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[发明专利]石墨烯-碳纳米管FET器件的加工方法-CN201810877768.5有效
发明人：解双喜;秦莉莉;王亚锋;贠革鑫;孔振威;李光喜;陈凡;曹森鹏;赵志敏;代克杰 -专利权人：平顶山学院
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H01L29/40 文献下载
摘要：石墨烯‑碳纳米管FET器件的加工方法，包括以下步骤，（1）、将石墨烯片装配到切割加工系统上；（2）、对切割加工系统设定切割作用力、切割速度和切割路径；（3）、将石墨烯片切割加工为石墨烯纳米带；（4）、加工出石墨烯纳米电极；（5）、建立单壁碳纳米管在非均匀电场中的受力模型；（6）、滴定单壁碳纳米管溶液到石墨烯纳米电极切断后的纳米间隙处。本发明加工方法精度高、鲁棒性强、操作简单、灵活、成本低廉。本发明加工的具有纳米间隙的石墨烯纳米电极可以作为探针用于纳米点电特性测试，以及微环境中生物分子的检测，具有更高的灵敏度，为构建体积更小、性能更高的微纳电子设备提供了新的途径。
石墨纳米 fet 器件加工方法

[实用新型]石墨烯纳米电极加工装置-CN201821245940.7有效
发明人：解双喜;秦莉莉;王亚锋;贠革鑫;孔振威;李光喜;陈凡;曹森鹏;赵志敏;代克杰 -专利权人：平顶山学院
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：石墨烯纳米电极加工装置，包括驱动器、转接装置、探针安装夹、探针组件、XY向纳米移动平台和AFM控制器；AFM控制器通过控制线分别与驱动器和XY向纳米移动平台连接，驱动器通过转接装置与探针安装夹连接，探针组件安装在探针安装夹上，XY向纳米移动平台上可拆卸连接有硅基芯片；硅基芯片包括二氧化硅层、硅掺杂层和一对金电极，旋涂有PMMA的待加工的石墨烯片平铺装配到一对金电极上。本实用新型通过控制AFM垂直偏转信号以及加工速度，结合AFM的精确定位功能，按照事先规划好的加工路径，实现具有纳米间隙的石墨烯纳米级电极加工。本实用新型加工精度高、鲁棒性强、操作简单、灵活、成本低廉。
驱动器纳米移动平台探针安装石墨烯本实用新型硅基芯片加工装置纳米电极探针组件转接装置控制器金电极加工垂直偏转信号精确定位功能二氧化硅层可拆卸连接电极加工加工路径纳米间隙石墨烯片硅掺杂控制线鲁棒性纳米级平铺旋涂装配灵活规划