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- [发明专利]一种氦气零泄漏充装装置及方法-CN202310351265.5有效
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许高坡;梁婵;陆岩柱;赵厚熙;陈斌
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广钢气体(广州)有限公司
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2023-03-31
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2023-10-20
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F17C5/02
- 本发明提出一种氦气零泄漏充装装置及方法,涉及氦气充装的技术领域,包括抽真空管道单元、充装管道单元、待充氦气储存单元,抽真空管道单元的一端及充装管道单元的一端均与待充氦气储存单元连接,抽真空管道单元的另一端连接真空泵,充装管道单元的另一端连接高纯氦存储罐;抽真空管道上承受的压强超过第一阈值时,待充氦气储存单元释放残余氦气,抽真空截止阀打开,真空泵启动,将待充氦气储存设备抽真空并回收充柜内的残余氦气,在抽真空管道内的压强达到真空过压保护阈值时,关闭真空泵,进行氦气充装。本发明在保证进行氦气基本充装的同时,将待充氦气储存设备抽真空并回收充柜内的残余氦气,保证充装质量和充装安全,实现氦气的零泄漏充装。
- 一种氦气泄漏装置方法
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