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[发明专利]处理装置、处理方法及相关设备-CN202180088258.X在审
发明人：魏威;姚琮;谌灼杰;施赛丰;冷静;陈立前 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2021-01-30 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G06F13/16 文献下载
摘要：本申请提供一种处理装置、处理方法及相关设备，该处理装置包括处理器、调频控制器和调频器，该处理器包括第一处理器核；该调频控制器用于：获取该第一处理器核的至少一个负载类型；基于该至少一个负载类型确定目标对象的目标频率；该目标对象包括存储器；基于该目标频率调用该调频器调整该目标对象的工作频率。本申请能够更好地优化处理器的性能及能效。
处理装置方法相关设备

[发明专利]一种基于聚焦离子束和MEMS加工工艺的可调控超材料阵列设计方法-CN201510574495.3有效
发明人：吴文刚;毛逸飞;樊姣荣;谌灼杰 -专利权人：北京大学
申请日： 2015-09-11 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用聚焦离子束和MEMS加工工艺制备可调控超材料阵列的方法，可用于平面光学元部件构造，并应用于通信、电磁传感以及成像领域(包括毫米波、太赫兹、红外波段范围)。其优点如下1)通过MEMS工艺加工得到悬浮型双金属谐振环超材料阵列，尺寸可控制在微米以及亚微米量级，其负折射率特性的谐振频率可在毫米波、太赫兹(THz)或红外波段；2)通过FIB辐照，在内谐振环固支端引入应力，通过控制FIB的加速电压、轰击束流、作用时间和辐照图案，可精确控制超材料单元中悬浮内谐振环结构的翘曲角度(‑40°至+120°)；3)超材料阵列的负折射率的谐振频率可调，通过选择加工参数，可精确控制电磁波的振幅、相位以及出射方向。
一种基于聚焦离子束 mems 加工工艺调控材料阵列设计方法

[发明专利]一种基于聚焦离子束和MEMS加工方法的纳米网孔薄膜微流控器件的设计-CN201510574494.9在审
发明人：吴文刚;毛逸飞;樊姣荣;谌灼杰 -专利权人：北京大学
申请日： 2015-09-11 - 公布日： 2016-02-24 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：一种基于聚焦离子束和MEMS加工方法的纳米网孔薄膜微流控器件的设计。本发明公开了一种使用聚焦离子束加工纳米网孔微流控器件的方法。包括如下步骤：1)利用KOH腐蚀掏空衬底背腔，使制备纳米网孔的区域悬空。2)设计“初始干扰”图形，并借助FIB将其预置在所得悬浮薄膜上，以诱导瑞利不稳定性方向。进行FIB大面积扫描，通过控制FIB能量、剂量、扫描布局、扫描时间以及驻留时间，制得悬浮的光滑表面纳米网孔薄膜结构。3)在制作纳米网孔上，通过淀积、溅射工艺以及与PDMS流道的键合，制得纳米网孔微流控器件。4)通过调节金属电极两端电压，控制金属网孔外介质层表面双电层的特性，可对溶液中目标物质的控制与检测。5)通过精确控制纳米网孔尺寸参数，进一步增强器件控制与检测的能力和适用性。
一种基于聚焦离子束 mems 加工方法纳米网孔薄膜微流控器件设计

[发明专利]一种纳米超材料全色域调色板-CN201510582970.1在审
发明人：吴文刚;樊姣荣;朱佳;谌灼杰;毛逸飞 -专利权人：北京大学
申请日： 2015-09-15 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米超材料调色板及其制备方法。采用电子束光刻和反应离子刻蚀工艺，利用横向钻蚀效应在衬底上获得悬浮于介质层之上的亚波长尺度周期性结构阵列，在垂直于衬底方向沉积金属薄膜，形成金属纳米结构阵列-金属互补纳米结构阵列薄膜耦合结构。该亚波长尺度超材料在可见光光谱中表现出混合表面等离子共振模式，产生特殊的光学响应：多共振峰，FANO共振，角度依赖的光谱可调性，数十万倍的场增强，因此能够在结构单元获得连续可调的色彩。这种纳米超材料调色板能够产生CIE色品图中的全色域色彩，而且色彩像素缩小到一百至数百纳米。这项技术将在商品生产、高清显示、艺术创作、方位传感、光子密码及信息存储等领域有重要应用前景。
一种纳米材料全色调色板

[发明专利]一种利用聚焦离子束与MEMS工艺制备0.1THz的加脊喇叭天线方法-CN201510574493.4在审
发明人：吴文刚;毛逸飞;樊姣荣;谌灼杰 -专利权人：北京大学
申请日： 2015-09-11 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： H01Q13/02 文献下载
摘要：本发明公开了利用聚焦离子束与MEMS工艺制备0.1THz的加脊喇叭天线的方法，适用于太赫兹通信领域。本发明的结构设计优点如下：1)通过MEMS体硅工艺加工得到喇叭天线，具有微米级尺寸，突破了传统工艺极限；2)该工艺特点为并行加工，将大大降低加工成本；3)通过喷胶和光刻工艺，将正面无需电镀的区域保护住，有效避免了金属对天线性能的干扰；3)通过定位槽的设计，有利于后续测试接口的连接；4)通过聚焦离子束刻蚀在喇叭内壁制作各类加脊结构，可以有效地调整天线性能，扩展其适用性。
一种利用聚焦离子束 mems 工艺制备 0.1 thz 喇叭天线方法

[发明专利]基于扇贝效应表面等离子体激元耦合纳米阵列加工工艺-CN201410767125.7有效
发明人：吴文刚;樊姣荣;马鹏程;谌灼杰 -专利权人：北京大学
申请日： 2014-12-15 - 公布日： 2015-04-08 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备表面等离子体激元耦合结构纳米阵列的方法。其步骤包括：采用电子束曝光制作的纳米级刻蚀掩模对衬底进行深反应离子刻蚀，再进行金属镀膜得到所述三维“金属纳米结构阵列-纳米间隔层-金属薄膜”结构。金属纳米结构发生光子与自由电子局域电磁场共振产生很强的局域表面等离子体激元，且其衍射效应提供波矢补偿激发金属薄膜的传播型表面等离子体激元，形成局域表面等离子体激元-传播型表面等离子体激元耦合，将光束缚在纳米尺度，引发金属与介质界面非常强的表面局域近场增强。本发明制作的结构将促进表面等离子体激元的新机理探索，在超材料、超高灵敏光学生物传感等领域有着重要的应用前景。
基于扇贝效应表面等离子体耦合纳米阵列加工工艺

[发明专利]一种细颗粒物过滤结构及其制备方法-CN201310717668.3有效
发明人：吴文刚;谌灼杰;毛海央 -专利权人：北京大学
申请日： 2013-12-23 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种细颗粒物过滤结构及其制备方法。该过滤结构包括若干微小颗粒过滤结构层和若干聚合物层，每2层微小颗粒过滤结构层之间键合聚合物层；微小颗粒过滤结构层包括基底，基底上设有贯通其上端面和下端面的空气流通腔体；基底的上端面上设有镂空结构层，镂空结构层包括设于其内的若干微米孔洞；镂空结构层上于微米孔洞的上部设有横向纳米纤维体；镂空结构层上设有纵向纳米纤维体，且纵向纳米纤维体覆盖住横向纳米纤维体；聚合物层包括聚合物材料体，聚合物材料体上设有贯通其上端面和下端面的贯通孔洞；聚合物材料体的上端面和下端面上均设有粘附层，聚合物材料体通过粘附层分别与相邻微小颗粒过滤结构层的上端面和下端面进行键合。
一种颗粒过滤结构及其制备方法

[发明专利]一种MEMS湿度传感器及制备方法-CN201310674068.3有效
发明人：毛海央;陈媛婧;谌灼杰;欧文;陈大鹏 -专利权人：江苏物联网研究发展中心
申请日： 2013-12-11 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：发明公开了一种MEMS湿度传感器及制备方法，为解决现有湿度传感器成本高、精度低等问题而设计。该MEMS湿度传感器包括支撑基底、设置于支撑基底上的电隔离层以及设置于电隔离层上的梳齿组件，所述梳齿组件间设置有加热电阻条，所述加热电阻条上覆盖有纳米纤维体。同时提出一种上述MEMS湿度传感器的制备方法。本发明MEMS湿度传感器的结构简单，灵敏度高，工艺兼容性强，适用范围广，安全可靠且制备工艺简单，易于实现，便于集成加工。
一种 mems 湿度传感器制备方法

[发明专利]PM2.5检测装置及其制造方法-CN201310400323.5有效
发明人：毛海央;谌灼杰;欧文;吴文刚 -专利权人：江苏物联网研究发展中心
申请日： 2013-09-05 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： G01N15/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种PM2.5检测装置及其制造方法，其包括用于将所需定量空气中大于2.5μm的颗粒过滤去除的颗粒分离机构以及用于对所述定量空气中PM2.5含量实施检测的PM2.5检测机构，所述颗粒分离机构的出口端与PM2.5检测机构的入口端连接，所述PM2.5检测机构包括检测腔体，所述检测腔体的外侧设置检测光源及光探测器，检测光源发出的光线通过检测腔体上的光入射窗口进入检测腔体内，光探测器通过检测腔体上的光出射窗口接收检测腔体内经PM2.5颗粒吸收、散射后的出射光线，所述光探测器根据出射光线的强度确定并输出PM2.5的浓度值。本发明与常规MEMS工艺相兼容，工艺简单方便，可提高PM2.5检测的精度及有效性，小型化的结构使其具有便携性和实时检测的特点，适应范围广，安全可靠。
pm2 检测装置及其制造方法

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