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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]再生溅镀靶材及其制作方法-CN200910008926.4无效
发明人：王子文;詹智尧;廖浩嘉 -专利权人：光洋应用材料科技股份有限公司
申请日： 2009-02-12 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明是一种再生溅镀靶材及其制作方法。该方法包括提供一回靶材，其含有一背面、一溅镀蚀面及一周缘，该溅镀蚀面包含至少一溅镀蚀面沟槽；在该回靶材的背面进行机械加工前处理；在该回靶材的溅镀蚀面上及其溅镀蚀面沟槽内以及回靶材的周缘覆盖与该回靶材的组成成分相同的原料粉末，并进行预压及烧结的处理，以获得该再生溅镀靶材。本发明能控制该再生溅镀靶材内的回靶材比重，使得第一次回靶成分的比重逐渐下降，达到汰旧换新，并保持该再生靶材溅镀的质量。
再生溅镀靶材及其制作方法

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