说是一种防止低温泵泄压阀反向泄露的密封装置，包括密封帽、密封垫及紧固件，其中密封帽通过所述紧固件安装于低温泵泄压阀处，所述密封帽完全覆盖住泄压阀；所述密封帽具有密封面，所述密封帽的密封面尺寸与所覆盖的泄压阀密封面尺寸相匹配。通过在低温泵的泄压阀上使用本实用新型的密封装置，可以有效防止低温泵抽气过程中气体从泄压阀反向泄漏进泵体及真空系统，从而大幅提高低温泵及真空系统的真空度及真空洁净度；且本实用新型成本低、结构简单、可在线拆装、显著延长低温泵的维护周期、不影响泄压阀的功能和使用。
一种防止低温泵泄压阀反向泄露密封装置

[发明专利]一种真空垂直交接样品传输系统-CN202111182276.2有效
发明人：李治;张学锋;赵崇凌;白雪;李大辉;毕永生;张学全;王启佳 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2021-10-11 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本发明属于真空设备领域，具体地说是一种真空垂直交接样品传输系统，包括真空室主体、升降组件、交接组件、样品库框架及转动盘组件，其中交接组件包括交接块及交接座。升降组件用于控制样品库框架升降，转动盘组件可带动样品库框架旋转。本发明通过磁力转轴、转动销、万向节及设有定位钉的转动盘的配合设置，可方便定位及带动样品库框架进行旋转；通过固定台、轴承及转动盘的配合设置，可使转动盘保持稳定转动。本发明通过升降组件、交接组件、样品库框架及转动盘组件的配合设置，可使样品库框架在真空室主体内腔中稳定高效升降交接，适用于不同真空环境，结构简单，使用可靠。
一种真空垂直交接样品传输系统

[实用新型]一种适用于分子束源炉的坩埚组件-CN202222169559.X有效
发明人：张晓宇;王启佳;李士军;张雪;杨猛;雷震霖;赵崇凌 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型属于高真空分子束源炉工艺领域，具体地说是一种适用于分子束源炉的坩埚组件，包括坩埚主体及坩埚盖，坩埚主体的顶端开口且底端封闭，坩埚盖设置于坩埚主体的内腔中部，坩埚盖上开设有源料通过孔。坩埚主体的内腔中部设有阶梯面，坩埚盖放置于阶梯面上。本实用新型通过在坩埚主体的内腔中添加可活动装卸的坩埚盖，使坩埚盖位于坩埚主体的内腔，即处于热场范围内，可避免出现源料蒸镀过程中遇冷凝结这一现象，整体束流稳定，并且可以通过膜厚仪显示及调节热场温度可精准控制束流，保证了测试结果的稳定性和准确性，并杜绝了大部分的源料浪费。
一种适用于分子束源炉坩埚组件

[实用新型]一种模块化多功能工业控制器-CN202221109311.8有效
发明人：李驰;解晓宇;王启佳;赵崇凌;雷震霖 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H05K7/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种模块化多功能工业控制器，其中壳体前端设有前面板、后端设有后面板，壳体内部设有双向背板组件，所述双向背板组件包括主控板、前背板和后背板，且前背板设于主控板前侧，后背板设于主控板后侧，前背板和后背板上均设有分接口，前板卡组件包括多个前板卡，且前板卡前端固定于前面板上、后端插入至壳体内并分别与前背板上对应的分接口插接，后板卡组件包括多个后板卡，且后板卡后端固定于后面板上、前端插入至壳体内并分别与后背板上对应的分接口插接，各个前板卡分别组合成不同的前模块，各个后板卡分别组合成不同的后模块。本实用新型提高了硬件控制系统的搭建速度，方便管理和技术升级，可快速定位故障位置，方便维修。
一种模块化多功能工业控制器

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