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[发明专利]物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体-CN201610719483.X有效
发明人： 西泽竜太;山口啓一;中川啓史 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2016-08-24 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。
物理量检测装置及其制造方法电子设备以及移动

[发明专利]物理量检测装置的制造方法-CN202110318966.X在审
发明人： 西泽竜太;山口啓一;中川啓史 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2016-08-24 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。
物理量检测装置制造方法

[发明专利]振动元件、振子、振动装置、电子设备以及移动体-CN201410727644.0有效
发明人：小仓诚一郎;山口啓一;西泽竜太;菊池尊行 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-12-03 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H03H9/15 文献下载
摘要：本发明涉及一种振动元件、振子、振动装置、电子设备以及移动体。振动元件具备振动部、对振动部进行支承的支承部和连结振动部与支承部的吊臂。另外，吊臂具有从支承部起延伸出的蜿蜒部和连结蜿蜒部与振动部的倾斜部。
振动元件装置电子设备以及移动

[发明专利]振动片及其制造方法-CN201410119976.0有效
发明人：中川啓史;西泽竜太 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： G01C19/5607 文献下载
摘要：本发明提供一种振动片及其制造方法，所述振动片具有较高的检测灵敏度。振动片具有第一振动模式和第二振动模式，其中，所述第一振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相反的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式，所述第二振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相同的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式。第二振动模式时的等效串联电阻R2相对于第一振动模式时的等效串联电阻R1的比率r＝R2／R1被设定在0.15～6.0之间。
振动及其制造方法

[发明专利]角速度传感器、电子设备以及移动体-CN201410601641.2有效
发明人： 西泽竜太;菊池尊行 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-10-30 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： G01C19/5642 文献下载
摘要：本发明提供一种即使受到了绕检测轴的旋转振动的情况下，也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器，此外，本发明还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动体。本发明的角速度传感器在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着梁部(223～226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的第一旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]，将与第一旋转振动模式为反相、且随着梁部(223～226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的第二旋转振动模式的谐振频率设为f4[Hz]时，满足f1＜f2＜f3＜f4的关系，或者，满足f1＜f2＜f4＜f3的关系。
旋转振动角速度传感器检测轴电子设备谐振频率固定部移动体基部梁部变形偏移频率反相输出检测

[发明专利]角速度传感器、电子设备以及移动体-CN201410601637.6有效
发明人： 西泽竜太;中川啓史;清水教史 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-10-30 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： G01C19/5719 文献下载
摘要：本发明提供一种即使在受到了绕检测轴的旋转振动的情况下也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器，此外，本发明还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动。本发明的角速度传感器具备：固定部(221、222)；基部(21)；将基部(21)相对于固定部(221、222)进行支承的梁部(223、224、225、226)；连接于基部(21)的驱动用振动臂(25～26)；连接于基部(21)的检测用振动臂(23、24)，在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着梁部(223、224、225、226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]时，满足f1＜f2＜f3的关系。
角速度传感器电子设备以及移动

[发明专利]振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体-CN201310094984.X有效
发明人： 西泽竜太;中川启史;菊池尊行 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2013-03-22 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G01C19/5607 文献下载
摘要：本发明提供振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体。作为课题，如果仅通过1对悬臂来支撑基部，则无法最大限度地引起第2振动臂的运动。驱动系统的布线和检测系统的布线混合安装在1对悬臂上，振动片的噪声特性和温度特性劣化。作为解决手段，第1振动臂（26a、26b）从基部（25）起沿着第1方向（D1）延伸。第2振动臂（27a、27b）从基部（25）起沿着第2方向（D2）延伸。第1悬臂（32a、32b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第1连接部（34）连接。第2悬臂（33a、33b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第2连接部（37）连接。
振动陀螺仪传感器电子设备移动

[发明专利]物理量检测装置、电子设备及移动体-CN201510130881.3有效
发明人： 西泽竜太;中川啓史;山口啓一;松尾敦司;市川史生 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2015-03-24 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： G01C19/5642 文献下载
摘要：本发明提供物理量检测装置、电子设备及移动体。物理量检测装置包括振动元件和电荷放大器。振动元件包括第一检测电极、第二检测电极、第三检测电极以及第四检测电极。第一检测电极与第四检测电极的电极性相同，第二检测电极与第三检测电极的电极性相同，第一检测电极与第二检测电极的电极性相反。第一检测电极和第四检测电极被连接于电荷放大器，第二检测电极和第三检测电极被连接于电荷放大器。
检测电极第二检测电极物理量检测装置电荷放大器电极性电子设备振动元件移动体

[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体-CN201410584193.X有效
发明人：中川啓史;西泽竜太 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-10-27 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：提供一种振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，振动元件、振子能够对由温度变化引起的频率特性等特性的劣化进行抑制，振荡器、电子设备以及移动体具有较高的可靠性。本发明的振动元件的特征在于，具有驱动模式和在与该驱动模式下的振动方向正交的方向上进行振动的第一检测模式以及第二检测模式，在将横轴设为气氛温度并将纵轴设为频率的变化时的、各个模式下的表示由温度的变化引起的频率的变化的频率温度特性曲线中，将驱动模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Ta[℃]，将第一检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tb[℃]，并将第二检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tc[℃]时，Ta低于Tb及Tc，或者，Ta高于Tb及Tc。
振动元件振荡器电子设备以及移动

[发明专利]振动片和陀螺传感器、以及电子设备和移动体-CN201310146091.5有效
发明人： 西泽竜太;中川啓史 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2013-04-24 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： G01C19/5747 文献下载
摘要：本发明提供振动片和陀螺传感器、以及电子设备和移动体。所述振动片能够维持机械强度且提高输出信号的S/N比。振动片具有基部。驱动用振动臂、检测用振动臂及调节用振动臂（63）从基部起延伸。在调节用振动臂（63）上结合有第一调节用电极（68）和第二调节用电极（69）。第一调节用电极（68）生成第一相位的电信号。第二调节用电极（69）生成与第一相位成为反相位的第二相位的电信号。通过调节用电极（68）、（69）的电信号被重叠在检测用振动臂的检测信号上，从而实现对漏泄振动成分的抵消。在第一电极片（68a）与第二电极片（68b）之间部分地夹持有调节用振动臂（63），在第三电极片（69a）与第四电极片（69b）之间部分地夹持有调节用振动臂（63）。
振动陀螺传感器以及电子设备移动

[发明专利]物理量检测电路、物理量检测装置、电子设备及移动体-CN201510134545.6在审
发明人： 西泽竜太;中川啓史 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2015-03-25 - 公布日： 2015-09-30 - 主分类号： G01C19/5607 文献下载
摘要：本发明提供物理量检测电路、物理量检测装置、电子设备及移动体。物理量检测用电路包括：滤波电路、设置于比滤波电路靠后的部分并基于驱动振动元件的驱动信号而对振动元件的输出信号所含的与物理量相应的信号进行检波的同步检波电路。滤波电路的截止频率处于振动元件的驱动模式的谐振频率与检测模式的谐振频率之间，滤波电路在通频带中含有驱动模式的谐振频率。
物理量检测电路装置电子设备移动

[发明专利]振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体-CN201310308770.8在审
发明人：山口啓一;小仓诚一郎;菊池尊行;西泽竜太;大泽征司 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2013-07-22 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供一种振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体，其能够防止由相互向相反方向延伸的驱动振动臂的锤层的大小或质量的不同而引起的温度漂移。振动片具备：一对第一以及第二驱动振动臂（441、442），其从基部（41）起相互向相反方向延伸；第一锤部（12a、12b），其以从第一以及第二驱动振动臂中的至少一方的顶端向基部侧隔开间隔的方式，而被设置在至少一个驱动振动臂的第一区域内；第二锤部（11a、11b），其被设置在第一锤部的顶端与至少一个驱动振动臂的顶端之间的区域即第二区域内，在将第一区域的面积设为A1，将第一锤部的质量设为B1，并将第二区域的面积设为A2，将第二锤部的质量设为B2时，B1/A1＞B2/A2。
振动及其制法电子装置电子设备移动

[发明专利]振动片及其制造方法以及陀螺传感器、电子设备、移动体-CN201310163126.6在审
发明人： 西泽竜太 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2013-05-06 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： G01C19/5628 文献下载
摘要：本发明提供一种振动片及其制造方法以及陀螺传感器、电子设备、移动体。所述振动片能够提高输出信号的S/N比。振动片具备至少局部由压电体构成的驱动臂，所述驱动臂包括：第一面，其沿着激发振动的方向而延展；第二面，其在所述第一面的相反侧；第一侧面，其连接所述第一面和所述第二面；第二侧面，其被配置于所述第一侧面的相反侧且连接所述第一面和所述第二面，所述驱动臂具有：第一电极，其被配置于所述第一面和所述第二面中的至少一个面侧；第二电极，其被配置于所述第一侧面和所述第二侧面中的至少一个面侧，所述第一电极被设置为，关于与所述驱动臂的激发振动的方向正交的、所述驱动臂的等分割面而非对称。
振动及其制造方法以及陀螺传感器电子设备移动

[发明专利]弯曲振动片及其制造方法以及电子设备-CN201210209939.X无效
发明人： 西泽竜太;小仓诚一郎;菊池尊行 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2012-06-20 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： H03H9/21 文献下载
摘要：本发明涉及一种弯曲振动片及其制造方法以及电子设备。在弯曲振动片的振动臂的侧面上高精度地对在厚度方向上分离的电极进行图案形成。弯曲振动片(21)的、从基部(22)起延伸的矩形截面的振动臂(24)具有第一、第二阶梯部(27、28)，该第一、第二阶梯部(27、28)由在下表面(24b)及上表面(24a)和左侧面(24c)及右侧面(24d)之间，分别与左侧面及右侧面相交的阶梯面(27a、28a)、和与上表面及下表面相交的阶梯侧面(27b、28b)构成，左右侧面上的第一、第四检测电极(29a、29d)和阶梯侧面上的第二、第三检测电极(29b、29c)分别通过阶梯面(27a、28a)中未形成电极膜的部分而在振动臂的厚度方向上分离。第一至第四检测电极利用现有的光刻技术，并使用通常的曝光机而从上下表面曝光从而被高精度地进行图案形成。
弯曲振动及其制造方法以及电子设备

[发明专利]振动型陀螺元件、传感器及其物理量检测方法和电子设备-CN201110066550.X有效
发明人： 西泽竜太 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2011-03-18 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供振动型陀螺元件、传感器及其物理量检测方法和电子设备。其课题在于提高振动型陀螺传感器检测精度。振动型陀螺元件具有：基部；从所述基部起在规定面内朝第一方向延伸的检测臂；第一驱动臂，其从检测臂的连接部起朝在规定面内作为与第一方向交叉的方向的正的第二方向延伸；以及第二驱动臂，其从检测臂的连接部起朝负的第二方向延伸，第一驱动臂与第二驱动臂分别以沿与规定面垂直的第三方向且位移方向彼此相同的方式进行振动，利用绕第一方向的轴作用的角速度，沿第二方向产生科里奥利力，在检测臂上产生第二方向的检测振动，对应于检测振动所造成的变形而产生电场，电荷进行移动，从设置在检测臂上的检测电极提取出电信号。
振动陀螺元件传感器及其物理量检测方法电子设备

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