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- [发明专利]光学喷墨打印装置及其喷射方法-CN202310652802.X在审
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谭新峰;郭丹;雒建斌
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清华大学
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2023-06-02
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2023-09-29
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B41J3/407
- 本申请涉及一种光学喷墨打印装置及其喷射方法。该光学喷墨打印装置包括：激光器，用于输出可调制激光；光学系统，沿光路传播方向位于可调制激光器的输出端，用于将可调制激光分束成平行的激光束；微透镜阵列，沿光路传播方向设置于光学系统的输出端；以及喷墨组件，包括多个振动板以及多个墨水腔室，每一振动板设置于墨水腔室对应微透镜阵列的表面，墨水腔室中盛放墨水；可调制激光经光学系统分束成平行的激光束后，通过微透镜阵列聚焦、整形后射入喷墨组件，以激发振动板，使振动板挤压墨水腔室中的墨水形成微液滴喷射。通过非接触的方式控制振动板产生位移进行挤压，避免振动板产生损伤，保证使用性能，提高显示屏的加工效率和产能。
- 光学喷墨打印装置及其喷射方法
- [发明专利]形貌测量方法及微纳结构测量系统-CN202310534550.0在审
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谭新峰;熊俊杰;郭丹;雒建斌
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清华大学
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2023-05-12
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2023-09-05
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G01B17/06
- 本申请涉及一种形貌测量方法及微纳结构测量系统。该方法包括：向音叉探针输入激振信号，以激励该音叉探针在第一方向上发生振动与待测的目标样品进行作用，该音叉探针包括相互连接的音叉状的石英晶振和探针，该目标样品具有微纳结构，获取该音叉探针在与该目标样品进行作用前后的振动偏差信息，根据该振动偏差信息确定该目标样品中第一表面区域的当前的测量点的形貌信息，并根据该振动偏差信息生成控制信号，基于该控制信号控制该目标样品移动，以对该目标样品中第一表面区域的下一测量点的形貌信息进行测量，直至对该目标样品中第一表面区域的各测量点的形貌信息均完成测量为止。采用本申请提供的形貌测量方法可以有效的提升测量任务的工作效率。
- 形貌测量方法结构测量系统
- [发明专利]测量方法、装置、计算机设备和存储介质-CN202310447015.1在审
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熊俊杰;谭新峰;郭丹;雒建斌
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清华大学
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2023-04-24
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2023-09-01
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G01B11/24
- 本申请涉及一种测量方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：在待测对象的当前测量点，检测到目标探针在目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取第一振幅对应的第一位移控制信号，根据第一位移控制信号，绘制待测对象在当前测量点对应的结构图；控制目标探针沿着垂直于目标方向的方向移动到待测对象的下一测量点，跳转至检测到目标探针在目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取第一振幅对应的第一位移控制信号的步骤，直至待测对象全部测量点均完成结构图绘制为止，得到待测对象的目标结构图，目标结构图包括底面结构图和侧壁结构图。采用本方法能够提高测量效率。
- 测量方法装置计算机设备存储介质
- [发明专利]真空扫描探针显微镜-CN202310434932.6在审
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熊俊杰;谭新峰;郭丹;雒建斌
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清华大学
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2023-04-21
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2023-08-29
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G01Q60/00
- 本申请涉及一种真空扫描探针显微镜，包括镜体，所述镜体包括：探针、样品台、镜体顶板、底座、多个圆柱凹台、多个水平驱动装置，其中，所述样品台用于放置样品；所述探针设置在所述镜体顶板靠近所述样品台的一侧；所述多个圆柱凹台放置在所述镜体顶板与所述底座之间，以将所述探针和所述样品台分隔开，光学成像系统发出的光束透过所述镜体顶板垂直聚焦于所述探针和所述样品台；所述多个水平驱动装置设置于所述底座上，所述多个水平驱动装置呈圆周阵列分布，用于驱动所述样品台移动。采用本申请能够准确地寻找到样品的特定区域，提高探测效率。
- 真空扫描探针显微镜
- [发明专利]石英晶振传感器-CN202310347525.1在审
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熊俊杰;谭新峰;郭丹;雒建斌
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清华大学
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2023-04-03
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2023-08-15
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G01H11/08
- 本申请涉及一种石英晶振传感器。所述石英晶振传感器包括振动激励装置、石英晶振装置和检测电路，其中，振动激励装置用于在激励信号的激励下，产生横向振动和法向振动；石英晶振装置包括第一电极、第二电极、晶片和探针，探针用于在振动激励装置的带动下进行横向振动和法向振动，并在横向振动和法向振动的过程中接触待测对象以产生横向力和法向力，第一电极用于在晶片在横向力的作用下产生形变时输出第一电信号，第二电极用于在晶片在法向力的作用下产生形变时输出第二电信号；检测电路用于根据第一电信号和第二电信号输出对横向力和法向力的检测信号。本申请中的石英晶振传感器能够测量多个维度的振动模态信号，适用于多场景。
- 石英传感器
- [发明专利]压电式位移装置及原子力显微镜-CN202010186992.7有效
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马骁;谭新峰;郭丹;雒建斌
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清华大学
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2020-03-17
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2022-01-28
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G01Q60/38
- 本发明涉及一种压电式位移装置，包括基体、第一位移台和第一限位组件。第一位移台沿第一方向活动设置于基体。第一限位组件设置于基体和第一位移台之间，第一限位组件沿与第一方向垂直的方向压紧第一位移台，第一限位组件用于保持第一位移台沿第一方向运动。本发明还涉及一种包括上述压电式位移装置的原子力显微镜。上述压电式位移装置及原子力显微镜，第一位移台能够相对于所述基体沿第一方向移动，并且通过第一限位组件对第一位移台沿与第一方向垂直的方向压紧第一位移台，第一限位组件避免了第一位移台在正常运动过程中产生其他方向的运动，进而实现了第一位移台带动探针或光电位置转换器的高精度、高直线性、高可重复性的位移。
- 压电位移装置原子显微镜
- [发明专利]压紧机构、压电驱动电机以及原子力显微镜-CN202010180316.9有效
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马骁;谭新峰;郭丹;雒建斌
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清华大学
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2020-03-16
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2021-07-13
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H02N2/00
- 本发明涉及一种压紧机构，包括压紧底板、压紧件以及固定件。压紧底板能够与压电驱动电机的基体固定连接。压紧件可转动的设置于压紧底板，压紧件沿自身转轴方向与压紧底板相对固定，压紧件沿自身转轴方向具有第一压紧端。固定件沿自身延伸方向具有第一固定端和第二固定端，第二固定端能够与压电堆垛固定连接，第一固定端与压紧件的第一压紧端螺纹连接。压紧件相对于压紧底板转动时，固定件沿自身延伸方向靠近或者远离压紧底板。本发明还提供一种包括上述压紧机构的压电驱动电机以及原子力显微镜。上述压紧机构、压电驱动电机以及原子力显微镜，可以保证施加合适的预紧力，也可以在中心棱柱运动过程中保持整个压紧机构的固定，具有更高的稳定性。
- 压紧机构压电驱动电机以及原子显微镜
- [发明专利]真空原子力显微镜的耦合系统及真空原子力显微镜-CN202010279061.1有效
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马骁;谭新峰;郭丹;雒建斌
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清华大学
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2020-04-10
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2021-06-08
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G01Q60/24
- 本发明提供一种真空原子力显微镜的耦合系统及真空原子力显微镜。该耦合系统包括：真空室；激励光源，位于所述真空室外，发射激励激光用于使探针振动；检测光源，位于所述真空室外，发射检测激光用于检测所述探针偏转信息；光线传输装置，部分设置于所述真空室外，部分设置于所述真空室外，所述光线传输装置可将接收所述激励激光与所述检测激光，所述光线传输装置还可传输所述探针反射的所述激励激光与所述检测激光，并偏转走所述激励激光；光电位置转换器，用于接收所述检测激光，并根据所述检测激光计算所述探针的受力。实现真空环境下的可靠测量，降低测量过程中的噪声，保证测量结果准确。同时，结构简单，可降低耦合系统的复杂程度。
- 真空原子显微镜耦合系统
- [发明专利]微悬臂梁探针的设计方法-CN201810044922.0有效
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谭新峰;郭丹;江亮;师帅;雒建斌
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清华大学
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2018-01-17
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2021-02-12
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G06F30/23
- 本发明公开了一种微悬臂梁探针的设计方法，包括：获取微悬臂梁探针测量摩擦系数的普适理论模型；获取不同结构的微悬臂梁探针的振动参数，根据振动参数和普适理论模型建立不同结构特性的微悬臂梁探针测量摩擦系数的理论模型；根据理论模型计算微悬臂梁探针正压力的最大测量值或摩擦力的最小测量值，并根据可测摩擦系数分辨率，获得满足摩擦系数分辨率要求的微悬臂梁探针的不同尺寸的分布；选取尺寸进行仿真分析，得到微悬臂梁探针振动频率特性，并根据振动频率特性和普适理论模型得到摩擦系数分辨率量级；若摩擦系数分辨率量级满足摩擦系数分辨率的预设要求，则提取该微悬臂梁探针的尺寸。上述方法实现了0.0001及以上量级分辨率的超低摩擦系数测量。
- 悬臂梁探针设计方法
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